
- •Кафедра физики Кубанского государственного
- •Доктор физико - математических наук Кубанского
- •В.В. Фомин
- •Введение
- •1. Способы осуществления электростимулированной миграции ионов
- •2. Физические процессы, лежащие в основе электростимулированной миграции ионов
- •3. Анализ профиля поперечного сечения волноводов, изготовленных методом электростимулированной миграции ионов
- •Причем это соответствие устанавливается формулой
- •4. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов
- •4.1. Принципиальная схема установки для проведения электростимулированной миграции ионов
- •4.2. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов серебра
- •4.3. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на форму и геометрические размеры поперечного сечения формируемых волноводов
- •4.4. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на оптические параметры волноводов
- •4.5. Исследование интегрально-оптических волноводов, полученных электростимулированной миграцией ионов из расплава нитрата калия
- •4.6. Изготовление и исследование заглубленных и двухканальных интегрально-оптических волноводов
- •5. Изготовление интегрально-оптических микролинз и исследование их свойств
- •5.1. Изготовление микролинз электростимулированной миграцией ионов из расплава соли
- •5.2. Изготовление микролинз электростимулированной миграцией ионов из расплава соли
- •5.3. Изготовление и исследование интегральных
- •5.4. Формирование рассеивающих, цилиндрических
- •6. Изготовление матриц микролинз
- •7. Разработка и исследование матриц микролинз с плотной упаковкой
- •7.1. Расчет формы интегральных микролинз в матрицах, получаемых методом электростимулированной миграции ионов в стеклах
- •7.2. Изготовление матриц микролинз с плотной
- •7.3. Разработка и исследование матриц интегральных микролинз для датчика волнового фронта Шака-Гартмана
- •8. Создание и исследование Многоканального микролинзового интегрально-оптического ответвителя излучения
- •Заключение
- •Библиографические ссылки
Библиографические ссылки
а
Интегральная оптика / Под ред. Т. Тамира. М.: Мир, 1978. 344 с.
Рябцев Н.Г. Материалы квантовой электроники. М.: Советское радио, 1972. 384 с.
Hiroshi Aoki. Glass waveguide laser / Hiroshi Aoki, Osamu Maruyama, Yoshiyuki Asahara // IEEE Photonics Technology Letter. 1990. Vol.2. №7. P. 459–460.
Roman J.E. Neodymium-doped glass channel waveguide laser containing an integrated distributed Bragg reflector / J.E. Roman, K.A. Winik // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol.61. №3. P. 2744–2746.
Лазеры на неодимовом стекле / А.А. Мак, Л.Н. Сомс, В.А. Фромзель, В.Е. Яшин. М.: Наука, 1990. 288 с.
Borrelli N.F. Electro-optic effect of ferroelectric microcristal in glass matrix / N.F. Borrelli, A. Herczag, R.D. Maurer // Appl. Phys. Lett. 1965. Vol.7. № 5. Р.117–119.
Степанов С.А. Фарадеевское вращение в стеклах // Оптико-механическая промышленность. 1974. № 3. С. 61–65.
Электрохромный эффект в вольфрамофосфатных стеклах / Т.Ф. Евдокимова, С.Л. Краевский, А.П. Просолов, В.Ф. Солинов, Э.В. Шишменцева // Физика и химия стекла. 1978. Т.4. № 1. С. 88–91.
Цехомский В.А. Фотохромные оксидные стекла // Физика и химия стекла. 1978. Т.4 № 1. С.3–21.
Fast fabrication method for thick and highly multimode optical waveguides / G.H. Chartier, P. Jaussaud, A.D. de Oliveira, O. Parriawc // Electron. Lett. 1977. Vol.13. P. 763.
Аксенов E.Т. Исследование планарных оптических волноводов в стекле, образованных диффузией ионов К+ / E.Т. Аксенов, Н.А. Есепкина, А.А. Липовский // Письма в ЖТФ. 1978. Т.4. № 22. С.1389–1392.
Findakly T. Glass waveguides by ion exchange: a review // Opt. Engineering. 1985. Vol.24. P. 244–250.
Ramaswamy R.V. Ion-exchange glass waveguides: a review / R.V. Ramaswamy, R. Srivastava // J. Lightwave Technol. 1988. Vol.6. №6. P. 984–1002.
Петровский Г.Т. Волноводные структуры на основе стеклообразных материалов для задач интегральной оптики / Г.Т. Петровский, К.А. Агафонова // Физика и химия стекла. 1980. Т.6. № 1. С. 3–17.
Planar optical waveguides formed by silver-ion migration in glass / G. Stewart, C.A. Millar, P.J.R. Laybourn, C.D.W. Wilkinson, R.M. De La Rue // IEEE J. Quantum Electron. 1977. Vol.QE-13. №4. P. 192–200.
Многомодовые планарные волноводы, полученные методом ионообменной обработки стекла в расплавах Li2SO4 - Na2SO4 - ZnSO4 / Г.Т. Петровский, К.А. Агафонова, А.В. Мишин, И.С. Морозова, М.Н. Филиппова // Физика и химия стекла. 1982. Т.8. № 3. С. 306–310.
Аксенов Е.Т. Формирование маломодовых оптических волноводов в стекле, образованных диффузией ионов К / Е.Т. Аксенов, А.А. Липовский, А.В. Павленко // ЖТФ. 1981. Т.51. № 1. С. 222–224.
Planar diffusion glass waveguides obtained by immersing in molten KNO3 / J. Finak, H. Jerominek, Z. Opilski, К. Woitala // Opt. Appl. 1982. Vol.12. № 1. P. 11–17.
Yip G.L. Characterization of planar optical waveguides by K-ion exchange in glass // G.L. Yip, J. Albert // Opt. Lett. 1985. Vol.10. № 3. P. 151–153.
Gorrych J.£. Fabrication of planar optical waveguides by K-ion exchange in BK7 glass / J.£. Gorrych, D.C. Hall // Opt. Lett. 1986. Vol.11. № 2. P. 100–102.
Miliou A.N. Modeling of the index change in K - Na ion-exchanged glass / A.N. Miliou, R. Srivastava, R.V. Ramaswamy // Appl. Opt. 1991. Vol.30. № 6. P. 674–681.
Kishioka К. Determination of diffusion parameter values in K ion exchange waveguides made by diluted KNO3 in soda-lime glass // IEICE Trans. Electron. 1995. Vol.E78-C. № 10. P. 1409–1418.
Neutnan V. Double-alkali effect Influence of index profile of ion-exchanged waveguides / V. Neutnan, O. Parriaux, L. Walpita // Electron Lett. 1979. Vol.15. P. 704-706.
Ross L. Integrated optical components in substate glasses // Glastechn. Ber. 1989. Bd. 62. № 8. Р. 285–297.
Планарные оптические волноводы, образованные ионообменной диффузией цезия / Л.Б. Глебов, С.К. Евстропьев, Н.В. Никоноров, Г.Т. Петровский // ЖТФ. 1989. Т.59. № 6. С. 72–75.
Reichelt A. Single-mode waveguides and components by two-step Cs - K ion-exchange in glass / A. Reichelt, P.C. Clemens, H.F. Mihlein // Proc. SPIE «Glasses for Optoelectronics».1989. Vol.1126. P. 166–168.
Analysis of the refractive index profitinion exchanged waveguides / G.С. Righini, S. Pelli, R. Saracini, G. Battaglin, A. Scaglione // Proc. SPIE «Glasses for Optoelectronics. II». 1991. Vol.1512. P. 418–424.
Optical waveguides formed by thermal migration of ions in glass / T.G. Giallorenzi, E.J. West, R. Kirk, R. Ginter, R.A. Andrews // Appl. Opt. 1973. Vol.12. P. 1240–1245.
Ross L. Integrated optical components in substate glasses // Glastechn. Ber. 1989. Bd. 62. № 8. Р. 285–297.
Gallagher J.G. Single-mode stripe optical waveguides formed by silver ion exchange / J.G. Gallagher, R.M. De La Rue // Electron. Lett. 1976. Vol.12. № 16. P. 397–398.
Исследование параметров плоских оптических волноводов, полученных методом ионного обмена в стекле / А.А. Зленко, H.M. Лындин, В.А. Сычугов, А.В. Тищенко, Г.П. Шипуло // Квантова электроника. 1979. Т.6, № 5. С. 1043–1047.
Ramaswamy R.V. Process optimization of buried Ag - Na ion-exchanged waveguides: theory and experiment / R.V. Ramaswamy, H.C. Cheng, R. Srivastava // Appl. Opt. 1988. Vol.27. № 9. P. 1814–1819.
Исследование оптических свойств диффузионных волноводов на стеклах / B.C. Дорош, И.А. Одувалина, E.Б. Хотнянская, Н.А. Яковенко // ЖТФ. 1983. Т.53. № 9. С. 1854–1856.
Волноводный эффект в оптических стеклах, модифицированных методом ионообменной диффузии из расплавов AgNO3 – NaNO3 / Г.Т. Петровский, К.А. Агафонова, А.В. Мишин, Н.В. Никоноров // Физика и химия стекла. 1981. Т.7. № 1. С. 98–102.
Izawa Г. Optical waveguide formed by electrically induced migration of ions in glass plates / Г. Izawa, H. Nagakome // Appl. Phys. Lett. 1972. Vol.21. P. 584–586.
Исследование планарных волноводов, полученных в оптических стеклах методом ионообменной диффузии из расплавов T1NO3 и KNO3 / К.А. Ланда, Г.Т. Петровский, А.В. Мишин, С.А. Гуменный // Физика и химия стекла. 1985. Т.11. № 5. С. 542–546.
Optical waveguides made by ion exchange in glass / G.H. Chartier, J.L.Coutas, A. Girod // J. Non-Cristalline Solids. 1982. Vol.47. № 2. P. 259–262.
Заявка 56-46125 Япония, MKИ3 G 02 В 5/174// С 03 С 21/00. Способ изготовления оптической интегральной схемы / Ниппонсэруфуокку К.К.– № 48–1842; Заявл. 29.12.72; Опубл. 31.10.81.
Index profiles of multimode optical strip waveguides by fieidenhanced ion exchanged in glasses / H.-J. Lilienhof, K.E. Heidemann, D. Hitter, E. Voges // Opt. commun. 1980. Vol.35. № 1. P. 49–53.
Field induced index profiles of multimode ion-exchanged strip waveguides / H.-J. Lilienhof, E. Voges, D. Hitter, B. Pantachew // IEEE J. Quantum Electron. 1982. Vol.QE18. № 11. P. 1877–1883.
Получение полосковых волноводов с прогнозируемой формой сечения методом электростимулированной диффузии / В.Н. Иванов, В.А. Никитин, Е.П. Никитина, Н.А. Яковенко // ЖТФ. 1983. Т.53. № 10. С. 2088–2090.
Кондратьев В.А. Получение и исследование волноводов для стыковки с многомодовыми волокнами // Измерительные устройства на диэлектрических волноводах оптического диапазона / В.А. Кондратьев, В.А. Никитин, А.А. Фалин: Тез. докл. Всесоюз. науч.- техн. совещания. Минск, 1983. С. 86–87.
Lipovski A.A. A taped coupler for integrated optics formed bi ion-exchange under a non-uniform optics field // Opt. Commun. 1987. Vol.61. № 1. P. 11–15.
Persechini D.L. Technigue for fabricating optical devices in glasses bi electric field enhanced ion diffusion // Rev. Sci. Instrum. 1982. Vol.53. № 9. P. 1477–1478.
Findakly Т. Low loss optical waveguides fabricated bi solid state electro-thermal diffusion of metals into glass / T. Findakli, E. Garmire // Top. Meet. On Integrated & Guided-Wave Optics. Incline Village. F. I. 1980. P. WB5/1-WB5/4.
Findakly Т. Reduction & Control of optical waveguide losses in glass / Т. Findakly, E. Garmire // Appl. Phys. Lett. 1980. Vol.37. № 10. P. 855–856.
Viljanen J. Fabrication of optical waveguides with nealy circular gross section by silver ion migration technique / J.Viljanen, M. Leppihalme // J. Appl. Phys. 1980. Vol.51. № 7. P. 3563–3565.
Viljanen J. Planer optical coupling elements for multimode fiber with two-step ion migration process / J.Viljanen, M.Leppihalme // Appl.Phys. 1981. Vol.24. № 1. P. 61–63.
Chen C.L. Fabrication of optical waveguides and determination of their properties / C.L. Chen, K. Daneshvar, S. Hinata // IEEE Southeastcon. Knoxville, Tenn., Apr.11–13. 1988. Conf. Proc. N. Y., 1988. P. 674–678.
Заявка 3630370 ФРГ, МКИ4 С 03 С 21/00. Verfahren Zur Erzengung von Lichtwellenleitern in einem Glassubstrat / Thoma Ghristoph; Siemens A.G. № P 3630370.4; Заявл. 5.09.86; Опубл. 10.03.88.
Pitt G.W. Low temperature diffusion process for fabrication of optical waveguides in glass / G.W. Pitt, A.A. Stride, R.J. Trigle // Elect.Lett. 1980. Vol.16. № 18. P. 701–703.
A.с. 866953 СССР, МКИ3 С 03 В 37/025. Способ получения планарных волноводов на диэлектрических подложках / В.П. Редько, А.И. Войтенков (СССР). № 2801052/29-33; Заявл. 20.07.79; Опубл. 07.10.82. Бюл. № 37.
А.с. 34581 НРБ, МКИ3 6 02 В 5/14, Н 01 Р 3/00. Метод получения полосковых и планарных световодов на стеклянных подложках / Е. К. Савов, В. Н. Хинков (НРБ). № 57435; Заявл. 16.07.82; Опубл. 30.10.83.
Технология стекла / Под ред. И.И. Китайгородского. М.: Стройиздат, 1967. 564 с.
Химическая технология стекла и ситаллов / Под ред. Н.М. Павлушкина. М.: Стройиздат, 1988. 432 с.
Аппен А.А. Химия стекла. Л.: Химия, 1970. 352 с.
Ефимов Е.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность: Учеб. пособие. 2-е изд., перераб. и доп. / Е.И. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.М. Горбунов. М.: Высш. шк., 1986. 464 с.
Броудай И. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей М.: Мир, 1985. 496 с.
Полиа Г. Задачи и теоремы из анализа. Т.1. / Г.Полиа, Г.Сеге М.: Наука, 1978. 391.
Микротвердость слоев стекла, полученных методом низкотемпературной ионообменной диффузии / Л.Б. Глебов, С.Н. Державин, А.В. Иванов, Н.В. Никоноров, Г.Т. Петровский // Findakly Т. Findakly Т. Физика и химия стекла. 1984. Т. 10. № 3. С. 301–304.
Напряжения изгиба, возникающие при ионообменной диффузии в стеклах / М.В. Бабукова, Л.Б. Глебов, Н.В. Никоноров, Г.Т. Петровский // Физика и химия стекла. 1985. Т. 11. № 1. С. 45–49.
Влияние толщины подложки на формирование показателя преломления стекла при низкотемпературном ионном обмене / М.В. Бабукова, Л.Б. Глебов, И.С. Морозова, Г.Т. Петровский, М.Н. Филиппова // Физика и химия стекла. 1987. Т. 11. № 1. С. 60–66.
Глебов Л.Б. Влияние напряжений на показатель преломления градиентных слоев стекла, полученных методом ионообменной диффузии / Л.Б. Глебов, Н.В. Никоноров, Г.Т. Петровский // Физика и химия стекла. 1983. Т. 9. № 6. С. 683–688.
Глебов Л.Б. Роль напряжений в формировании спектра мод в плоском диффузионном волноводе / Л.Б. Глебов, И.С. Морозова, Г.Т. Петровский // Физика и химия стекла. 1984. Т. 10. № 2. С. 194–198.
Влияние структурных микронапряжений на формирование показателя преломления стекол при низкотемпературном ионном обмене / Л.Б. Глебов, В.Г. Докучаев. С.К. Евстропьев, Г.Т. Петровский // Физика и химия стекла. 1988. Т. 14. № 1. С. 79–86.
Brandenburg A. Stress in ion-exchanged glass waveguides // J. Lightwave Technol. 1986. Vol. LT-4. № 10. P. 1580–1593.
Рабинович В.А. Краткий химический справочник / В.А. Рабинович, З.Я. Хавин Л.: Химия, 1977. 376 с.
Yoshida H. Migration of two ions during elektrolysis of glass waveguide / H. Yoshida, T. Kataoka // J. Appl. Phys. 1985. Vol.58. № 5. P. 1739–1743.
Pantchev B.G. One-step field-assisted ion exchange for fabrication of buried multimode optical strip waveguides // Electron. Lett. 1987. Vol.23. № 22. P. 1188–1190.
Ramaswamy R.V. Process optimisation of buried Ag+ - Na+ ion exchanged waveguides: theory and experiment / R.V. Ramaswamy, H.C. Cheng, R. Srivastava // Appl. Opt. 1988. Vol.27. № 9. P. 1814–1819.
Sabine P.V.H. Refractive index profile determinetion in optical waveguides // A.T.R. 1977. Vol.11. № 2. P. 3–13.
Беланов А.С. Многоканальный световод / А.С. Беланов, Е.М. Дианов // Квантовая электроника. 1979. Т. 6. № 12. С. 2646–2649.
Nicia A. Practical low-loss lens connector for optical fibers // Electron. Lett. 1978. Vol.14. № 16. Р. 511–512.
Masuda S. Low-loss lens connector for single-mode fibers / S. Masuda, T. Iwama // Appl. Opt. 1982. Vol.21. № 19. Р. 3475–3483.
Oikawa M. A distributed-index planar microlens array prepared from deep electromigration / M. Oikawa, K. Iga, T. Sanada // Electron. Lett. 1981. Vol.17. № 13. Р. 452–453.
Iga K. Stacked planar optics: an application of the planar microlens // Apll. Opt. 1982. Vol.21. № 19. Р. 3456–3460.
Получение элементов интегральной оптики методом диффузии, локализованной электрическим полем / В.Н. Иванов, В.А. Кондратьев, В.А. Никитин, В.П. Прохоров, Н.А. Яковенко // Автометрия. 1987. № 1. С. 97–99.
Градиентные микролинзы, полученные методом электростимулированной диффузии / В.С. Дорош, В.Н. Иванов, В.А. Никитин, Е.П. Никитина, Н.А. Яковенко // Автометрия. 1984. № 3. С. 87–89.
Ландау Л.Д. Электродинамика сплошных сред / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. М.: Наука, 1982. 624 с.
Пат. 2073659 Россия, МКИ3 С 03 С 21/00 Способ изготовления интегральных микролинз / В.А. Никитин, Е.П. Никитина, Н.А. Яковенко (Россия) 93017069/33 Заявл. 31.03.1993, Опубл. 20.02.1997.
Трофимова Т.И. Курс физики: Учеб. Пособие для вузов. М.: Высшая школа, 2002. 542 с.
Гвоздева Н.П. Прикладная оптика и оптические измерения / Н.П. Гвоздева, К.И. Коркина М.: Машиностроение, 1976. 383 с.
Пат. 2341474 Россия, МКИ3 С 03 С 21/00 Способ изготовления интегральных микролинз / Н.А. Яковенко, В.А. Никитин, А.В. Никитин (Россия). 2007120233/03 Заявл. 30.05.2007, Опубл. 20.12.2008.
Ланда К.А. Аморфные планарные волноводы / К.А. Ланда, Г.Т. Петровский // Красноярск: Изд-во Красноярского ун-та, 1987. 196 с.
Кондратьев В.А. Диффузионные микролинзы эллиптической формы для инжекционных лазеров / В.А. Кондратьев, В.А. Никитин, В.П. Прохоров // Тез. докл. 6 Всесоюз. школы-семинара по оптической обработке информации. Фрунзе, 1986. Ч.1. С. 89–90.
Разработка и исследование микролинзовых растровых структур / И.И. Горина, В.С. Дорош, В.А. Никитин, Н.А. Яковенко // Автометрия. 1992. № 4. С. 103–105.
Элементы волноводной оптоэлектроники для устройств функциональной обработки цифровой информации / В.П. Гладкий, В.А. Никитин, В.П. Прохоров, Н.А. Яковенко // Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 10. С. 1027–1033.
Исследование в ближней ИК-области спектра микролинз, полученных методом электростимулированной диффузии / В.Н. Иванов, В.А. Кондратьев, В.А. Никитин, В.П. Прохоров, Н.А. Яковенко // Квантовая электроника. 1984. Т. 11. № 11. С. 2370–2372.
Кондратьев В.А. Исследование диффузионных микролинз для систем оптической обработки информации и связи / В.А. Кондратьев, В.А. Никитин // Тез. докл. 5 Всесоюз. школы по оптической обработке информации. Киев. 1984. С. 359–360.
Матрица градиентных микролинз, изготовленная методом электростимулированной диффузии / И.Д. Брегеда, В.А. Никитин, Е.П. Никитина, В.И. Черников, Н.А. Яковенко // Автометрия. 1985. № 6. С. 31–34.
Блейкер А. Применение фотографии в науке. М.: Мир, 1980. 248 с.
Федин Л.А. Микрофотография / Л.А. Федин, И.Я. Барский. Л.: Наука, 1971. 220 с.
Барков А.П. Возможности улучшения параметров градиентных интегрально-оптических микролинз / А.П. Барков, В.С. Дорош, В.А. Никитин // Обработка сигналов и изображений оптическими методами: Сб. науч. тр. ЛИАП. Л.: 1987. Вып.190. С. 26–31.
А.с. 1694502 СССР, МКИ3 С 03 С 21/00 Способ изготовления интегральных микролинз / И.И. Горина В.А. Никитин, Н.А. Яковенко (СССР). № 4758286; Заявл. 14.11.89, Опубл. 30.11.91. Бюл. № 44.
Ko F.-J. Brightness and contrast enhancement of reflective liquid crystal displays by microlens array light control film / F.-J. Ko, H.-P. D. Shien // Jpn. J. Appl. Phys. 2000. Vol. 39. № 5A. P. 2647–2650.
Poszner T. Stripe waveguides with matched refractive index profiles fabricated by ion exchange in glass / T. Poszner, G. Schreiter, R. Muller // Journal of Applied Physics. 1991. Vol. 70. № 4. P.1966-1973.
Glass microlens arrays for Shack-Hartmann wavefront sensors / M.M. Vekshin, A.S. Levchenko, A.V. Nikitin, V.A. Nikitin, N.A. Yakovenko // The 9th International Symposium on Measurement Technology and Instruments. Proceedings of ISMTII-2009. Saint-Petersburg, Russia. 29 June-2 July 2009.Vol. 3. P. 3-143 – 3-146.
Design, fabrication and testing of microlens arrays for sensors and Microsystems / Ph. Nussbaum, R. Volkel, H.P. Herzig et al. // Pure Appl. Opt. 1997. Vol. 6. P. 617–636.
Получение и исследование матриц микролинз с плотной упаковкой / М.М. Векшин, А.В. Никитин, В.А. Никитин, Н.А. Яковенко // Изв. вузов. Сев.-Кавк. регион. Естеств. науки. 2009. №1. С. 41-44.
Eloy A. Spatially Resolved Wavefront Aberrations of Ophthalmic progressive-power lenses in normal viwing conditions / A. Eloy // Optometry and Vision Science. Vol. 80. №. 2. February 2003.
Glass microlens arrays for Shack-Hartmann wavefront sensors / M.M. Vekshin, A.S. Levchenko, A.V. Nikitin, V.A. Nikitin, N.A. Yakovenko // Meas. Sci. Technol. 2010. Vol. 21. № 5. 054010 (5pp).
Ахманов А. С. Оптическая передача информации в супер-ЭВМ и микропроцессорных системах. Часть 1 / А.С. Ахманов, О.Е. Наний, В.Я. Панченко // Lightwave, Russian edition. 2008. №3. С. 46-53.
Разработка и исследование многоканального микролинзового интегрально-оптического ответвителя излучения / М.М. Векшин, А.В. Никитин, В.А. Никитин, Н.А. Яковенко // Автометрия. 2009. Т. 45. № 1. С. 102–108.
Хансперджер Р. Интегральная оптика, теория и технология / М.: Мир, 1985. 379 с.
Каменев Н.Н. Волноводный делитель с управляемой интенсивностью световых пучков / Н.Н. Каменев, В.И. Наливайко // Автометрия. 1999. № 1. С. 27–30.
Пат. 2207604 Россия, Устройство ввода-вывода оптического излучения в канальный волновод / И.В. Внуковская, В.А. Никитин, Н.А. Яковенко (Россия). 2002120005/28 Заявл. 22.07.2002, Опубл.27.06.2003 .
Пат. 2338224 Россия, Интегрально-оптический делитель излучения / Н.А. Яковенко, В.А. Никитин, А.В. Никитин (Россия). 2006141111/28 Заявл. 20.11.2006, Опубл. 10.11.2008.
Пат. на полезн. мод. 68715 Россия, Интегрально-оптический делитель излучения / Н.А. Яковенко, В.А. Никитин, А.В. Никитин (Россия). 2006141054/22 Заявл. 20.11.2006, Опубл. 27.11.2007.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение…………………………………..….………………3
Способы осуществления электростимулированной миграции ионов ………………………...………………..…..5
2. Физические процессы, лежащие в основе электростимулированной миграции ионов …………….……..……....22
3. Анализ профиля поперечного сечения волноводов, изготовленных методом электростимулированной миграции ионов………………………….…………………………..34
4. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов…………….….46
4.1. Принципиальная схема установки для проведения электростимулированной миграции ионов……….54
4.2. Изготовление интегрально-оптических волноводов электростимулированной миграцией ионов серебра……………………………………………………..56
4.3. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на форму и геометрические размеры поперечного сечения формируемых волноводов………………………………....57
4.4. Исследование влияния стимулирующего напряжения и ширины отверстия в маске на оптические параметры волноводов…………………………….….61
4.5. Исследование интегрально-оптических волноводов, полученных электростимулированной миграцией ионов из расплава нитрата калия……………….…73
4.6. Изготовление и исследование заглубленных и двухканальных интегрально-оптических волноводов...79
5. Изготовление интегрально-оптических микролинз и исследование их свойств………………………………..…94
5.1. Изготовление микролинз электростимулированной миграцией ионов из расплава соли с использованием игольчатого катода……………………………...96
5.2. Изготовление микролинз электростимулированной
миграцией ионов из расплава соли с использовании
ем игольчатого анода……………………………...102
5.3. Изготовление и исследование интегральных микролинз полусферической формы…………………....112
5.4. Формирование рассеивающих, цилиндрических и овальных микролинз……………………………....123
6. Изготовление матриц микролинз…………….…..……136
7. Разработка и исследование матриц микролинз с плотной
упаковкой………………………………………………..150
7.1. Расчет формы интегральных микролинз в матрицах,
получаемых методом электростимулированной
миграции ионов в стеклах……………………...…151
7.2. Изготовление матриц микролинз с плотной
упаковкой в стекле от фотопластин
и исследование их свойств………………………..155
7.3. Разработка и исследование матриц интегральных
микролинз для датчика волнового фронта Шака-
Гартмана……………………………………………165
8. Создание и исследование многоканального
микролинзового интегрально-оптического ответвителя
излучения………………………………………………….173
Заключение…………………………………………...……183
Библиографические ссылки………………………………186
Научное издание
Н и к и т и н Валерий Александрович
Я к о в е н к о Николай Андреевич
Электростимулированная миграция ионов
в интегральной оптике
___________________________________________
Подписано в печать 09.10.03. Печать офсетная.
Формат 60×84 1/16. Гарнитура «Таймс».
Бумага тип. №1. Уч.-изд. л. 8,1. Усл. печ. л. 10,23
Тираж 100 экз. Заказ № 39.
Кубанский государственный университет.
350040 г. Краснодар, ул. Ставропольская, 149.
Типография ооооооооооооооо