- •Диффузионные процессы в полупроводнике
- •1. Диффузия как физическое явление
- •1.1 Основные понятия диффузии
- •1.2 Диффузия в твердых телах
- •1.2.1 Процессы обмена мест
- •1.2.2 Групповые процессы обмена мест
- •2. Диффузионные процессы в многослойных структурах
- •2.1 Практические методы исследования диффузионных процессов
- •2.1.2 Глубина выхода оже-электронов
- •2.1.3 Реализация метода электронной оже-спектроскопии
- •2.1.4 Количественная оже-спектроскопия
- •2.1.5 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
- •2.2 Исследование области контакта слоев полупроводника и металла в структуре SnI2-Cd-стекло
1.1 Основные понятия диффузии
Главной характеристикой диффузии служит плотность диффузионного потока J – количество вещества, переносимого в единицу времени через единицу площади поверхности, перпендикулярной направлению переноса. Если в среде, где отсутствуют градиенты температуры, давления, электрического потенциала и др., имеется градиент концентрации с (х, t), характеризующий ее изменение на единицу длины в направлении х (одномерный случай) в момент времени t, то в изотропной покоящейся среде
,
(1.1.1)
где D – коэффициент диффузии (м2/с); знак «минус» указывает на направление потока от больших концентраций к меньшим. Пространственно-временное распределение концентрации:
.
(1.1.2)
Уравнения (1.1.1) и (1.1.2) называются первым и вторым законами Фика. Трехмерная диффузия [с (х, у, z; t)] описывается уравнениями:
(1.1.3)
,
(1.1.4)
где J – вектор плотности диффузионного потока, grad – градиент поля концентрации. Перенос частиц в среде осуществляется как последовательность их случайных перемещений, причем абсолютная величина и направление каждого из них не зависят от предыдущих. Диффузионное движение в среде каждой частицы обычно характеризуют среднеквадратичным смещением L2 от исходного положения за время t. Для трехмерного пространства справедливо первое соотношение Эйнштейна: L2 = G∙D∙t. Таким образом, параметр D характеризует эффективность воздействия среды на частицы.
В случае диффузии в многокомпонентных смесях в отсутствие градиентов давления и температуры (изобарно-изотермическая диффузия) для упрощения описания взаимного проникновения компонентов при наличии градиентов их концентраций вводят так называемые коэффициенты взаимной диффузии. Например, при одномерной диффузии в двухкомпонентной системе выражение для диффузионного потока одного из компонентов принимает вид:
,
(1.1.5)
где c1 + с2 = const, D12 = D21 – коэффициент взаимной диффузии обоих компонентов.
В результате неравномерного нагревания среды под влиянием градиента температуры происходит перенос компонентов газовых или жидких смесей – термодиффузия. Если между отдельными частями системы поддерживается постоянная разность температур, то вследствие термодиффузии в объеме смеси появляются градиенты концентрации компонентов, что инициирует обычную диффузию. Последняя в стационарном состоянии уравновешивает термодиффузию, и в системе возникает разность концентраций компонентов. Это влияние лежит в основе одного из методов разделения изотопов, а также термодиффузионного разделения нефтяных фракций.
При внешнем воздействии на систему градиента давления или гравитационного поля возникает бародиффузия. Примеры: диффузионное осаждение мелких взвешенных частиц при столкновении их с молекулами газа – пылеулавливание; баромембранные процессы – обратный осмос, микро- и ультрафильтрация. Действие на систему внешнего электрического поля вызывает направленный перенос заряженных частиц – электродиффузию. Примеры: электромембранные процессы, например, электродиализ – разделение под действием электрического тока ионизированных соединений вследствие избирательного переноса ионов через ионообменные мембраны; диффузия носителей заряда – перемещение электронов проводимости и дырок, обусловленное неоднородностями их концентрации в полупроводниках.
Математически
законы Фика аналогичны уравнениям
теплопроводности Фурье. В основе такой
аналогии лежат общие закономерности
необратимых процессов перераспределения
интенсивных параметров состояния
(концентрации, температуры, давления и
др.) между различными частями какой-либо
системы при стремлении ее к термодинамическому
равновесию. При малых отклонениях
системы от него эти закономерности
описываются линейными соотношениями
между потоками физических величин и
термодинамическими силами, т.е. градиентами
параметров, вызывающими указанные
отклонения. В частности, диффузионный
поток частиц данного типа, помимо
градиентов концентраций частиц каждого
типа, может при соответствующих условиях
в большей степени определяться градиентами
других интенсивных параметров и внешними
силами. В общем виде связь между потоками
и силами описывается феноменологическими
уравнениями термодинамики необратимых
процессов. Например, в случае
электронейтральной бинарной газовой
системы при наличии градиента температуры
,
градиента давления
и градиента электрического потенциала
выражение для диффузионного потока
частиц с зарядом qi
в одномерном случае принимает вид:
,
(1.1.6)
где
с – общее число частиц смеси в единице
объема;
– относительная доля частиц i-гo компонента
(i = 1, 2); Dp,
DT
– коэффициент баро- и термодиффузии.
Например, в бинарной газовой смеси при
постоянном давлении и отсутствии внешних
сил полный диффузионный поток
.
(1.1.7)
При отсутствии потока (J = 0) распределение концентраций находят по формуле:
,
(1.1.8)
где
.
Коэффициент DT
в значительной степени зависит от
межмолекулярного взаимодействия,
поэтому его изучение позволяет исследовать
межмолекулярные силы в различных средах.
Одновременно с диффузионным переносом частиц посторонних веществ, неравномерно распределенных в какой-либо среде, происходит самодиффузия – случайное перемещение частиц самой среды, химический состав которой при этом не изменяется. Данный процесс, наблюдаемый даже в отсутствие в системе термодинамических сил, описывается уравнениями Фика, в которых D заменен параметром Dc, называемым коэффициентом самодиффузии. Эффекты самодиффузии могут приводить к сращиванию двух пришлифованных образцов одного и того же вещества, спеканию порошков при пропускании через них электрического тока, к растягиванию тел под действием подвешенного к ним груза и т.д.
При взаимной диффузии в твердых телах поток атомов одного сорта может превосходить идущий в обратном направлении поток атомов другого сорта, если для нескомпенсированных вакансий (а возможно, и для нескомпенсированных атомов) имеются стоки. При этом в кристалле появляются поры, приводящие к нарушению устойчивости кристаллической решетки как механической системы и, вследствие этого, к смещению кристаллических плоскостей как целого – эффект Киркиндаля. В частности, при взаимной диффузии в бинарных металлических системах наблюдается перемещение «инертных» меток, например, тонких тугоплавких проволочек из Мо или W диаметром несколько мкм, внесенных в зону диффузии.
Скорость диффузионного массопереноса в различных веществах или материалах иногда удобно характеризовать константой их проницаемости П = D∙g, где g – константа Генри, определяющая равновесную растворимость переносимого компонента.
Коэффициенты диффузии существенно различаются для диффузионных процессов в газовых и конденсированных (жидких и твердых) средах: наиболее быстро перенос частиц происходит в газах (D порядка 10-4 м2/с при нормальных температуре и давлении), медленнее – в жидкостях (порядка 10-9 м2/с), еще медленнее – в твердых телах (порядка 10-12 м2/с).
