
- •Вакуумные методы нанесения покрытий.
- •Эл. Разряды в газах.
- •В ах для несамостоятельных разрядов.
- •Свечение состоит из зон:
- •Элементарные процессы в низкотемпературной плазме.
- •Рекомбинация
- •Равновесие между процессами образования и нейтрализации ионов
- •Тээ с поверхности Ме
- •Эсэ с поверхности Ме
- •Движение носителей в магнитном поле
- •Технологии плазменного напыления
- •Условия нагрева и плавления материала.
- •Р аспределение темпер-ры и энтальпии по сечению плазменной струи.
- •Взаимодействие напыляемого материала с поверхностью подложки
- •Химическое взаимодействие между частицами и подложкой
- •Некоторые вопросы практического использования плазменного напыления
- •Виды брака
- •Газопламенное напыление.
- •Детонационное напыление.
- •Вакуумные методы нанесения покрытий
- •Методы pvd. Методы термического напыления.
- •Способы подвода энергии
- •Магнетронное распыление
- •Классификация мрс
- •Ионное распыление
- •Осаждение дуговым разрядом или конденсация с ионной бомбардировкой киб
- •Методы химического осаждения из пара (cvd)
- •Физико-химические и технологические основы нанесения покрытий вакуумными методами. Механизмы роста покрытий
- •С труктура двухкомпонентных покрытий:
- •Классификация покрытий
С труктура двухкомпонентных покрытий:
1) Столбчатые зерна с большим поперечным сечением (100-500мкм), длина зерен может совпадать с толщиной покрытия, между зернами находятся области повышенной пористости.
2)Структура трех или многокомп.покрытий: равноосные зерна малого размера 3-100нм, высокая плотность.
3) При большом количестве компонентов формируется аморфное состояние (не успевают образовываться кристаллиты – «каша»).
Н
а
рентгенограмме ширина пиков связана с
размером кристаллитов. Аморфная фаза
дает размытые пики, которые могут
накладываться др.на друга =>такую
картину тяжело расшифровать. Используются
спектроскопические методы для выявления
наноструктуры.
Уравнение Питча-Холла
σc- критическое напряжение излома
d
-
диаметр кристалла
σ0 , k - константы материала
Дислокациям становится энергетически невыгодно двигаться через данный кристалл
Увеличиваются поверхности раздела, т.к. дислокация по кристаллиту на 50% состоящего из границы двигаться не может. Дислокация движется по границам, следовательно уменьшается твердость и закон Питча-Холла меняется на обратный.
Оптимальные свойства получаются при введении на границу зерен аморфной фазы (Stan Veprek).
Толщина прослойки примерно 1 нм. Дислокация, зарождаясь где-то не может двигаться через аморфный материал.
Сцепление аморфной прослойки с кристаллитами должно быть очень прочное
Надо создать оптимальный слой аморфного матераила
Е
сть
материалы, которые восстанавливаются
после испытания на деформацию и они же
очень твердые. Нанокомпозиты обладают
высокой твердостью и высоким упругим
восстановлением.
Схема: Ме2N+αSi3N; TiN,CrN,WN,ZrN, аморфная фаза - Si3N4,BN, алмазоподобный углерод..
Влияние содержания аморфной фазы
А – 4ат% Si - крупные кристаллиты, неполностью разделены аморфной фазой.
В – 10ат% Si - более мелкие чем в 1ом случае кристаллиты в аморфной фазе (свойства оптимальные).
С – 17ат% Si - маленькие кристаллиты в аморфной фазе, свойства ухудшаются, прочность уменьшается (фактически материал получает свойства аморфной фазы).
П
ри
увеличении содержания Si
увеличивается содержание аморфной
фазы. Т.е. можно управлять параметрами.
Т.е. влияют Т и напряжение смещения.
Рис. С – макротрещина, т.к. аморфная фаза хрупкая.
Musil – тонкие прослойки на основе мягкого Ме.
nc – MeN: TiN,ZrN,AlN
soft – Me: Cu, Ni, Fe
твердость таких покрытий до 40 ГПа, кубический нитрид бора от 40 до 80 ГПа. Упругое восстановление – до 80%.
Еще один способ избежать зернограничное скольжение – создать super lattice (суперрешетку). В таких материалах проскальзывание предотвращается межфазной границей раздела (слои состоят из мат-лов с близкими периодами решёток – например, TiN, NbN).
Дислокации выходят на аморфную прослойку и исчезают. Каждый слой размером 5-7 нм каждый слой.
Классификация покрытий
Твердые износостойкие покрытия.
История твердых износостойких покрытий:
Первые покрытия представляли из себя простые металлы, полученные методом термического испарения простых материалов.
1910-1920 гг наносились методами термического испарения, например хром.
1912-1970 – методы испарения Ме.
70-е годы – ионная имплантация в Ме (N в сталь)
70-е годы- твёрдые нитридные покрытия PVD (затем и карбиды)+магнетронное распыление и CVD.
1980- TiN
Середина 80-х – работы по оптимизации структуры покрытий
90-е гг – тройные системы Ti-X-N, X=Al, B, Si, Cr+ концепция Veprek и наноструктурные покрытия.+ алмазные покрытия
2000 – суперрешётки, развитие 3-х компонентных систем, концепция Musil (введение Cu) + многокомпонентные системы TiCrBN, TiSiBN, TiAlSiN, TiCrSiN и т.д.
По виду, структуре можно выделить:
1. Однослойные однофазные покрытия (TiC, TiN, CrN, Al2O3).
2. Твёрдые покрытия. Осаждённые на подложке и подвергнутые азотированию. Азотирование – обеспеч. grad с, т.е. повышает адгезионную прочность.
3. Градиентные покрытия – имеют grad конц-ции эл-тов, обеспечивающих плавный переход от состава покрытия к составу подложки.
4. Покрытия типа «сэндвич» (TiC-TiCN-TiN, TiN-TiCN-TiN, TiC- Al2O3-TiN). Они обеспечивают прочное сцепление с подложкой, каждый из компонентов снижает износ опред. участков режущей пластины.
5. Суперрешётки (TaN-TiN, TiN-NbN).
6. Однослойные наноструктурные покрытия
Многослойные – для подавления столбчатой структуры (с низкие св-вами).
Важными критериями износостойких покрытий яв-ся:
1. Твёрдость (чем выше, тем выше износостойкость).
2. Отношение твёрдости к модулю упругости Н/Е – для объёмных материалов и для покрытий. Критерий – упругая деформация разрушения. Справедлив для твёрдых покрытий.
3. Стойкость материала к пластической деформации Н3/Е2 – определяет сопротивления материла к проникновению индентора (шарика) – определяет механизм деформации покрытия и износостойкость.
4. Упругое восстановление (при приложении нагрузки) – (Hmax-Hкон)/Hmax·100%, где Н – глубина максимальная и конечная.
5. Трещинностойкость К1с
Часто опред. износост. достаточно сложно, т.к. она опред-ся продуктами износа, т.е. критерии могут не работать, а отдалённо давать сведения об износе + важна структура покрытия (гексагон., кубич.).
Ti-Si-B-C-N – низкий fтр, высокая твёрдость, но низкая износост.
Ti-B-N – высокая износост., высокие св-ва.
Покрытия с низким fтр.
Твёрдость:
70-100 – алмаз
45 – C-BN
28 - SiC
20 – α-Al2O3
9 – сталь
1. Покрытия ан основе или с добавлением тв. смазки – WSe2, MoS2, h-BN. Наносятся или как самостоятельное покрытие или как составная часть нанокопозита или в виде функциональных слоёв в 2-х и многослойных покрытиях.
Для осаждения в осн. исп-ся магнетронное и ионное распыление, осаждение с использованием лазера. Может проводиться имплантация пов-ти с целью образования смазочного слоя на пов-ти (например, Si в WN).
2. Углеродные покрытия (DLC). Покрытия, содержащие С и Н. Исп-ся самостоятельно или в нанокомпозитах типа TiC/C:H в качестве матричного компонента. Получают путём физического осаждения (магнетронное, ионное распыление, метод КИБ) из углеводородов (реакц. газ).
3
.
Полимерные покрытия. Тефлон – низкий
fтр
из-за строения молекул - CF2=CF2,
т.е. исп-ся в ограниченном диапазоне Т,
fтр<0,2.
Наносятся вакуумными методами – происходит разрушения молекул, т.е. можно осадить рапылением (перевод в атомарное состояние). М.б. распылили тефлон, а получили полиэтилен ☺.
Покрытия типа «Хамелеон»
Карбиды 3-10 нм, прослойки 2-6 нм.
С низким fтр.Покрытия для космоса, содержат кристаллиты тв. фазы типа WC, TiC, Al2O3, TiN – обеспечивают износостойкость, смаз. фазы - аморфный C, WS2, BN, Au – снижают fтр.
В процессе трения трибологический слой меняется в зависимости от окружающей среды (Т, состава среды) – т.к. есть дисульфиды, алмазопод. С, Ме – все работают при опред. условиях. Дисульфиды – чувствительны к влажности, но работают при высоких Т, алмазоподобный С снижает fтр покрытий во влажном воздухе при низких Т до начения 0,1-0,15(но имеет низкую стойкость к окислению при высоких Т), халькогениды в вакууме или сухом азоте - <0,1. Халькогениды и Ме (Au), окружённые керамич. матрицей обеспечивают fтр = 0,2 до 5000С.
Т.о. в зависимости от условий меняется состав трибологических слоёв.
Жаростойкие и жаропрочные покрытия.
Должны иметь стабильную структуру до высоких Т (800-10000С или выше), сопротивляться диффузии элементов из подложки (Fe, Ni, Co), образовывать на пов-ти плотные защитные оксиды в процессе окисления, сохранять стабильный уровень мех. и трибологических свойств.
1. Оксидные покрытия (Al2O3, ZrO2). Наносятся самостоятельно или в качестве упрочняющей фазы в композиты, содержащие Ме матрицу.
2. Многокомпонентные нанокомпозитные покрытия, содержащие Si, Cr, Al, Zr и др. элементы, способствующие образованию защитных оксидов на поверхности.
3. 2-х или многослойные покрытия с различными комбинациями слоёв по составу.
Биосовместимые покрытия.
1. Покрытия на основе оксидов, фосфатов кальция, гидроксиапатита. Обладают высокой биосовместимостью, хорошо срастаются с костной тканью за счёт наличия в составе Ca и P.
«-» - высокая хруакость, низкая твёрдость и низкая адгезия.
«+» - высокая биосовместимость.
2. Покрытия на основе TiN или TiCN. Обладают высокими физико-мех. св-вами, высокой трещинностойкостью, хорошей адгезией.
«-» - высокая биоинертность
3. Покрытия на основе TiC или TiCN, содержащие элементы для повышения биологических св-в – Ca, P, Si, Ta и др. Обладают высокими физико-мех. св-вами и высокой биосовместимостью.