Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Наноматериалы и нанотехнологии 2-я часть.docx
Скачиваний:
1
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
73.32 Кб
Скачать

Наноиндентирование механических св-ва твёрдых тел и тонких покрытий

Под ним будем понимать всю совокупность методов использующих прецизионное локальное силовое воздействие на материал, и одновременную регистрацию деформационных откликов с нанометровым разрешением.

Принцип и техника

Основной режим работы реализуется путём внедрения индентора под действием заданного профиля нормальной силы и одновременной регистрации глубины погружения его материалов. Представляют результаты индентирования как зависимость нормальной силы как функция глубины погружения. Такая зависимость является аналогом диаграммы напряжения относительной деформации, которая используется в традиционных макроиспытаниях.

В качестве индентора используют цилиндр с плоским торцом, сферы, конус, пирамиды. Каждый индентор имеет свои достоинства и недостатки, наиболее распространённым индентором является трёхгранный пирамидальный индентор Берковича.

Трёхгранная пирамида Берковича, имеет следующие св-ва:

  • Позволяет избежать проблемы сведения 4-х граней в одну точку

  • Позволяет получить закругления при вершине менее 100 нм.

Приборы называются нанотестероми, они содержат узел нагружения, прицизионный датчик для регистрации перемещения индентора конструктивно объединены в одну головку, дальше идёт блок для снятия показаний и компьютер с программой для управления всеми рабочими циклами прибора, сбора, обработки и хранения информации.

Для выбора места укола используют оптический микроскоп, а для позиционирования и перемещения образца, двух- или трёх- координатный столик. Набор узлов и их ф-ии в наноинденторах и атомно силовых микроскопах аналогичны. Развивались наноинденторы и силовые микроскопы паралельно.

Поэтому иногда атомно силовой микроскоп и наноиндентор реализуется в одном приборе