- •И. В. Белокрылов основы вакуумной техники методы измерений в вакууме
- •1. Измерение общих давлений
- •1.1. Классификация методов и приборов для измерения общих давлений
- •1.2. Деформационные преобразователи
- •1.3. Гидростатические преобразователи
- •1.4. Тепловые преобразователи
- •1.5. Электронные преобразователи
- •Относительная чувствительность преобразователей
- •1.6. Магнитные преобразователи
- •1.7. Радиоизотопные преобразователи
- •1.8. Градуировка преобразователей для измерения общих давлений
- •2. Измерение парциальных давлений
- •2.1. Методы измерения
- •2.2. Магнитный газоанализатор
- •Относительная чувствительность анализаторов
- •2.3. Панорамный газоанализатор
- •2.4. Циклотронный газоанализатор (омегатрон)
- •2.5. Времяпролетные газоанализаторы
- •2.6. Электрические фильтры масс
- •2.7. Градуировка ионизационных газоанализаторов
- •Относительные интенсивности спектральных линий чистых газов βij
- •2.8. Термодесорбционный масс-спектрометр
- •3. Измерение газовых потоков
- •3.1. Методы измерения газовых потоков
- •3.2. Методы течеискания
- •3.3. Требования к герметичности вакуумных систем
- •3.4. Аппаратура для определения герметичности
- •Библиографический список
- •Оглавление
- •1.1. Классификация методов и приборов для измерения общих давлений 3
1.7. Радиоизотопные преобразователи
В радиоизотопных преобразователях для ионизации газа используется α- или β-излучение радиоактивных изотопов. Особенно эффективно использование α-излучения. Энергия α-частиц (двухзарядных положительных ионов гелия), возникающих при радиоактивном распаде, составляет (4,5...5,5)×106 эВ. В связи с этим в радиоизотопных преобразователях не требуется накаленного катода и высокого напряжения, как в электронных и магнитных преобразователях.
Стабильность работы прибора обеспечивается независимостью радиоактивного распада от температуры окружающей среды и физико-химического воздействия находящихся в преобразователе газов. Благодаря этим свойствам и неограниченному сроку службы радиоизотопный преобразователь с точки зрения метрологии является одним из лучших приборов для измерения вакуума.
При взаимодействии с молекулами газов α-частицы вызывают их ионизацию, причем количество образованных положительных ионов пропорционально давлению. Измерительное уравнение радиоизотопного преобразователя имеет вид
IИ = Krp,
где Кr – чувствительность преобразователя.
Преобразователи обычно градуируются по воздуху или азоту (для воздуха KВ = 10–10...10–11 А/Па). Для определения чувствительности к другим газам можно пользоваться представленными в табл. 1.1 значениями Rr = Кr/КВ·
Радиоизотопный преобразователь (рис. 1.12) состоит из выполненного в виде стержня коллектора 1, цилиндрического анода 2 и радиоизотопного источника 3. Вылетающие из радиоизотопного источника β-частицы, соударяясь с молекулами остаточных газов, образуют положительные ионы, которые под действием разности потенциалов между анодом и коллектором (~50 В) направляются к коллектору, вызывая в его цепи ионный ток, пропорциональный давлению.
Рис. 1.12. Радиоизотопный преобразователь
Нижний предел рабочих давлений определяется фоновым током, возникающим при бомбардировке коллектора α-частицами. Этот ток имеет две составляющие, первая связана с положительным зарядом самих α-частиц, а вторая – с возникновением тока вторичной электронной эмиссии с коллектора. Нижний предел измерения давления радиоизотопного манометра составляет 10–1...10–2 Па. Для расширения диапазона рабочих давлений в некоторых преобразователях коллектор защищен экранами или расположен вне зоны видимости источника α-частиц. При этом нижний предел измеряемых давлений может быть снижен еще на два порядка. Этого же можно достигнуть, увеличивая габариты преобразователя, что сопровождается повышением чувствительности без измерения значения фонового тока.
Верхний предел измеряемых давлений обусловлен независимостью от давления газа с ионного тока на коллектор после того, как длина пути, проходимая в газе α-частицей с энергией Еа до полной потери энергии, будет меньше размеров преобразователя:
La = EcL1/(EИp); (1.13)
где ЕИ – энергия ионизации молекулы газа; L1 – средняя длина свободного пути α-частицы при единичном давлении. При Еа = 4,79 ·106 эВ (для радия), ЕИ = 15 эВ, L1 = 5·10–1 см/Па и р = 105 Па получим из (1.13) La = 1,6 см.
Таким образом, максимальная длина пробега α-частицы в преобразователе с верхним пределом, равным атмосферному давлению, не должна превышать 1,6 см.
Диапазон рабочих давлений радиоизотопных преобразователей составляет 105...10–2Па, но обычно его не удается реализовать в одном приборе. Широкодиапазонные конструкции преобразователей выполняются с двумя камерами: большого и малого размеров.
