- •Понятие вакуума. Применение вакуума в науке и технике.
- •Основные термины и определения.
- •Понятие о вакууме и давлении. Степени вакуума в зависимости от критерия Кнудсса.
- •Газовые законы.
- •Частота соударений молекул газа с поверхностью. Единицы давления.
- •Распределение молекул газа по скоростям.
- •Средняя длина свободного пути.
- •Энергия взаимодействия при физической адсорбции и хемосорбции.
- •Время адсорбции.
- •Конденсация и испарение.
- •Адсорбция газов и паров.
- •Степени покрытий поверхности.
- •Диффузия в газах.
- •Вязкость газов в вакууме.
- •Перенос теплоты в вакууме.
- •Скольжение разряженных газов.
- •Температурный скачок.
- •Основные определения вакуумной техники.
- •Сопротивление и проводимость сложного вакуумного трубопровода.
- •Основные уравнения вакуумной техники.
- •Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
- •Критерии определения режимов течения газа в трубопроводах.
- •Переход от турбулентного режима течения к вязкостному
- •Переход от вязкостного режима течения к молекулярному
- •Расчёт длительности откачки.
- •Деформационные преобразователи.
- •Гидростатические преобразователи.
- •Тепловые преобразователи.
- •Электронные преобразователи.
- •Магнитные преобразователи.
- •Радиоизотопные преобразователи.
- •Градуировка преобразователей.
- •Методы измерения газовых потоков.
- •Методы течеискания.
- •Измерение парциальных давлений.
- •Распределение давления в вакуумной системе при стационарном режиме работы.
- •Параллельное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Последовательное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Параллельное соединение насосов.
- •Последовательное соединение насосов.
- •Расчёт газовых нагрузок.
Основные уравнения вакуумной техники.
Уравнения (1.35) можно объединить в одно уравнение, связывающее быстроту откачки объекта S0 с быстротой действия насоса SH и пропускной способностью вакуумпровода U. Это уравнение можно вывести следующим образом. Представим уравнения (1.35) в виде:
Вычитая из первого уравнения второе, получим:
откуда
(1.39)
или
(1.40)
Поскольку уравнением вида (1.39) или (1.40) связываются основные параметры вакуумной системы: быстрота откачки объекта, быстрота действия насоса и пропускная способность вакуумпровода, это уравнение называется основным уравнением вакуумной техники. Оно позволяет правильно ориентироваться при конструировании и расчете вакуумных систем, о чем речь будет идти в гл. 2.
При постоянной проводимости трубопровода U , соединяющего вакуумный объем с насосом любой производительности , максимальная быстрота откачки вакуумного объема не может превышать величины U , а максимум эффективности быстроты откачки насоса реализуется при непосредственного подсоединения насоса к вакуумной камере при полном согласовании входной и выходной диафрагм.
Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
Во время работы вакуумной системы газ в откаченном объеме расширяется, в результате чего меняется его температура. Непостоянство температуры газа сказывается на точности расчета, что необходимо учитывать, особенно при наличии в системе конденсирующихся паров. В месте с тем, при малых давлениях (меньше 10 Па) процесс расширения газа можно считать изотермическим, так как расширение происходит медленно, и газ успевает воспринимать тепло, от окружающих стенок, сохраняя свою температуру практически постоянной – примерно равной температуре стенок. При изотермических процессах справедлив закон Бойля – Мариотта. При достаточно высоких давлениях в вакуумной системе расширение газа обычно происходит столь быстро, что температура окружающих стенок не успевает сказаться на температуре газа, в таком случае процесс рассчитывается по уравнению адиабаты. Возможны промежуточные политропные процессы.
Критерии определения режимов течения газа в трубопроводах.
ля определения режимов течения газа существуют следующие основные критерии.
Переход от турбулентного режима течения к вязкостному
Основным является безразмерный критерий Рейнольдса:
Здесь w, ρ, μ - скорость, плотность и вязкость газа; d - диаметр трубопровода
Экспериментально установлено, что если Re > 2200 - поток турбулентный, если Re < 1200 - поток вязкостный. В области 1200 < Re < 2200 поток в трубопроводе может быть либо турбулентным, либо вязкостным в зависимости от условий на входе и выходе. Обычно принимают поток вязкостным уже при Re < 2200.
Критерий Рейнольдса может быть легко преобразован в соотношение между потоком и диаметром трубопровода:
Здесь k - постоянная Больцмана.
Отсюда для воздуха при 20° С имеем: при G > 2 ∙ 105d - поток турбулентный, при G < 2 ∙ 105d - поток вязкостный; здесь G - в л∙мк/сек; d - в см.
