
- •Курс: наноматериалы в промышленности
- •Исторические этапы изучения поверхности и тонких покрытий.
- •Классификация
- •Основные параметры покрытий. Толщина.
- •Закономерности образования роста покрытий формируемых из газовой фазы
- •Стадии и механизмы роста покрытий при осаждения из газовой фазы
- •Нанесение покрытий методом химических транспортных реакций (хтр).
- •Кинетический диффузионный режим осаждения покрытия
- •Адгезионная прочность хтр
- •Pvd методы. Формирование алмазоподобные покрытий pvd методами
- •Методы нанесения алмазоподобные покрытий
- •Высокоскоростные магнетронные системы
- •Получение покрытий электродуговым нанесением в вакууме и реактивные методы.
- •Методы получения наноразмерных полимерных покрытий
- •1.Плазменно-химическая полимеризация
- •2.Полимеризация мономера
- •3.Диспергирование исходного материала из газовой фазы
- •Высокоскоростной термический нагрев полимера
- •Лазерное излучение
- •Электронно-лучевое воздействие
- •Наноиндентирование механических св-ва твёрдых тел и тонких покрытий
- •Принцип и техника
Наноиндентирование механических св-ва твёрдых тел и тонких покрытий
Под ним будем понимать всю совокупность методов использующих прецизионное локальное силовое воздействие на материал, и одновременную регистрацию деформационных откликов с нанометровым разрешением.
Принцип и техника
Основной режим работы реализуется путём внедрения индентора под действием заданного профиля нормальной силы и одновременной регистрации глубины погружения его материалов. Представляют результаты индентирования как зависимость нормальной силы как функция глубины погружения. Такая зависимость является аналогом диаграммы напряжения относительной деформации, которая используется в традиционных макроиспытаниях.
В качестве индентора используют цилиндр с плоским торцом, сферы, конус, пирамиды. Каждый индентор имеет свои достоинства и недостатки, наиболее распространённым индентором является трёхгранный пирамидальный индентор Берковича.
Трёхгранная пирамида Берковича, имеет следующие св-ва:
Позволяет избежать проблемы сведения 4-х граней в одну точку
Позволяет получить закругления при вершине менее 100 нм.
Приборы называются нанотестероми, они содержат узел нагружения, прицизионный датчик для регистрации перемещения индентора конструктивно объединены в одну головку, дальше идёт блок для снятия показаний и компьютер с программой для управления всеми рабочими циклами прибора, сбора, обработки и хранения информации.
Для выбора места укола используют оптический микроскоп, а для позиционирования и перемещения образца, двух- или трёх- координатный столик. Набор узлов и их ф-ии в наноинденторах и атомно силовых микроскопах аналогичны. Развивались наноинденторы и силовые микроскопы паралельно.
Поэтому иногда атомно силовой микроскоп и наноиндентор реализуется в одном приборе