
- •Вакуумные методы нанесения покрытий.
- •Эл. Разряды в газах.
- •В ах для несамостоятельных разрядов.
- •Свечение состоит из зон:
- •Элементарные процессы в низкотемпературной плазме.
- •Рекомбинация
- •Равновесие между процессами образования и нейтрализации ионов
- •Тээ с поверхности Ме
- •Эсэ с поверхности Ме
- •Движение носителей в магнитном поле
- •Технологии плазменного напыления
- •Условия нагрева и плавления материала.
- •Р аспределение темпер-ры и энтальпии по сечению плазменной струи.
- •Взаимодействие напыляемого материала с поверхностью подложки
- •Химическое взаимодействие между частицами и подложкой
- •Некоторые вопросы практического использования плазменного напыления
- •Виды брака
- •Газопламенное напыление.
- •Детонационное напыление.
- •Вакуумные методы нанесения покрытий
- •Методы pvd. Методы термического напыления.
- •Способы подвода энергии
- •Магнетронное распыление
- •Классификация мрс
- •Ионное распыление
- •Осаждение дуговым разрядом или конденсация с ионной бомбардировкой киб
- •Методы химического осаждения из пара (cvd)
- •Физико-химические и технологические основы нанесения покрытий вакуумными методами. Механизмы роста покрытий
- •С труктура двухкомпонентных покрытий:
- •Классификация покрытий
Тээ с поверхности Ме
ē может покинуть поверхность Ме. Для того, чтобы это произошло, он должен преодолеть:
1. Силу зеркального отображения (Fзо):
Это сила притяжения ē к этой проводящей поверхности.
2. Силу, связанную с действием двойного электрического поля, образованного положительными ионами кристаллической решётки Ме и объёмным отрицательным зарядом ē тех, которые уже вырвались за поверхность раздела и удерживаются силами зеркального отображения.
х-расстояние, которое прошёл ē от поверхности
х0-толщина двойного слоя
ε0=8,85·10-18Ф/м
Энергия, необходимая для того, чтобы ē преодолел потенциальный барьер м.б. вычислена:
Эффективная
работа выхода ē:
-
энергия Ферми
При бомбардировке ионами поверхности ē приобретают достаточно энергии для выхода с поверхности. Плотность тока с пов-ти Ме определяется по формуле Ричардсона-Дэшмана:
А-коэффициент, равный 6·105 А/(м2·К2)
Эсэ с поверхности Ме
Сильное э/м поле у пов-ти может существенно уменьшать потенциальный барьер. В этом случае происходит автоэмиссия ē, т.е эмиссия без доп. энергии, без нагрева.
П
о
мере повышения напряжённости поля
происходит не только снижение
потенциального барьера, но и его сужение.
Ē е только перескакиваютчерез потенциальный
барьер, но и просачиваются сквозь него.
Это объясняется квантовой механикой,
а явление называется туннельный
эффект.
Е3>E2>E1
Движение носителей в электрическом поле.
В эл. поле заряженные
частицы совершают поступательное
движение согласно силовым линиям со
скоростью
,
одновременно она движется под действием
тепла со скоростью
:
.
Но при тепловом движении все направления
равновероятны, т.е. движение под давлением
очень важно.
Время жизни
заряженной частицы
определяется как:
,
где
- средняя длина свободного пробега
молекул (ē).
,
где ∆х – расстояние, на которое сдвигается
ē, kе-подвижность
ē, Е - напряжённость эл. поля.
Из уравнения Ланжевена можно найти kе:
Уравнение действует в приближении, что после соударения ē с ионом ē полностью теряет свою скорость, а ион движется без изменения скорости.
Скорость иона:
Р-давление
Подвижность иона:
А=0,5-1 и зависит от природы газа, qi- заряд иона.
Движение носителей в магнитном поле
Движение ē и ионов в постоянном магнитном поле можно разложить на 2 составляющие: движение параллельно силов. линиям магнитного поля и движение перпендикулярно им.
Вдоль магнитного поля частицы движутся с постоянной скоростью:
,
.
Благодаря присутствию
частицы
движутся по окружности за счёт приложенного
усилия, которое выражается:
,
где –радиус окружности, по которой
движутся заряды, с- скорость распространения
волн в вакууме,
-
напряжённость электрического поля.
Период вращения заряженной частицы по окружности:
,
Пн-период
вращения носителя, связан со скоростью:
Угловая скорость
вращения
или
.
Траектория движение ионов (а) и ē (б) в магнитном поле.
Технологии плазменного напыления
В общем случае установка для плазменного напыления состоит из узлов: плазмотрона(плазменная горелка), системы подачи напыляемого материала, системы водяного охлаждения, источника постоянного напряжения, системы охлаждения этого источника, систему подачи газов (плазмообразующего и транспортирующего), пульта управления, системы блокировок, устройства перемещения изделий или горелки, защитной камеры. Для плазменной горелки должна быть обеспечена вытяжная вентиляция( О3,NxOy,запыленность).
Требования к плазмотрону:
-Т на выходе из сопла 2500-20000К
-Высокая частота газов на выходе
-удобная регулировка электро параметров
-стабильная во времени работа
-высокий кпд.
В плазмотронах применяют дуговой разряд (иногда-тлеющий), ВЧ и СВЧ.
Принципиальная схема
П
орошок
в потоке транспортирующего газа во
взвешенном состоянии.
-плазмообразующий газ
-водяная рубашка
-порошок во взвешенном состоянии
-поток оплавленных частиц
-плазма
-анод
Катод-W+1%Th; анод-Cu. Плазмообр. газ-Ar,He,N,NH3, транспортир.газ-Ar; He;N.
Конструкция плазмотронов м.б. разная. В данном случае реализовано косвенное плазменное напыление (прямое – подложка заряжена).
Материал-в виде порошка, проволоки, прутка, гибкого шнура.
Сравнительная характеристика исходных материалов:
Порошки:
«+»низкая себестоимость, широкая номенкулатура,возможность получения сложного состава за счет использования композитных порошков.
«-»необходимость дополнительных операций по обеспечению высокой текучести(сушка, рассев, классификация и тд), высокое содержание О2 в покрытии из-за развитой поверхности порошка.
Проволока
«+»Широкая номенклатура марок и сортамента, дешевизна, возможность автоматизации.
«-»Необходимость дополнительных операций(промывка, калибровка и тд.), хрупкие материалы невозможно напылять этим методом.
Прутки(3-6 мм диаметра):
«+»не испытывают изгибающих напряжений=>могут состоять из хрупких и твердых материалов(оксидная и нитридная керамика).
«-»быстрый износ падающих роликов=> нарушение централизованной подачи материала в зону плавления, дороговизна, большой объем брака, плохо автоматизируется, необходимость дополнительных операций после длительного хранения.
Гибкий шнур - флексикор: порошок, закатанный в органическую оболочку=>прочность и гибкость.
В основном применяют порошки и проволоку.
Разряд зажигается м/у катодом и анодом а среде плазмообразующего газа, при обдуве столба дуги этими газами происходит охлаждение внешних зон плазмы, в них происходит деионизация, свечение плазмы уменьшается, увеличивается напряженность, происходит рост напряжения на электродах, растет температура(физический пинч-эффект).
При горении плазменный шнур имеет неправильную форму, испытывает систематические биения, пульсации, плазма может замыкаться на стенку. Для устранения этих эффектов-стабилизация плазмы.
Способы стабилизации плазмы:
1.Вихревой способ подачи плазмообразующего газа.
2.Использование межэлектродных вставок. Толщина вставок такая, чтобы избежать замыкания на стенку плазмотрона.
3.Закрутка плазмы электромагнитной катушкой. Использование эл-маг позволяет обеспечить непрерывное перемещение катодного и анодного пятна, это уменьшает разрушающее коррозионное и эрозионное воздействие на электроды.
4.Жидкостная стабилизация плазмы.
Конструкции плазмотронов
А
)Плазмотрон
с дугой, стабилизированной стенками
Б)Плазмотрон с каскадной дугой
В)Плазмотрон с изолирующими вставками
1-катод,
2-анод,
3-столб дуги,
4-изолятор
5-межэлектродная протяженная металлическая вставка
6-секция межэлектродной вставки.
А)Однокамерный с
вихревой стабилизацией.
Б)Однокамерный с полым катодом
1-электроды,2-столб дуги,3-канал ишунтирующего пробоя,4-катушки электролитов,5-вихревая кмера,6-термокатод,7-зона перемещения пятна дуги по электроду.
А1)С Секционированной межэлектродной вставкой с вихревой стабилизацей и изолирующими вставками.
Б1)С газодинамической фиксацией с самоустанавливающейся длиной дуги.
А2)С разделением плазмы.(Продукты эрозии выдуваются из центральной зоны)
1-катод, 2-изолятор, 3-шайбы, 4-ввод газа, 5-анодный узел, 6-вспомогательное сопло, 7-основное сопло, 8-жидкость, 9-столб дуги.
Б2)С жидкостной стабилизацией
ВЧИ-плазмотроны
В
ысокочастотный
индукционный разряд. 2 потока газа
(нижний и внутренний, который стабилизирует
плазму).
Плазма зажигается введением в трубу электрода, разряд поддерживается индукционной катушкой(без электрода),
1-ввод теплозащитного потока, 2-кожух для формирования внутореннего теплоизоляционного потока, 3-штуцер, 4-кожух для формирования внешнего обдува генератора, 5,8-кварцевые трубки, 6-цанговый зажим, 7-индуктор.
В
ЧЕ-плазмотрон
3 электрода, трубка
1,4-заземленные электроды,
2-центральный электрод,
3-экранирующий корпус,
5-шина,
6-корпус ВЧ-генератора,
7-вода плазмооборазующего газа,
8-штуцер,
9-завихритель,
10,14-торцевые крушки,
11,13-высокочастотные дуги,
12-разрядная камера,
15-выходное отверстие, 16-плазменная струя.
П
ринципиальная
схема линейного плазмотрона(а) и влияние
параметров режима его работы на тепловые
характеристики плазменной струи.
1-влияние тока дуги I,
2-расход газа V,
3 - длина дуги l,
4-диаметр канала d
Э
лектродуговой
плазмотрон косвенного действия – рис
а.
Рис. 6:
1. Среднемассовая температура газа.
2. Тепловая мощность
3. Тепловой КПД.
tg=AI[1-exp{-πdαkl/(cpV)}]
qg=AIcpV[1-exp{-πdαkl/(cpV)}]
η=AcpV/U*[1-exp{-πdαkl/(cpV)}]
A=E/(πdαk)
Р
аспределение
температуры.
а- в обычном дуговом разряде(I=200A, U=14,5B)
б- в потоке плазмы(схема-открытый анод,dc=4,9mm,V=1,08м2/ч, I=200А, u=29B)