Министерство образования и науки РФ

Пензенский государственный университет

Кафедра: «Автономные и информационные управляющие системы»

Дисциплина: «Технология электро-приботростроения»

Лабораторная работа №4

МЕТОДЫ И ТЕХНОЛОГИЯ

ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ

ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ

Выполнили студенты группы 10ПА1:

Проверил к.т.н., доц.: Артамонов Д.В.

Пенза 2012

Цель работы

1. Изучить технологические процессы изготовления фотошаб­лонов для производства ПП и МПП.

2. Ознакомиться с принципами работы оборудования для из­готовления фотошаблонов.

3. Изучить характеристики и типы фотоматериалов для фотошаблонов.

4. Изучить методы контроля фотошаблонов.

5. Изучить методы структурного формирования комплектов фотошаблонов для различных технологических вариантов производства ПП.

Таблицы с результатами выполненных заданий

Таблица I

№ обр. ФШ	Вид изображения на ФШ			Тип образца ФШ
	Наружн. слой	Внутрен. слой	Резист-защита		Негатив	Позитив	Прямой	Зеркальный
1	+					+		+
2	+				+			+
3	+				+		+
4	+					+	+
5		+				+	+
6		+				+		+
7		+			+		+
8		+			+			+
9		+			+		+
10		+			+			+
11			+			+		+
12					+

Таблица II

	Минимальный размер, мм	Максимальный размер, мм
Ширина проводника
Ширина контактной площадки
Ширина зазора между проводниками
Ширина зазора между проводником и контактной площадкой
Ширина зазора между контактными площадками

Ответы на контрольные вопросы

1. Поясните назначение фотошаблонов в производстве пп?

Основным технологическим методом производства ПП явля­ется фотолитография, а основным инструментом фотолитографиче­ского процесса - фотошаблон (ФШ), посредством которого форми­руется рисунок топологии слоев в резисте.

2. Перечислите общие требования к фотошаблонам?

Общими техническими требованиями для всех классов фотошабло­нов, являются:

• соответствие рисунка схемы на ФШ проектному заданию;

• соответствие геометрических размеров элементов рисунка на ФШ «Техническим требованиям на комплект ФШ» соот­ветствующего типа

изделия ПП.

3. Назовите основные способы проектирования фотошаблонов?

1. «DA» (Design Automation - Автоматизированное проекти­рование) Данный способ эффективен при массовом проек­тировании стандартизованных ПП. При этом способе ЭВМ проводит все процессы обработки в соответствии с проект­ными данными.

2. «CAD» (Computer Aided Design - проектирование с помо­щью ЭВМ)

Этот способ заключается в проектировании про­водимом проектировщиком с проведением диалога с ЭВМ через графический дисплей. Данный способ применяется для проектирования стандартных печатных плат, требующих специальной обработки. Система CAD получила наи­более широкое применение.

4. Назовите основные свойства, которым должен отвечать фо­тошаблон, применяемый для изготовления прецизионных высокоплотных печатных плат?

Фотошаблоны для производства высокоплотных МПП долж­ны об­ладать высокими фотографическими качествами:

• Высокая разрешающая способность изображения рисунка топологии и других элементов. Минимальная ши­рина линий на фотошаблоне может быть 100 мкм и. разрешающая способность 300 лин/мм.

• Высокая контрастность изображения. Оптическая плотность Д непрозрачных участков должна быть не менее 3,5. Плот­ность вуали Д на прозрачных участках должна быть менее 0,1.

• Высокая точность соблюдения размеров элементов рисунка, шага расположения элементов и совмещаемость фотошаб­лонов в комплекте.

5. Назовите основные параметры фш, которые должны кон­тролироваться при их изготовлении?

Фотошаблоны, изготавливаемые на фотопленке, могут менять свои размеры с изменением температуры и влажности окружающей среды. В производстве фотошаблонов должны использоваться фо­томатериалы с малоусадочной основой.

Выполнение всех технологических операций должно прово­диться с соблюдением климатических условий: температура 20±1°С, влажность 55-60%.

Фотошаблон должен иметь минимальное количество дефек­тов: царапин, проколов, вырывов на прозрачных участках, пятен, вкраплений в виде темных точек и пузырьков на прозрачных участ­ках.

6. Запишите схему типового технологического процесса изго­товления фотошаблонов в производстве пп?

На рисунке 1 приведена схема типового технологического процесса изготовления фотошаблонов в современном производстве ПП: 1 – устройство управления приводами; 2 – специализированная ЭВМ; 3 – механизм привода фотоголовки; 4 – объектив; 5 – зеркало; 6 – затвор с механизмом привода; 7 – блок апертур с механизмом привода; 8 – блок конденсаторов; 10 – фотоматериал; 11 – координатный стол; 12 – привод координатного стола.

Рис.1