Учебная дисциплина «вакуумная и плазменная электроника»

И.Броудай, Дж. Мерей. Физические основы микротехнологии. М., Мир/1985 г. стр. 90-227.

Ю.П.Райзер. Физика газового разряда. М. Наука, 1987.

Ф. Чен. Введение в физику плазмы. М. Мир, 1987.

Л.А. Арцимович, С.Ю. Лукьянов. Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях. М., Наука, 1972.

Б.Н. Швилкин, Н.А. Мисканова. Физическая электроника в задачах. М., Наука, 1987.

В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М., Радио и связь, 1983.

Антоненко К.И., Шарапов В.И. Вакуумная и плазменная электроника. М.МИЭТ, 2005-60 стр.

1

ЭБС МИЭТ mochit. miet. ru.

Временный интервал

Темы

Продолжительность тестирования

Используемый ПП

С 25 ноября по 15 декабря

Вакуумная техника.

Эмиссия электронов из твердого тела.

30-40 мин

ОРОКС

1. 1

Понятие вакуумной и плазменной электроники. Научно-технические задачи, решаемые ее использованием. Вакуум как технологическая среда. Степени вакуума. Состав остаточной атмосферы. Основные понятия о получении вакуума и измерении остаточного давления.

2. 2

Источники электронов. Общие причины эмиссии электронов с поверхности твердого тела. Общие требования к катодам.

3. 3

Источники электронов с термоэлектронной эмиссией. Влияние различных факторов на плотность тока эмиссии. Материалы катодов с термоэлектронной эмиссией. Особенности конструкции и эксплуатации

4. 4

Сравнительные характеристики катодов с термоэлектронной эмиссией. Их использование в приборах и технологии.

5. 5

Источники электронов с автоэлектронной эмиссией. Условия, необходимые для возникновения автоэлектронной эмиссии. Уравнение плотности тока автоэлектронной эмиссии.

6. 6

Материалы катодов с автоэлектронной эмиссией. Особенности конструкции и эксплуатации. Достоинства и недостатки.

7. 7

Катоды с термоавтоэлектронной эмиссией. Особенности конструкции и эксплуатации. Достоинства и недостатки. Области применения. Сравнительные характеристики различных типов катодов

8. 8

Элементы электронно-оптических систем. Электростатические линзы и зеркала. Магнитные линзы. Системы управления пучками.

9. 9

Понятие плазма. Типы и методы создания плазмы. Характеристики плазмы

10. 10

Термодинамическое равновесие плазмы. Неустойчивость плазмы.

11. 11

Плазма во внешних полях. Движение заряженных частиц во внешних полях.

12. 12

Явления переноса частиц в плазме под действием: электрического поля, градиента концентрации частиц, градиента температуры.

13. 13

Элементарные процессы в плазме. Образование и взаимодействие частиц в плазме

14. 14

Химические реакции в плазме. Образование химически активных частиц

15. 15

Доставка химически активных частиц и взаимодействие их с поверхностью твердого тела

16. 16

Диагностика плазмы.

17. 17

Устройства для ионно-плазменной обработки материалов.

2. ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАНЯТИЯ:

1. 1.

Расчет характеристик катодов с термоэлектронной эмиссией. Решение задач на расчет плотности тока эмиссии термокатодов – 2 часа

2. 2.

Расчет характеристик катодов с автоэлектронной эмиссией. Решение задач на расчет плотности типа эмиссии с автокатодов – 2 часа.

3. 3.

Расчет движения электронов в электрическом поле. Решение задач на определение энергетических и пространственных характеристик движения электронов в электрических полях. – 2 часа.

4. 4.

Расчет движения электронов в магнитном поле. Решение задач на определение энергетических и пространственных характеристик движения электронов в магнитных полях – 2 часа.

5. 5

Расчет параметров плазмы. Решение задач на определение радиуса Дебая-Гюккеля, величину пороговой концентрации частиц плазмы, характерного размера области плазмы. – 2 часа.

6. 6

Движение заряженных частиц плазмы во внешних электрическом и магнитном поле. Решение задач на определение изменения параметров частиц плазмы (скорость, время движения, пройденное расстояние, радиус орбиты, частоту вращения по орбите, кинетическую энергию. – 2 часа.

7. 7

Движение и взаимодействие частиц плазмы. Решение задач на определение длины свободного пробега частицы, степени ионизации, изменение их в различных газах при изменении их параметров (температура, давление). – 2 часа.

8. 8

Определение параметров направленного потока частиц. Решение задач на определение величины электрического тока, проводимости плазмы различных газов и изменение энергии частиц плазмы во внешних полях. – 2 часа.