
- •Понятие вакуума. Применение вакуума в науке и технике.
- •Основные термины и определения.
- •Понятие о вакууме и давлении. Степени вакуума в зависимости от критерия Кнудсса.
- •Газовые законы.
- •Частота соударений молекул газа с поверхностью. Единицы давления.
- •Распределение молекул газа по скоростям.
- •Средняя длина свободного пути.
- •Энергия взаимодействия при физической адсорбции и хемосорбции.
- •Время адсорбции.
- •Конденсация и испарение.
- •Адсорбция газов и паров.
- •Степени покрытий поверхности.
- •Диффузия в газах.
- •Вязкость газов в вакууме.
- •Перенос теплоты в вакууме.
- •Скольжение разряженных газов.
- •Температурный скачок.
- •Основные определения вакуумной техники.
- •Сопротивление и проводимость сложного вакуумного трубопровода.
- •Основные уравнения вакуумной техники.
- •Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
- •Критерии определения режимов течения газа в трубопроводах.
- •Переход от турбулентного режима течения к вязкостному
- •Переход от вязкостного режима течения к молекулярному
- •Расчёт длительности откачки.
- •Деформационные преобразователи.
- •Гидростатические преобразователи.
- •Тепловые преобразователи.
- •Электронные преобразователи.
- •Магнитные преобразователи.
- •Радиоизотопные преобразователи.
- •Градуировка преобразователей.
- •Методы измерения газовых потоков.
- •Методы течеискания.
- •Измерение парциальных давлений.
- •Распределение давления в вакуумной системе при стационарном режиме работы.
- •Параллельное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Последовательное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Параллельное соединение насосов.
- •Последовательное соединение насосов.
- •Расчёт газовых нагрузок.
Переход от вязкостного режима течения к молекулярному
Если переход от турбулентного режима к вязкостному характеризуется соотношением между диаметром и величиной потока, т. е. произведением объема на давление, то переход от вязкостного к молекулярному режиму характеризуется уже соотношением между диаметром и средним давлением p (p = (p1 + p2)/2 , где p1 и p2 - давления в начале и в конце трубопровода). Для воздуха при 20 °С: если pd ≥ 500 мк∙см - поток вязкостный; если pd ≤ 15 мк∙см - поток молекулярный. В области 15 < pd < 500 - поток молекулярно-вязкостный.
С учетом того, что для воздуха при 20° С средняя длина свободного пути определяется соотношением L = 5/p см (где p – в мк рт. ст.), указанные критерии могут быть записаны в виде соотношения между длиной свободного пути и диаметром:
Приведенные критерии для круглых трубопроводов выполняются с точностью до 10%. Для трубопроводов других геометрических форм эти критерии могут быть удовлетворительно использованы, если d рассматривать как наименьший линейный размер поперечного сечения трубопровода.
Расчёт длительности откачки.
Известные закономерности для расчета проводимости трубопроводов вакуумной системы позволяют рассчитывать стационарные режимы течения газа.
В большинстве случаев давление и поток газа зависит от времени, для упрощения задачи процесс считают квазистационарным, при этом:
1. Разность давлений на концах трубопроводов считают малой по сравнению со среднем давлением.
2. Объем трубопроводов принимается значительно меньше объема откачиваемого сосуда.
3. В трубопроводах в каждый момент времени существует только один режим течения газа.
Данные условия можно выразить математически через постоянные времени и записать как отношения соответствующего объема к скоростям удаления газа из него.
Для откачиваемого объема постоянная времени:
(4.53)
Для трубопровода
, (4.54)
где L – длинна трубопровода, U – проводимость, А – площадь поперечного сечения трубопровода.
Таким образом, для существования квазистационарного режима течения должно выполнятся условие:
. (4.55)
Реальные вакуумные системы обычно удовлетворяют данному условию, исключение составляет начальный период откачки, продолжительность которого не велика.
Изменение
массы в сосуде за время dt
составит
.
Тогда уравнение материального баланса будет иметь вид:
,
где Q – суммарный поток газа, поступающий в объем.
После разделения переменных получаем
(4.56)
После интегрирования получаем
(4.57)
При малой быстроте откачки температура газа в откачиваемом объеме практически не меняется – n≈1.
Тогда (4.57) существенно упрощается
(4.58)
При длительной откачке, когда время стремится к бесконечности, получаем уравнение для определения наименьшего или предельного остаточного давления, которое может быть достигнуто в системе.
(4.59)
Самое низкое давление при n≈1.
При изотермическом процессе:
(4.60)
Уравнение (4.58) позволяет рассчитать длительность откачки при постоянных U, S0, Q, что обычно наблюдается при турбулентном и вязкостном режимах течения, когда Q можно не учитывать, а S0 практически определяется быстротой действия насоса SН.
В
тех случаях, когда Q
или S0
меняются в процессе откачки, весь период
откачки разбивают на участки по давлению,
внутри каждого из которых Q
можно считать постоянным. Тогда суммарное
время определяется уравнением
,
где τi
рассчитывается по (4.57) или (4.58).