Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Karpovich

© ä‡Ôӂ˘ à.А., 2001

QUANTUM ENGINEERING: SELF-ASSEMBLED QUANTUM DOTS

I. A. KARPOVICH

The self-assembled quantum dots are a new topic in nanoelectronics, which draws much attention of physicists, engineers, technologists, and designers of the optoelectronic devices. The problems of growth, study and applications of the self-assembled quantum dot heterostructures are discussed.

л‡ПУУ „‡МЛБУ‚‡ММ˚В Н‚‡МЪУ‚˚В ЪУ˜НЛ – МУ‚˚И У·˙ВНЪ М‡МУ˝ОВНЪ УМЛНЛ, Ф Л‚ОВН‡- ˛˘ЛИ ·УО¸¯УВ ‚МЛП‡МЛВ ЩЛБЛНУ‚, ЛМКВМВ-У‚, ЪВıМУОУ„У‚ Л ‡Б ‡·УЪ˜ЛНУ‚ УФЪУ˝ОВН- Ъ УММ˚ı Ф Л·У У‚. к‡ТТПУЪ ВМ˚ ‚УФ УТ˚ ФУОЫ˜ВМЛfl, ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl Л Ф ЛПВМВМЛfl „ВЪВ-УТЪ ЫНЪЫ Т c‡ПУУ „‡МЛБУ‚‡ММ˚ПЛ Н‚‡М- ЪУ‚˚ПЛ ЪУ˜Н‡ПЛ.

www.issep.rssi.ru

ЗЗЦСЦзаЦ

З ‰ВН‡· В 2000 „У‰‡ ЛТФУОМЛОУТ¸ 100 ОВЪ Н‚‡МЪУ‚УИ ЩЛБЛНВ. ЦВ ‰МВП УК‰ВМЛfl Т˜ЛЪ‡ВЪТfl 14 ‰ВН‡· fl 1900 „У‰‡, НУ„‰‡ М‡ Б‡ТВ‰‡МЛЛ зВПВˆНУ„У ЩЛБЛ˜ВТНУ„У У·˘ВТЪ‚‡ е‡НТ иО‡МН ТУУ·˘ЛО У· Л‰ВВ Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl ˝МВ „ЛЛ ˝ОВНЪ УП‡„МЛЪМУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl Л ‚‚В‰ВМЛЛ ‚ ЩЛБЛНЫ МУ- ‚УИ ПЛ У‚УИ НУМТЪ‡МЪ˚ h, УФ В‰ВОЛ‚¯ВИ ‚ВОЛ˜ЛМЫ Н‚‡МЪ‡ ˝МВ „ЛЛ Л ФУОЫ˜Л‚¯ВИ М‡Б‚‡МЛВ ФУТЪУflММУИ иО‡МН‡. з‡ Л‰Вflı Н‚‡МЪУ‚УИ ЩЛБЛНЛ ‚УБМЛНО‡ Н‚‡МЪУ- ‚‡fl ЛМКВМВ Лfl – ‡Б ‡·УЪН‡ Ф Л·У У‚, Ф ЛМˆЛФ ‰ВИТЪ- ‚Лfl НУЪУ ˚ı УТМУ‚‡М М‡ Н‚‡МЪУ‚˚ı ˝ЩЩВНЪ‡ı. 䂇МЪУ‚‡fl ЩЛБЛН‡ Л ЛМКВМВ Лfl ‰‡ОЛ ПЛ Ы У„ УПМУВ НУОЛ˜ВТЪ‚У М‡Ы˜МУ-ЪВıМЛ˜ВТНЛı УЪН ˚ЪЛИ, Л Т В‰Л МЛı ‰‚‡ Н ЫФМВИ¯Лı УЪН ˚ЪЛfl XX ТЪУОВЪЛfl – ЛБУ· ВЪВМЛВ Ъ ‡МБЛТЪУ ‡ Л О‡БВ ‡, ФУ У‰Л‚¯ЛВ „ОУ·‡О¸М˚И ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚И ‚Б ˚‚.

ÇМ‡˜‡ОВ МУ‚У„У Н‚‡МЪУ‚У„У ТЪУОВЪЛfl П˚ fl‚ОflВПТfl Т‚Л‰ВЪВОflПЛ ‚˚‰‡˛˘ЛıТfl ‰УТЪЛКВМЛИ Н‚‡МЪУ‚УИ ЛМКВМВ ЛЛ ‚ ˝ОВНЪ УМЛНВ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡, НУЪУ ‡fl, ФУ‰У·- МУ „ВММУИ ЛМКВМВ ЛЛ ‚ ·ЛУОУ„ЛЛ, ТУБ‰‡ВЪ ЛТНЫТТЪ‚ВМ- М˚В ‡ЪУП˚ – Н‚‡МЪУ‚˚В ЪУ˜НЛ Л Ф Л·У ˚ М‡ Лı УТМУ‚В,

‡Ъ‡НКВ Н‚‡МЪУ‚˚В У·˙ВНЪ˚, ‡М‡ОУ„У‚ НУЪУ ˚П МВЪ ‚ Ф Л У‰В, ‡Б ‡·‡Ъ˚‚‡ВЪ ПВЪУ‰˚ ЫФ ‡‚ОВМЛfl ‰‚ЛКВМЛВП В‰ЛМЛ˜М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰ВО‡ВЪ ПМУ„УВ ‰ Ы„УВ, В˘В МВ‰‡‚МУ Н‡Б‡‚¯ВВТfl МВ‚УБПУКМ˚П.

Ç̇˜‡Î 1960-ı „У‰У‚ ЩЛБЛНЛ, ‡·УЪ‡˛˘ЛВ ‚ У·О‡- ТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚, ТЪ‡ОЛ УТУБМ‡‚‡Ъ¸, ˜ЪУ У·˙ВНЪУП Лı ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ Л Ф ЛПВМВМЛfl ‚ ˝ОВНЪ УМЛНВ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ МВ ЪУО¸НУ Ф Л У‰М˚В Н‚‡МЪУ‚˚В ˝ОВНЪ УММ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ (‡ЪУП˚, ПУОВНЫО˚, Н ЛТЪ‡ОО˚), МУ Л ФУ- ‰У·М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚П ‡БПВ М˚П Н‚‡М- ЪУ‚‡МЛВП, ТУБ‰‡ММ˚В ЛТНЫТТЪ‚ВММУ ‚ Ъ‚В ‰УП ЪВОВ. иУfl‚ЛОЛТ¸ ФВ ‚˚В ЪВУ ВЪЛ˜ВТНЛВ, ‡ Б‡ЪВП Л ˝НТФВ Л- ПВМЪ‡О¸М˚В ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ‡БПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl ‚ ЪУМНЛı ТОУflı ФУОЫПВЪ‡ООУ‚ (Bi) Л ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ (InSb) (ФУ‰ У·МВВ ТП. [1]).

иУ‰ОЛММ˚И ·ЫП ‚ ˝ЪУИ У·О‡ТЪЛ М‡˜‡ОТfl ‚ 1980-ı „У- ‰‡ı, НУ„‰‡ ЪВıМУОУ„Л М‡Ы˜ЛОЛТ¸ НУМЪ УОЛ ЫВПУ ‚˚ ‡˘Л- ‚‡Ъ¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ЛТЪ‡ООУ‚ У‰МЛı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ ТУ‚В ¯ВММ˚В ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛВ ТОУЛ ‰ Ы„Лı ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚ ЪУО˘ЛМУИ ‚ТВ„У ‚ МВТНУО¸НУ ТОУВ‚ ‡ЪУПУ‚, ЪУ ВТЪ¸ ФУ fl‰Н‡ М‡МУПВЪ ‡, Л ТУБ‰‡‚‡Ъ¸ МВУ‰МУ-У‰М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ („ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚) Т Ъ‡НЛПЛ ТОУflПЛ. сВМЪ ‡О¸М˚П У·˙ВНЪУП ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ ТЪ‡ОЛ „ВЪВ УМ‡- МУТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ flП‡ПЛ Л Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ Т‚В ı-В¯ВЪН‡ПЛ ЛБ Ъ‡НЛı flП М‡ УТМУ‚В ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl (GaAs) Л В„У Ъ‚В ‰˚ı ‡ТЪ‚У У‚ (AlxGa1 − xAs Ë InxGa1 − xAs)‡ÁÌÓ„Ó ÒÓÒÚ‡‚‡ (x = 0,1–1). щЪЛ П‡ЪВ Л‡О˚ ЛПВ˛Ъ ФУ‰- ıУ‰fl˘Ы˛ ‰Оfl Ф ЛПВМВМЛfl ‚У ПМУ„Лı ˝ОВНЪ УММ˚ı, Л УТУ·ВММУ УФЪУ˝ОВНЪ УММ˚ı, Ф Л·У ‡ı ТЪ ЫНЪЫ Ы ˝МВ „В- ЪЛ˜ВТНЛı БУМ Л УЪМУТЛЪВО¸МУ П‡ОЫ˛ ˝ЩЩВНЪЛ‚МЫ˛ П‡Т- ТЫ ˝ОВНЪ УМУ‚, ˜ЪУ У·ОВ„˜‡ВЪ ТУБ‰‡МЛВ ЫТОУ‚ЛИ ‰Оfl ‡Б- ПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl.

л М‡˜‡О‡ 1990-ı „У‰У‚ ЛМЪВ ВТ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОВИ ‚ТВ ·УО¸¯В ФВ ВПВ˘‡ВЪТfl М‡ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ ЪУ˜Н‡ПЛ (дн), УТУ·ВММУ ФУТОВ ЪУ„У, Н‡Н ·˚О‡ ‚˚flТМВМ‡ ‚УБПУКМУТЪ¸ Т‡ПУУ „‡МЛБУ‚‡ММУ„У УТЪ‡ П‡ТТЛ‚У‚ ·ВБ- ‰ВЩВНЪМ˚ı ‚НО˛˜ВМЛИ (НО‡ТЪВ У‚) InAs ‚ П‡Ъ ЛˆВ GaAs, Ф Уfl‚Оfl˛˘Лı Т‚УИТЪ‚‡ Н‚‡МЪУ‚˚ı ЪУ˜ВН [2]. ЙВЪВ УТЪ-ЫНЪЫ ˚ Т Т‡ПУУ „‡МЛБУ‚‡ММ˚ПЛ Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ ЪУ˜Н‡- ПЛ (лдн) Л fl‚Оfl˛ЪТfl Ф В‰ПВЪУП ‡ТТПУЪ ВМЛfl ‚ ˝ЪУИ ТЪ‡Ъ¸В.

щооЦдн кАбеЦкзйЙй дЗАзнйЗАзаь. дЗАзнйЗхЦ нйуда

щЩЩВНЪ ‡БПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl ТУТЪУЛЪ ‚ ЪУП, ˜ЪУ У„-‡МЛ˜ВМЛВ ‰‚ЛКВМЛfl ˜‡ТЪЛˆ˚ ‚ Ф УТЪ ‡МТЪ‚В ‚ Н‡НУПОЛ·У М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ ТЪВМН‡ПЛ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚ Ф Л- ‚У‰ЛЪ Н Н‚‡МЪУ‚‡МЛ˛ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ВИ НУПФУМВМЪ˚ ВВ НЛМВЪЛ˜ВТНУИ ˝МВ „ЛЛ: УМ‡ ФВ ВТЪ‡ВЪ ЛБПВМflЪ¸Тfl МВ- Ф В ˚‚МУ, Н‡Н ‚ НО‡ТТЛ˜ВТНУИ ПВı‡МЛНВ, ‡ Ф ЛМЛП‡ВЪ ЪУО¸НУ ТЪ У„У УФ В‰ВОВММ˚В ‰ЛТН ВЪМ˚В БМ‡˜ВМЛfl [1].

лУ„О‡ТМУ Н‚‡МЪУ‚УИ ПВı‡МЛНВ, МВ ЪУО¸НУ ‚УОМ˚ Ф Уfl‚Оfl˛Ъ Т‚УИТЪ‚‡ ˜‡ТЪЛˆ, Н‡Н ‚ФВ ‚˚В Ф В‰ФУОУКЛО е. иО‡МН, МУ Л ПЛН У˜‡ТЪЛˆ˚ Ф Уfl‚Оfl˛Ъ ‚УОМУ‚˚В Т‚УИТЪ‚‡, НУЪУ ˚В ı‡ ‡НЪВ ЛБЫ˛ЪТfl ‰ОЛМУИ ‚УОМ˚ ˜‡Т- ЪЛˆ˚ λe = h/(2meE)1/2, „‰Â h –ФУТЪУflММ‡fl иО‡МН‡, me – ˝ЩЩВНЪЛ‚М‡fl П‡ТТ‡ ˜‡ТЪЛˆ˚, E – ВВ НЛМВЪЛ˜ВТН‡fl ˝МВ „Лfl. щЩЩВНЪ ‡БПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl ТЪ‡МУ‚ЛЪТfl ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚П, НУ„‰‡ ¯Л ЛМ‡ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚ L ТУЛБПВ ЛП‡ Т λe .

С‡О¸¯В ФУ‰ ˜‡ТЪЛˆ‡ПЛ ·Ы‰ВП ЛПВЪ¸ ‚ ‚Л‰Ы Т‚У·У‰- М˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ – ˝ОВНЪ УМ˚ ‚ БУМВ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Л ‰˚ НЛ ‚ ‚‡ОВМЪМУИ БУМВ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚У„У Н ЛТ- Ъ‡ОО‡ Т ˝ЩЩВНЪЛ‚М˚ПЛ П‡ТТ‡ПЛ me Ë mh ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ, НУЪУ ˚В ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ПВМ¸¯В П‡ТТ˚ ˝ОВНЪ УМ‡ ‚ ‚‡НЫЫПВ m0 . Ç GaAs me = 0,07m0 Ë mh = = 0,5m0 . дЛМВЪЛ˜ВТН‡fl ˝МВ „Лfl ЪВФОУ‚У„У ‰‚ЛКВМЛfl

˝ÎÂÍÚ ÓÌÓ‚ Ë ‰˚ ÓÍ E ≈ 0,025 ˝Ç Ë, ÒΉӂ‡ÚÂθÌÓ, λe ≈ ≈ 8 МП ‰Оfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Л 3 МП ‰Оfl ‰˚ УН. з‡МУПВЪ У‚˚И П‡Т¯Ъ‡· Л УФ В‰ВОflВЪ ı‡ ‡НЪВ М˚И ‡БПВ ТЪ ЫНЪЫ , ‚ НУЪУ ˚ı Ф Уfl‚ОflВЪТfl ‡БПВ МУВ Н‚‡МЪУ‚‡МЛВ. йЪ МВ„У Л Ф УЛБУ¯ОУ М‡Б‚‡МЛВ ˝ОВНЪ УМЛНЛ Ъ‡НЛı ТЪ ЫНЪЫ – М‡МУ˝ОВНЪ УМЛН‡.

ЦТОЛ ‰‚ЛКВМЛВ ˝ОВНЪ УМУ‚ У„ ‡МЛ˜ВМУ ЪУО¸НУ ФУ У‰МУПЫ М‡Ф ‡‚ОВМЛ˛ (М‡Ф ЛПВ , ФУ УТЛ z), ЪУ ‚ ФОУТНУТЪЛ x, y УМЛ ‰‚ЛКЫЪТfl Т‚У·У‰МУ Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛВ НУПФУМВМЪ˚ Лı ˝МВ „ЛЛ МВ Н‚‡МЪЫ˛ЪТfl. й· ‡МТ‡П·ОВ Ъ‡НЛı ˝ОВНЪ УМУ‚ „У‚У flЪ Н‡Н У ‰‚ЫПВ МУП ˝ОВНЪ УММУП „‡БВ, ‡ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Ъ‡НЛПЛ У·О‡ТЪflПЛ М‡Б˚- ‚‡˛Ъ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ‡ПЛ Т Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ flП‡ПЛ.

к‡ТТПУЪ ЛП МВТНУО¸НУ ·УОВВ ‰ВЪ‡О¸МУ ˝ЩЩВНЪ ‡Б- ПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl М‡ Ф ЛПВ В „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Н‚‡МЪУ‚УИ flПУИ, У· ‡БУ‚‡ММУИ ФЫЪВП ‚ТЪ ‡Л‚‡МЛfl ЪУМНУИ (¯Л ЛМУИ L 1–10 МП) Ф УТОУИНЛ Ъ‚В ‰У„У ‡ТЪ‚У-‡ InxGa1 − xAs ‚ УЪМУТЛЪВО¸МУ ·УОВВ ЪУОТЪ˚И ( 1 ПНП) ТОУИ GaAs. тЛ ЛМ‡ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Ъ‚В ‰У„У ‡Т- Ъ‚У ‡ InxGa1 − xAs Eg(x) ПВМ¸¯В ¯Л ЛМ˚ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ GaAs 1,43 ˝З Л ОЛМВИМУ ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl Т УТЪУП x ‰У БМ‡˜ВМЛfl 0,36 ˝З ‚ InAs. з‡ „ ‡МЛˆВ ˝ЪЛı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ‚УБМЛН‡ВЪ „ВЪВ УФВ ВıУ‰ ( ЛТ. 1, ‡), Ф Л НУЪУ УП ‡Б-˚‚˚ БУМ˚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Ec(x) Л ‚‡ОВМЪМУИ БУМ˚

Ev(x) У· ‡БЫ˛Ъ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ ТУ‚ПВ˘ВММ˚В ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚В flП˚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ ‰Оfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН.

Ee2

Ec

Ee1

hν

Eh1

Ev Eh2

GaAs InGaAs

êËÒ. 1. щМВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ ‰Л‡„ ‡ПП˚ Н‚‡МЪУ‚УИ flП˚ (ЪУ˜НЛ) ·ВБ ФУОfl (‡) Л ‚ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУП ФУОВ (·), М‡- Ф ‡‚ОВМЛВ НУЪУ У„У ФУН‡Б˚‚‡ВЪ ТЪ ВОН‡ F. кЛТЫМУН ЛОО˛ТЪ Л ЫВЪ Ъ‡НКВ ПВı‡МЛБП˚ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ (‡) Л ЩУЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪЛ (·) „ÂÚ ÓÒÚ ÛÍÚÛ Ò ëäí

СЛТН ВЪМ˚И ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛИ ТФВНЪ ˝ОВНЪ УМУ‚ ÖÂn Ë ‰˚ ÓÍ Öhn ‚ ·ВТНУМВ˜МУ „ОЫ·УНУИ У‰МУПВ МУИ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flПВ ЛПВВЪ М‡Л·УОВВ Ф УТЪУИ ‚Л‰:

„‰Â " = h/(2π), n – Н‚‡МЪУ‚УВ ˜ЛТОУ, Ф ЛМЛП‡˛˘ВВ ˆВОУ˜ЛТОВММ˚В БМ‡˜ВМЛfl 1, 2, 3, … З˚ ‡КВМЛВ (1) УФ В‰В- ОflВЪ Н‚‡МЪУ‚‡ММ˚В ФУОУКВМЛfl ‰М‡ ФУ‰БУМ Т МВФ В ˚‚- М˚П ‰Оfl ‰‚ЛКВМЛfl ‚ ФОУТНУТЪЛ x, Û ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛП ТФВНЪ УП. пУЪfl ФУ‰У·М‡fl ПУ‰ВО¸ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚ МВ У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪ МВУ·ıУ‰ЛПУИ ЪУ˜МУТЪЛ ‡Т˜ВЪ‡ ˝МВ - „ВЪЛ˜ВТНУ„У ТФВНЪ ‡ В‡О¸М˚ı Н‚‡МЪУ‚˚ı У·˙ВНЪУ‚, УМ‡ Ф ‡‚ЛО¸МУ ФВ В‰‡ВЪ В„У УТМУ‚М˚В Н‡˜ВТЪ‚ВММ˚В УТУ- ·ВММУТЪЛ.

З Ъ‡НУП КВ Ф Л·ОЛКВМЛЛ Н‚‡МЪУ‚Ы˛ ЪУ˜НЫ ПУКМУ‡ТТП‡Ъ Л‚‡Ъ¸ Н‡Н НЫ· ТУ ТЪУ УМ‡ПЛ Lx = Ly = Lz Л ·ВТНУМВ˜МУ ‚˚ТУНЛПЛ ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚ПЛ ТЪВМН‡ПЛ. щМВ „ВЪЛ- ˜ВТНЛИ ТФВНЪ Н‚‡МЪУ‚УИ ЪУ˜НЛ ‰‡ВЪТfl ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ТЫППУИ ‚˚ ‡КВМЛИ ‚Л‰‡ (1) ФУ Н‡К‰УПЫ М‡Ф ‡‚ОВМЛ˛. и ЛМˆЛФЛ‡О¸МУВ УЪОЛ˜ЛВ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУ„У ТФВНЪ ‡ Н‚‡МЪУ‚УИ ЪУ˜НЛ УЪ ТФВНЪ ‡ Н‚‡МЪУ‚УИ flП˚ ТУТЪУЛЪ ‚ ЪУП, ˜ЪУ УМ ФУОМУТЪ¸˛ ‰ЛТН ВЪМ˚И, Н‡Н ‚ ‡ЪУП‡ı. 䂇МЪУ‚Ы˛ ЪУ˜НЫ Т ФУОМ˚П УТМУ‚‡МЛВП ПУКМУ ‡ТТП‡- Ъ Л‚‡Ъ¸ Н‡Н ЛТНЫТТЪ‚ВММ˚И Т‚В ı‡ЪУП, Ъ‡Н Н‡Н УМ‡ У·˚˜МУ ТУТЪУЛЪ ЛБ ‰ВТflЪНУ‚ Л ‰‡КВ ТУЪВМ Ъ˚Тfl˜ У·˚˜- М˚ı ‡ЪУПУ‚. аı УО¸ Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ЩУ ПЛ У‚‡МЛЛ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚ Т ‰ЛТН ВЪМ˚П ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛП ТФВН- Ъ УП ‰Оfl У‰МУ„У ˝ОВНЪ УМ‡ ЛОЛ ‰˚ НЛ.

и Л ‡Т˜ВЪВ ТФВНЪ ‡ ‡БПВ МУ„У Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl В- ‡О¸М˚ı Н‚‡МЪУ‚˚ı flП Л ЪУ˜ВН InxGa1 − xAs/GaAs МВУ·ıУ- ‰ЛПУ Ы˜ЛЪ˚‚‡Ъ¸ НУМВ˜МЫ˛ „ОЫ·ЛМЫ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚, НУЪУ ‡fl УФ В‰ВОflВЪТfl ‡Б ˚‚‡ПЛ БУМ М‡ „ВЪВ У„ ‡МЛˆВ

ËМВ Ф В‚˚¯‡ВЪ 0,7 ˝З, Л ЫФ Ы„ЛВ М‡Ф flКВМЛfl, ‚УБМЛН‡-

˛˘ЛВ ЛБ-Б‡ ‡БОЛ˜Лfl ФУТЪУflММ˚ı В¯ВЪУН InxGa1 − xAs Л GaAs Л ‚˚Б˚‚‡˛˘ЛВ ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚В ЛБПВМВМЛfl ˝МВ „В- ЪЛ˜ВТНУ„У ТФВНЪ ‡ ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН. з‡ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛИ ТФВНЪ лдн, ВТЪВТЪ‚ВММУ, ‚ОЛfl˛Ъ ‡БПВ ˚ Л ЩУ П‡ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚, НУЪУ ˚В УФ В‰ВОfl˛ЪТfl ‡БПВ ‡ПЛ

ËЩУ ПУИ НО‡ТЪВ У‚ Л ‡ТФ В‰ВОВМЛВП ıЛПЛ˜ВТНУ„У ТУТЪ‡‚‡ ‚МЫЪ Л МЛı, ‡ Ъ‡НКВ МВНУЪУ ˚В ‰ Ы„ЛВ Щ‡НЪУ-˚. З В‡О¸М˚ı Н‚‡МЪУ‚˚ı flП‡ı Л ЪУ˜Н‡ı У·˚˜МУ ЛПВВЪТfl МВ·УО¸¯УВ ˜ЛТОУ Ы У‚МВИ Н‚‡МЪУ‚‡МЛfl.

й‰МУ ‚ ВПfl Т˜ЛЪ‡ОУТ¸, ˜ЪУ Ф Л ‡БОЛ˜ЛЛ ФУТЪУflМ- М˚ı В¯ВЪУН ·УОВВ ˜ВП М‡ 0,1% МВ‚УБПУКМУ ФУОЫ˜ЛЪ¸ ТУ‚В ¯ВММ˚И „ВЪВ УФВ ВıУ‰ ЛБ-Б‡ У· ‡БУ‚‡МЛfl ‚ ПВТЪВ ТУФ flКВМЛfl В¯ВЪУН ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ ‚Л‰В У· ˚‚У‚ ‡ЪУП- М˚ı ФОУТНУТЪВИ, М‡Б˚‚‡ВП˚ı ‰ЛТОУН‡ˆЛflПЛ МВТУУЪ- ‚ВЪТЪ‚Лfl. иУБ‰МВВ ‚˚flТМЛОУТ¸, ˜ЪУ Л Ф Л УЪМУТЛЪВО¸МУ ·УО¸¯УП МВТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ В¯ВЪУН ПУКМУ ‚˚ ‡˘Л‚‡Ъ¸ ·ВБ‰ЛТОУН‡ˆЛУММ˚В „ВЪВ УТОУЛ Л „ВЪВ УНО‡ТЪВ ˚, ВТОЛ Лı ‡БПВ ˚ МВ Ф В‚˚¯‡˛Ъ МВНУЪУ ˚ı Н ЛЪЛ˜ВТНЛı БМ‡-

˜ВМЛИ, НУЪУ ˚В Б‡‚ЛТflЪ УЪ ТЪВФВМЛ МВТУУЪ‚ВЪТЪ‚Лfl. З Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ЪУМНЛı ТОУВ‚ Л МВ ТОЛ¯НУП ·УО¸¯Лı НО‡ТЪВ У‚ ‚УБМЛН‡˛Ъ ПВı‡МЛ- ˜ВТНЛВ М‡Ф flКВМЛfl, ‚˚Б˚‚‡˛˘ЛВ ВВ ЫФ Ы„Ы˛ ‰ВЩУ - П‡ˆЛ˛, НУЪУ ‡fl У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪ ·ВБ‰ВЩВНЪМУВ (НУ„В ВМЪМУВ) ТУФ flКВМЛВ ‰‚Ыı В¯ВЪУН. иУТЪУflММ‡fl В¯ВЪНЛ InxGa1 − xAs ̇ 7ı% ·УО¸¯В ФУТЪУflММУИ В¯ВЪНЛ GaAs. аПВММУ ·О‡„У‰‡ fl ‡БОЛ˜Л˛ ФУТЪУflММ˚ı В¯ВЪУН ˝ЪЛı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ТЪ‡МУ‚ЛЪТfl ‚УБПУКМ˚П У· ‡БУ‚‡МЛВ лдн.

ЦТОЛ ‡БПВ ˚ НО‡ТЪВ У‚ Ф В‚˚¯‡˛Ъ Н ЛЪЛ˜ВТНЛВ БМ‡˜ВМЛfl, ЪУ ‚ МЛı У· ‡БЫ˛ЪТfl ‰ЛТОУН‡ˆЛЛ МВТУУЪ‚ВЪТЪ‚Лfl. йМЛ ТМЛП‡˛Ъ ‚МЫЪ ВММЛВ ЫФ Ы„ЛВ М‡Ф flКВМЛfl, МУ ТЛО¸МУ ЫıЫ‰¯‡˛Ъ ˝ОВНЪ УММ˚В ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ лдн, ‰ВО‡fl Лı МВФ Л„У‰М˚ПЛ ‰Оfl Ф ЛПВМВМЛfl.

лЫ˘ВТЪ‚Ы˛Ъ Ф В‰ВО¸М˚В ‡БПВ ˚ НО‡ТЪВ У‚, Ф Л НУЪУ ˚ı УМЛ Ф Уfl‚Оfl˛Ъ Н‚‡МЪУ‚˚В Т‚УИТЪ‚‡. аı ПЛМЛ- П‡О¸М˚И ‡БПВ УФ В‰ВОflВЪТfl ЫТОУ‚ЛВП, ˜ЪУ·˚ ‚ лдн ТЫ˘ВТЪ‚У‚‡О ıУЪfl ·˚ У‰ЛМ Ы У‚ВМ¸. е‡НТЛП‡О¸М˚И‡БПВ УФ В‰ВОflВЪТfl ЫТОУ‚ЛВП: ˜ЪУ·˚ ‡ТТЪУflМЛВ ПВК- ‰Ы ФВ ‚˚П Л ‚ЪУ ˚П Ы У‚МflПЛ ‚ дн ·˚ОУ ·УО¸¯В ˝МВ - „ЛЛ ЪВФОУ‚У„У ‰‚ЛКВМЛfl МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡. д УПВ ЪУ„У, М‡ П‡НТЛП‡О¸М˚И ‡БПВ НО‡ТЪВ У‚ М‡НО‡‰˚‚‡ВЪ У„ ‡- МЛ˜ВМЛfl Л Ъ В·У‚‡МЛВ УЪТЫЪТЪ‚Лfl ‰ЛТОУН‡ˆЛИ. лУ„О‡Т- МУ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚П ‰‡ММ˚П, лдн InAs/GaAs ФЛ ‡- ПЛ‰‡О¸МУИ ЩУ П˚ ПУ„ЫЪ ‰УТЪЛ„‡Ъ¸ 50 МП ‚ УТМУ‚‡МЛЛ Л 10 МП ФУ ‚˚ТУЪВ.

дАд ийгмуАын лдн

Е˚ОЛ Ф В‰ОУКВМ˚ ТФУТУ·˚ ФУОЫ˜ВМЛfl Н‚‡МЪУ‚˚ı ЪУ- ˜ВН, МВ ЛПВ‚¯Лı ‡Б‚ЛЪЛfl ‚ ТЛОЫ ‡БМ˚ı Ф Л˜ЛМ. иУ‰- ОЛММ˚И Ф У ˚‚ ‚ ˝ЪУИ У·О‡ТЪЛ Ф УЛБУ¯ВО УНУОУ ‰ВТflЪЛ ОВЪ М‡Б‡‰, НУ„‰‡ ‚˚flТМЛОУТ¸, ˜ЪУ ТЫ˘ВТЪ‚ЫВЪ Ф Л У‰- М˚И Ф УˆВТТ Т‡ПУУ „‡МЛБ‡ˆЛЛ Ъ‚В ‰УЪВО¸М˚ı М‡МУТЪ-ЫНЪЫ , ФУБ‚УОfl˛˘ЛИ В¯ЛЪ¸ ˝ЪЫ Б‡‰‡˜Ы, ФУ-‚Л‰ЛПУПЫ, М‡ЛОЫ˜¯ЛП М‡ ТВ„У‰Мfl¯МЛИ ‰ВМ¸ У· ‡БУП. иУ‰ Т‡ПУ- У „‡МЛБ‡ˆЛВИ ФУМЛП‡ВЪТfl Т‡ПУФ УЛБ‚УО¸МУВ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛВ ЫФУ fl‰У˜ВММ˚ı П‡Н УТНУФЛ˜ВТНЛı ТЪ ЫНЪЫ ЛБ ПВМВВ ЫФУ fl‰У˜ВММУИ Т В‰˚. З УТМУ‚В Ф УˆВТТ‡ Т‡- ПУУ „‡МЛБ‡ˆЛЛ ОВКЛЪ Т‚УИТЪ‚У МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЩЛБЛ- ˜ВТНЛı ТЛТЪВП Ф Л Ф Л·ОЛКВМЛЛ Н ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУПЫ ‡‚МУ‚ВТЛ˛ ФВ ВıУ‰ЛЪ¸ ‚ ТУТЪУflМЛВ, ‚ НУЪУ УП Т‚У·У‰М‡fl ˝МВ „ЛЛ ТЛТЪВП˚, ЪУ ВТЪ¸ Ъ‡ ˜‡ТЪ¸ ‚МЫЪ ВММВИ ˝МВ „ЛЛ, НУЪУ ‡fl ПУКВЪ ·˚Ъ¸ Ф В‚ ‡˘ВМ‡ ‚ ‡·УЪЫ, ПЛМЛП‡О¸М‡.

и В‰ТЪ‡‚ЛП ТВ·В, ˜ЪУ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПУМУН ЛТ- Ъ‡ОО‡ ЛБ П‡ЪВ Л‡О‡ А УТ‡К‰ВМ ЪУМНЛИ У‰МУ У‰М˚И ТОУИ П‡ЪВ Л‡О‡ З. ЦТОЛ ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ Л ‚ ВПfl ‚˚‰В КНЛ ТЛТЪВП˚ У·ВТФВ˜Л‚‡˛Ъ ЫТЪ‡МУ‚ОВМЛВ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУ„У‡‚МУ‚ВТЛfl, ЪУ ‚ ТОУВ З ‚УБМЛНМВЪ ‡ЪУПМ‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ Л УМ Ф ЛПВЪ ЩУ ПЫ, Ф Л НУЪУ ˚ı Т‚У·У‰М‡fl ˝МВ „Лfl ТЛТЪВП˚ ·Ы‰ВЪ ПЛМЛП‡О¸М‡. З‡КМВИ¯ЛПЛ Щ‡НЪУ ‡ПЛ, УФ В‰ВОfl˛˘ЛПЛ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ Л НУМВ˜М˚И ВБЫО¸Ъ‡Ъ

Ф УˆВТТ‡ Т‡ПУУ „‡МЛБ‡ˆЛЛ, fl‚Оfl˛ЪТfl ‡ТТУ„О‡ТУ‚‡МЛВ ФУТЪУflММ˚ı В¯ВЪУН А Л З, ТУБ‰‡˛˘ВВ ЫФ Ы„ЛВ М‡Ф fl- КВМЛfl ‚ ТЛТЪВПВ Л ФУ‚˚¯‡˛˘ЛВ ВВ ‚МЫЪ ВММ˛˛ ˝МВ - „Л˛, ЪУО˘ЛМ‡ ТОУfl, Т‚У·У‰М˚В ˝МВ „ЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ, „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ Л УТ‡К‰‡ВПУ„У ТОУfl, „ ‡- МВИ Л В·В Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı НО‡ТЪВ У‚, НУЪУ ˚В ПУ„ЫЪ У· ‡БУ‚‡Ъ¸Тfl, Л МВНУЪУ ˚В ‰ Ы„ЛВ. д‡Н ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ ЪВУ-ВЪЛ˜ВТНЛВ ‡Т˜ВЪ˚, Ф Л УФ В‰ВОВММ˚ı БМ‡˜ВМЛflı Ф‡-‡ПВЪ У‚, ı‡ ‡НЪВ ЛБЫ˛˘Лı ˝ЪЛ Щ‡НЪУ ˚, ПУКВЪ У· ‡- БУ‚‡Ъ¸Тfl У‰МУ У‰М˚И ФУ ТЪ ЫНЪЫ В Л ЪУО˘ЛМВ ТОУИ П‡ЪВ Л‡О‡ З, ФУ‚ЪУ fl˛˘ЛИ ТЪ ЫНЪЫ Ы ФУ‰ОУКНЛ (˝ФЛ- Ъ‡НТЛ‡О¸М˚И ТОУИ). и Л ‰ Ы„Лı БМ‡˜ВМЛflı Ф‡ ‡ПВЪ У‚ ПУКВЪ УН‡Б‡Ъ¸Тfl ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛ ·УОВВ ‚˚„У‰М˚П, ˜ЪУ- ·˚ П‡ЪВ Л‡О З У· ‡БУ‚‡О П‡ТТЛ‚ М‡Ф flКВММ˚ı Ъ ВıПВ М˚ı НО‡ТЪВ У‚ УФ В‰ВОВММ˚ı ‡БПВ У‚ Л ЩУ П˚ ЛОЛ ТУ· ‡ОТfl ‚ У‰ЛМ ·УО¸¯УИ НО‡ТЪВ .

щНТФВ ЛПВМЪ‡О¸МУ ЫКВ ‰‡‚МУ ·˚ОУ ЫТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ Ф Л УТ‡К‰ВМЛЛ ЛБ Ф‡ У‚УИ Щ‡Б˚ М‡·О˛‰‡˛ЪТfl Ъ Л ЪЛФ‡ М‡˜‡О¸МУИ ТЪ‡‰ЛЛ УТЪ‡ ТОУfl М‡ ФУ‰ОУКНВ ( ЛТ. 2, a–‚):

‡) ФУТОУИМ˚И (‰‚ЫПВ М˚И) УТЪ ТОУfl. йМ Ф УЛТıУ‰ЛЪ, ВТОЛ П‡ЪВ Л‡О З ТП‡˜Л‚‡ВЪ ФУ‰ОУКНЫ, ЪУ ВТЪ¸ У·О‡‰‡ВЪ ·УО¸¯ЛП ТˆВФОВМЛВП Т МВИ, Л В„У ФУТЪУflМ- М‡fl В¯ВЪНЛ П‡ОУ УЪОЛ˜‡ВЪТfl УЪ ФУТЪУflММУИ В¯ВЪНЛ П‡ЪВ Л‡О‡ А;

·) УТЪ У‚НУ‚˚И (Ъ ВıПВ М˚И) УТЪ ТОУfl. йМ ЛПВВЪ ПВТЪУ Ф Л ФОУıУП ТП‡˜Л‚‡МЛЛ;

‡

·

‚

êËÒ. 2. еВı‡МЛБП˚ Т‡ПУУ „‡МЛБУ‚‡ММУ„У УТЪ‡ ЪУМНУ„У ТОУfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПУМУН ЛТЪ‡ОО‡: ‡ – ‰‚Ы- ПВ М˚И (ФУТОУИМ˚И), · – Ú ÂıÏ Ì˚È (ÓÒÚ Ó‚ÍÓ- ‚˚È), ‚ – Ф УПВКЫЪУ˜М˚И ПВı‡МЛБП УТЪ‡ (ПВı‡МЛБП лЪ ‡МТНУ„У Л д ‡ТЪ‡МУ‚‡)

‚) Ф УПВКЫЪУ˜М˚И ПВı‡МЛБП УТЪ‡ (ПВı‡МЛБП лЪ ‡МТНУ„У Л д ‡ТЪ‡МУ‚‡), НУ„‰‡ ТМ‡˜‡О‡ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ФУТОУИМ˚И УТЪ ТОУfl З, НУЪУ ˚И Ф Л МВНУЪУ УИ ЪУО- ˘ЛМВ ТП‡˜Л‚‡˛˘В„У ТОУfl ТПВМflВЪТfl УТЪ У‚НУ‚˚П УТЪУП. щЪУЪ ПВı‡МЛБП М‡·О˛‰‡ВЪТfl Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ ТП‡˜Л- ‚‡МЛfl Л БМ‡˜ЛЪВО¸МУП ‡ТТУ„О‡ТУ‚‡МЛЛ В¯ВЪУН А Л З (МВТНУО¸НУ Ф УˆВМЪУ‚).

иУТОВ‰МЛИ ПВı‡МЛБП ЛТФУО¸БЫВЪТfl ‰Оfl ФУОЫ˜ВМЛfl лдн ‚ ТЛТЪВПВ InGaAs/GaAs. пУЪfl Т‡П ПВı‡МЛБП ·˚О УЪН ˚Ъ В˘В ‚ 1938 „У‰Ы, В„У ‰ВЪ‡О¸МУВ ЛБЫ˜ВМЛВ, ТЪЛПЫОЛ У‚‡ММУВ Ф У·ОВПУИ лдн, М‡˜‡ОУТ¸ ЪУО¸НУ ‚ ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚. л‡П˚И ‚‡КМ˚И ВБЫО¸Ъ‡Ъ ˝ЪУ„У ЛБЫ˜ВМЛfl Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ‰УН‡Б‡ЪВО¸ТЪ‚В ‚УБПУКМУТЪЛ ФУОЫ˜В- МЛfl ˝ЪЛП ПВЪУ‰УП П‡ТТЛ‚‡ ‰У‚УО¸МУ У‰МУ У‰М˚ı ФУ‡БПВ ‡П, ·ВБ‰ВЩВНЪМ˚ı, М‡Ф flКВММ˚ı М‡МУНО‡ТЪВ У‚ InGaAs ‚ П‡Ъ ЛˆВ GaAs, У·О‡‰‡˛˘Лı Т‚УИТЪ‚‡ПЛ Н‚‡М- ЪУ‚˚ı ЪУ˜ВН.

СОfl ФУОЫ˜ВМЛfl „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ Т лдн ЛТФУО¸БЫ˛Ъ- Тfl ‰‚‡ УТМУ‚М˚ı ПВЪУ‰‡: ПВЪУ‰ ПУОВНЫОfl МУ-ФЫ˜НУ‚УИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ Л ПВЪУ‰ „‡БУЩ‡БМУИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ ЛБ ПВЪ‡ООУ - „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ. й·‡ ПВЪУ‰‡ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ФУ- ‰ У·МУ УФЛТ‡М˚ ‚ ТЪ‡Ъ¸В [3]. З Т‚flБЛ Т ˝ЪЛП П˚ ЪУО¸НУ У˜ВМ¸ НУ УЪНУ М‡ФУПМЛП ˜ЛЪ‡ЪВО˛ УТМУ‚М˚В Лı УТУ- ·ВММУТЪЛ.

ÇПВЪУ‰В ПУОВНЫОfl МУ-ФЫ˜НУ‚УИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ФУОЫ˜‡˛Ъ М‡Ф ‡‚ОВММ˚П ЛТФ‡ ВМЛВП ‚ Т‚В ı‚˚- ТУНУП ‚‡НЫЫПВ НУПФУМВМЪУ‚ ТЪ ЫНЪЫ ˚ (Ga, In, As Л

‰ .), НУЪУ ˚В НУМ‰ВМТЛ Ы˛ЪТfl М‡ ФУ‰ОУКНВ, М‡„ ВЪУИ ‰У ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ 500°C. ЗВТ¸ Ф УˆВТТ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ТЪ ЫНЪЫ ˚ ФУОМУТЪ¸˛ ‡‚ЪУП‡ЪЛБЛ У‚‡М Л ЫФ ‡‚ОflВЪТfl НУПФ¸˛ЪВ УП. З‡КМ˚П ‰УТЪУЛМТЪ‚УП ˝ЪУ„У ПВЪУ‰‡ fl‚- ОflВЪТfl ‚УБПУКМУТЪ¸ У˜ВМ¸ ЪУ˜МУИ В„ЫОЛ У‚НЛ ТУТЪ‡‚‡ П‡ЪВ Л‡ОУ‚ М‡ ФУ‰ОУКНВ, НУМЪ УОfl ЪУО˘ЛМ˚ ТОУВ‚ М‡- ˜ЛМ‡fl Т У‰МУ„У ПУМУТОУfl, ‡ Ъ‡НКВ, ˜ЪУ У˜ВМ¸ ‚‡КМУ Ф Л ФУОЫ˜ВМЛЛ лдн, НУМЪ УОfl ФВ ВıУ‰‡ УЪ ‰‚ЫПВ МУ„У Н Ъ ВıПВ МУПЫ УТЪЫ. дУМЪ УО¸ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl ФУТ В‰- ТЪ‚УП МВФ В ˚‚МУ„У М‡·О˛‰ВМЛfl ‰ЛЩ ‡НˆЛЛ ˝ОВНЪ У- МУ‚ УЪ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‚ Ф УˆВТТВ ВВ УТЪ‡.

ÇПВЪУ‰В „‡БУЩ‡БМУИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ УТ‡К‰ВМЛВ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‚ ıЛПЛ˜ВТНУП В‡НЪУ В ФЫЪВП ЪВ ПЛ- ˜ВТНУ„У ‡БОУКВМЛfl ПВЪ‡ООУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ

Ga, In Ë ‡ ÒË̇ AsH3 М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ, М‡„ В- ЪУИ ‰У ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ 500–650°C. и УˆВТТ ‚В‰ВЪТfl ‚ ФУЪУНВ ‚У‰У У‰‡ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В „‡Б‡ – МУТЛЪВОfl Ф‡ У‚ ТУВ‰ЛМВМЛИ. з‡ОЛ˜ЛВ ФОУЪМУИ, „У fl˜ВИ Л ıЛПЛ˜ВТНЛ ‡НЪЛ‚МУИ ‡ЪПУТЩВ ˚ ‚ В‡НЪУ В Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ЛТНО˛˜‡ВЪ ‚УБПУКМУТЪ¸ Ф flПУ„У НУМЪ УОfl Б‡ Ф УˆВТТУП УТ‡К‰ВМЛfl Л ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ТЪ ЫНЪЫ ˚, ˜ЪУ, НУМВ˜МУ, fl‚ОflВЪТfl ТЫ- ˘ВТЪ‚ВММ˚П МВ‰УТЪ‡ЪНУП ‰‡ММУ„У ПВЪУ‰‡. й‰М‡НУ В„У УЪМУТЛЪВО¸М‡fl Ф УТЪУЪ‡ Л ˝НУМУПЛ˜ВТНЛВ ‰УТЪУЛМТЪ- ‚‡, УТУ·ВММУ ˆВММ˚В Ф Л П‡ТТУ‚УП Ф УЛБ‚У‰ТЪ‚В ТЪ ЫНЪЫ , ТФУТУ·ТЪ‚Ы˛Ъ ‡Б‚ЛЪЛ˛ Л ˝ЪУ„У ПВЪУ‰‡.

З М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl „О‡‚МУВ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ЪВıМЛ˜ВТНУ„У Ф ЛПВМВМЛfl лдн ‚Л‰ЛЪТfl ‚ ‡Б ‡·УЪН‡ı ЛМКВНˆЛУММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı О‡БВ У‚ ‰Оfl ‚УОУНУММУУФЪЛ˜ВТНЛı ОЛМЛИ Т‚flБЛ. З Т‚flБЛ Т ˝ЪЛП ЫТЛОЛfl ЛТТОВ- ‰У‚‡ЪВОВИ М‡Ф ‡‚ОВМ˚ М‡ В¯ВМЛВ Ъ Вı ‚‡КМ˚ı ‰Оfl ТУ- Б‰‡МЛfl Ъ‡НЛı О‡БВ У‚ Б‡‰‡˜: ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛВ лдн, ЛБОЫ˜‡- ˛˘Лı М‡ ‰ОЛМ‡ı ‚УОМ 1,3 Л 1,55 ПНП, М‡ НУЪУ ˚ı УФЪЛ˜ВТНУВ ‚УОУНМУ ЛПВВЪ ПЛМЛП‡О¸М˚В УФЪЛ˜ВТНЛВ ФУЪВ Л, Л ФУ‚˚¯ВМЛВ Лı У‰МУ У‰МУТЪЛ Л ФУ‚В ıМУТЪМУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ.

дАд “ЗаСьн” лдн а абмуАын ап лЗйвлнЗА

м‚Л‰ВЪ¸ лдн ‚ У·˚˜М˚И УФЪЛ˜ВТНЛИ ПЛН УТНУФ, У˜В- ‚Л‰МУ, МВ‚УБПУКМУ, Ъ‡Н Н‡Н Лı ‡БПВ ˚ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ПВМ¸¯В ‰ОЛМ˚ ‚УОМ˚ ‚Л‰ЛПУ„У Т‚ВЪ‡. й‰М‡НУ ·ОЛКМВФУО¸М‡fl УФЪЛ˜ВТН‡fl ПЛН УТНУФЛfl [5] Ф ВУ‰УОВО‡ ‰Л- Щ ‡НˆЛУММ˚И Ф В‰ВО ‡Б В¯ВМЛfl УФЪЛ˜ВТНЛı Ф Л·У-У‚, Л ˝ЪУЪ ПВЪУ‰ М‡˜ЛМ‡ВЪ ‚ТВ ¯Л В Ф ЛПВМflЪ¸Тfl ‰Оfl ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl лдн.

з‡·О˛‰‡Ъ¸ лдн ПУКМУ ‚ ˝ОВНЪ УММ˚ı ОЫ˜‡ı М‡ ˝ОВНЪ УММУП ПЛН УТНУФВ. щОВНЪ УМ˚ Т ˝МВ „ЛВИ100 Н˝З У·О‡‰‡˛Ъ МВ ЪУО¸НУ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ П‡ОУИ ‰ОЛМУИ ‚УОМ˚, МУ Л МВУ·ıУ‰ЛПУИ ‰Оfl Ф УТ‚В˜Л‚‡МЛfl ЪУМНЛı ТОУВ‚ Т лдн Ф УМЛН‡˛˘ВИ ТФУТУ·МУТЪ¸˛.

з‡Л·УОВВ М‡„Оfl‰МЫ˛ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У ‡БПВ ‡ı, ЩУ ПВ Л ФУ‚В ıМУТЪМУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ лдн ФУБ‚УОflВЪ ФУОЫ˜ЛЪ¸ ЛМЪВМТЛ‚МУ ‡Б‚Л‚‡˛˘‡flТfl ‚ ФУТОВ‰МЛВ „У- ‰˚ ТН‡МЛ Ы˛˘‡fl БУМ‰У‚‡fl ПЛН УТНУФЛfl, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ ВВ ПВЪУ‰ ‡ЪУПМУ-ТЛОУ‚УИ ПЛН УТНУФЛЛ. зВ ЛПВfl ‚УБПУКМУТЪЛ ‰ВЪ‡О¸МУ УТЪ‡МУ‚ЛЪ¸Тfl М‡ ˝ЪУП ПВЪУ‰В, ФУflТМЛП ОЛ¯¸, ˜ЪУ УМ УТМУ‚‡М М‡ ·ЫН‚‡О¸МУП У˘ЫФ˚‚‡МЛЛ МВ У‚МУТЪВИ М‡МУ ВО¸ВЩ‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ У· ‡Бˆ‡ Т ФУПУ˘¸˛ ТФВˆЛ‡О¸МУ„У Б‡УТЪ ВММУ„У БУМ‰‡, ФВ ВПВ˘В- МЛflПЛ НУЪУ У„У ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ (ТН‡МЛ У‚‡МЛВП ФУ- ‚В ıМУТЪЛ) ЫФ ‡‚ОflВЪ НУПФ¸˛ЪВ . й„Л·‡МЛВ БУМ‰УП ‚ВКЛПВ Н‡Т‡МЛfl, М‡Ф ЛПВ НО‡ТЪВ ‡ – лдн, Ф ВУ· ‡БЫВЪТfl НУПФ¸˛ЪВ УП ‚ ‚Л‰ЛП˚И М‡ ПУМЛЪУ В ВО¸ВЩ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ. зВБМ‡НУПУПЫ ·ОЛБНУ Т ˝ЪЛП ПВЪУ‰УП ˜ВОУ- ‚ВНЫ Ъ Ы‰МУ Ф В‰ТЪ‡‚ЛЪ¸, ˜ЪУ ПВЪУ‰˚ ТН‡МЛ Ы˛˘ВИ БУМ‰У‚УИ ПЛН УТНУФЛЛ ФУБ‚УОfl˛Ъ ‚Л‰ВЪ¸ МВ У‚МУТЪЛ ‡ЪУПМУ„У П‡Т¯Ъ‡·‡ Л ‰‡КВ ‡БОЛ˜‡Ъ¸ УЪ‰ВО¸М˚В ‡ЪУП˚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ.

З Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ УЪ ТФУТУ·‡ Л ЫТОУ‚ЛИ ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl лдн ПУ„ЫЪ ЛПВЪ¸ ФЛ ‡ПЛ‰‡О¸МЫ˛, ОЛМБУУ· ‡БМЫ˛ Л ‰ Ы„Ы˛ ЩУ ПЫ. з‡ ЛТ. 3 Ф Л‚В‰ВМУ Б‡ЩЛНТЛ У‚‡ММУВ М‡ ‡ЪУПМУ-ТЛОУ‚УП ПЛН УТНУФВ ЛБУ· ‡КВМЛВ ТОУfl лдн, ФУОЫ˜ВММУ„У „‡БУЩ‡БМУИ ˝ФЛЪ‡НТЛВИ. Ц„У ‡М‡ОЛБ ФУН‡- Б˚‚‡ВЪ, ˜ЪУ лдн ЛПВ˛Ъ ‡БПВ ‚ УТМУ‚‡МЛЛ 40 МП, ‚˚- ТУЪЫ 6 МП Л ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ ФОУЪМУТЪ¸ 5 109 ÒÏ−2.

00

êËÒ. 3. аБУ· ‡КВМЛВ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТОУfl лдн InAs/GaAs, ФУОЫ˜ВММУВ М‡ ‡ЪУПМУ-ТЛОУ‚УП ПЛН У- ТНУФВ. ЗУОМУУ· ‡БМ‡fl ФУ‚В ıМУТЪ¸ – ˝ЪУ ТЪЫФВМЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ЛТЪ‡ОО‡ GaAs, У· ‡БУ‚‡‚¯ЛВТfl ЛБ- Б‡ ЪУ„У, ˜ЪУ В„У Т ВБ ТФВˆЛ‡О¸МУ Т‰ВО‡М ФУ‰ Ы„ОУП 3° Н „ ‡МЛ НЫ·‡. дО‡ТЪВ ˚ InAs (лдн) ‚˚ ‡ТЪ‡˛Ъ М‡ Ы„- О‡ı ТЪЫФВМВИ. лОВ‰ЫВЪ У· ‡ЪЛЪ¸ ‚МЛП‡МЛВ М‡ ‡БОЛ- ˜ЛВ Ф ЛПВ МУ ‚ ФflЪ¸ ‡Б П‡Т¯Ъ‡·У‚ (ЫН‡Б‡М˚ ‚ М‡МУПВЪ ‡ı) М‡ ‚В ЪЛН‡О¸МУИ Л „У ЛБУМЪ‡О¸М˚ı ОЛМВИН‡ı

щМВ „ВЪЛ˜ВТНЛИ ТФВНЪ лдн У·˚˜МУ УФ В‰ВОfl˛Ъ Т ФУПУ˘¸˛ ПВЪУ‰У‚ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМЪМУИ ЛОЛ ЩУЪУ˝ОВН- Ъ Л˜ВТНУИ ТФВНЪ УТНУФЛЛ.

СОfl ‚УБ·ЫК‰ВМЛfl Т‚В˜ВМЛfl лдн (ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ) У· ‡БВˆ УТ‚В˘‡ВЪТfl ЛБОЫ˜ВМЛВП О‡БВ ‡ Т ˝МВ „ЛВИ ЩУЪУМУ‚ hν, Ф В‚˚¯‡˛˘ВИ ¯Л ЛМЫ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ GaAs (ТП. ЛТ. 1, ‡). ЗУБМЛН‡˛˘ЛВ Ф Л ФУ„ОУ˘ВМЛЛ ЛБОЫ˜ВМЛfl Т‚У·У‰М˚В ˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ Б‡ı‚‡Ъ˚‚‡˛ЪТfl лдн Л ВНУП·ЛМЛ Ы˛Ъ Т ЛТФЫТН‡МЛВП ЩУЪУМУ‚ Т ˝МВ -

„ËÂÈ hν = Eei − Ehj , „‰Â Ë̉ÂÍÒ˚ i, j – МУПВ ‡ Ы У‚МВИ ‚ лдн. аБОЫ˜ВМЛВ Ф УФЫТН‡ВЪТfl ˜В ВБ ПУМУı УП‡ЪУ , Л

В„У ТФВНЪ ‡М‡ОЛБЛ ЫВЪТfl Т ФУПУ˘¸˛ ЩУЪУ‰ВЪВНЪУ ‡.

ЦТОЛ ·˚ лдн ЛПВОЛ У‰ЛМ‡НУ‚˚В ‡БПВ ˚, ЩУ ПЫ Л ıЛПЛ˜ВТНЛИ ТУТЪ‡‚, Лı ТФВНЪ ˚ ЛБОЫ˜ВМЛfl ТУТЪУflОЛ ·˚ ЛБ У‰МУИ ЛОЛ МВТНУО¸НЛı ЫБНЛı ОЛМЛИ ¯Л ЛМУИ ПВМ¸- ¯В 0,1 П˝З, ФУ‰У·М˚ı ОЛМЛflП ЛБОЫ˜ВМЛfl ‚ ТФВНЪ ‡ı ‡ЪУПУ‚. й‰М‡НУ ЛБ-Б‡ ‡БОЛ˜Лfl ˝ЪЛı Ф‡ ‡ПВЪ У‚ Ы ‡Б- М˚ı ЪУ˜ВН ТФВНЪ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ УЪ ·УО¸¯У„У ˜ЛТО‡ ЪУ˜ВН Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ‰У‚УО¸МУ ¯Л УНЛИ ФЛН ( 50 П˝З М‡ ФУОУ‚ЛМВ ‚˚ТУЪ˚). л ФУПУ˘¸˛ ТФВˆЛ- ‡О¸М˚ı Ф ЛВПУ‚ Ы‰‡ОУТ¸ ФУОЫ˜ЛЪ¸ ТФВНЪ ˚ УЪ МВ·УО¸- ¯У„У ˜ЛТО‡ ЪУ˜ВН Л ‰‡КВ У‰ЛМУ˜М˚ı ЪУ˜ВН. йМЛ ‰ВИТЪ- ‚ЛЪВО¸МУ УН‡Б‡ОЛТ¸ ТУТЪУfl˘ЛПЛ ЛБ У˜ВМ¸ ЫБНЛı ОЛМЛИ.

оУЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ ТФВНЪ ˚ (ЩУЪУФ У‚У‰ЛПУТЪЛ ЛОЛ ЩУЪУФУЪВМˆЛ‡О‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ) ФУОЫ˜‡˛Ъ Ф Л УТ‚В˘ВМЛЛ У· ‡Бˆ‡ ПУМУı УП‡ЪЛ˜ВТНЛП ЛБОЫ˜ВМЛВП ‚ ТФВНЪ ‡О¸МУИ У·О‡ТЪЛ ФУ„ОУ˘ВМЛfl лдн. СОfl ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ЩУЪУ˝ЩЩВНЪ‡ ТОУИ лдн ‰УОКВМ ·˚Ъ¸ ‚ТЪ УВМ ‚ У·О‡ТЪ¸ ТЛО¸МУ„У ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ФУОfl ФУ‚В ıМУТЪМУ„У ·‡ ¸В ‡ ЛОЛ p–n-ФВ ВıУ‰‡. З ˝ОВНЪ Л- ˜ВТНУП ФУОВ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ БУМ˚ М‡НОУМfl˛ЪТfl Л ФУЪВМˆЛ‡О¸М‡fl flП‡ Ф ЛМЛП‡ВЪ ‚Л‰, ФУН‡Б‡ММ˚И М‡ ЛТ. 1, ·. и Л ˝ЪУП ‡·УЪ‡ ‚˚ıУ‰‡ ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН ЛБ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУИ flП˚ лдн ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl. З ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ТЛО¸МУП

ФУОВ ˝ОВНЪ УМ Л ‰˚ Н‡ ПУ„ЫЪ Ф УИЪЛ ТН‚УБ¸ ЪУМНЛИ Ъ В- Ы„УО¸М˚И ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚И ·‡ ¸В ФУТ В‰ТЪ‚УП ЪЫММВО¸- МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡ [4] ‚УУ·˘В ·ВБ ТУУ·˘ВМЛfl ЛП Н‡НУИ-ОЛ·У ‰УФУОМЛЪВО¸МУИ ˝МВ „ЛЛ. ЗМВ flП˚ ˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ М‡Ф ‡‚Оfl˛ЪТfl ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП ФУОВП ·‡ ¸В ‡ ‚ ‡БМ˚В ТЪУ УМ˚, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ФУfl‚ОВМЛ˛ ЩУЪУТЛ„М‡О‡ ‚ ЛБПВ ЛЪВО¸МУИ ˆВФЛ, ТФВНЪ ‡О¸М‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ НУЪУ У„У УЪ ‡К‡ВЪ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛИ ТФВНЪ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚.

з‡ ЛТ. 4 Ф Л‚В‰ВМ˚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚В ТФВНЪ ˚ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ Л ЩУЪУФ У‚У‰ЛПУТЪЛ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ ˚ Т лдн InAs/GaAs Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В. з‡ МЛı ıУ У¯У ‚Л‰М‡ ‰ЛТН ВЪМ‡fl Ф Л У‰‡ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУ- „У ТФВНЪ ‡ лдн. щМВ „Лfl УТМУ‚МУ„У ФВ ВıУ‰‡ Ee1 − Eh1 = = 0,91 ˝З (‰ОЛМ‡ ‚УОМ˚ 1,3 ПНП). тЛ ЛМ‡ ФЛН‡ УНУОУ 30 П˝З, ˜ЪУ fl‚ОflВЪТfl МВФОУıЛП ФУН‡Б‡ЪВОВП У‰МУ У‰- МУТЪЛ ‡МТ‡П·Оfl лдн. з‡ ТФВНЪ ‡ı ‚Л‰М˚ Ъ‡НКВ ‰‚‡ ФВ-ВıУ‰‡ ‚ ‚УБ·ЫК‰ВММ˚В ТУТЪУflМЛfl лдн Л ФУОУ˜Н‡ Ф Л hν ≈ 1,35 ˝Ç, Ô Ë̇‰ÎÂʇ˘‡fl Òχ˜Ë‚‡˛˘ÂÏÛ ÒÎÓ˛.

оУЪУТЛ„М‡О, Ф УЛБ‚. В‰,

êËÒ. 4. лФВНЪ ˚ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ (1) Л ЩУЪУ- ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪЛ (2) „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ-˚ Т лдн InAs/GaAs. аМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ЛБОЫ˜ВМЛfl УЪ лдн ·УОВВ ˜ВП ‚ 1000 ‡Б Ф В‚˚¯‡ВЪ ЛМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ЛБОЫ˜ВМЛfl УЪ ТОУfl GaAs (ФЛН Ф Л ˝МВ „ЛЛ ЩУЪУМУ‚1,4 ˝З, Ы‚ВОЛ˜ВМ ‚ 100 ‡Б). з‡ ЩУЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУП ТФВНЪ В, УЪ ‡К‡˛˘ВП ТФВНЪ УФЪЛ˜ВТНУ„У ФУ„ОУ- ˘ВМЛfl ТЪ ЫНЪЫ ˚, М‡·О˛‰‡ВЪТfl У· ‡ЪМУВ ТУУЪМУ- ¯ВМЛВ ПВК‰Ы БМ‡˜ВМЛflПЛ ЩУЪУ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪЛ УЪ лдн Л GaAs

ãАáÖêõ çА ëäí

и ВЛПЫ˘ВТЪ‚‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı О‡БВ У‚ М‡ лдн Т‚flБ‡М˚ Т ФУОМУИ ‰ЛТН ВЪМУТЪ¸˛ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУ„У ТФВНЪ ‡ Л ‚˚ТУНУИ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУИ ОУН‡ОЛБ‡ˆЛВИ ˝ОВН- Ъ УМУ‚ Л ‰˚ УН ‚ лдн. йКЛ‰‡ВЪТfl, ˜ЪУ ˝ЪУ ‰УОКМУ Ф Л- ‚ВТЪЛ Н ТМЛКВМЛ˛ ФОУЪМУТЪЛ ФУ У„У‚У„У ЪУН‡, Ф Л НУЪУ УП М‡˜ЛМ‡ВЪТfl „ВМВ ‡ˆЛfl ЛБОЫ˜ВМЛfl, Н ФУ‚˚¯В- МЛ˛ В„У ЪВПФВ ‡ЪЫ МУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ, Ы‚ВОЛ˜ВМЛ˛ ЫТЛОВМЛfl Л ПУ˘МУТЪЛ. щЪЛ УКЛ‰‡МЛfl ЫКВ ФУ‰Ъ‚В К‰В- М˚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸МУ.

n-GaAs

InGaP

p-GaAs

êËÒ. 5. лıВП‡ ЛМКВНˆЛУММУ„У ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚У„У О‡БВ ‡ М‡ лдн. иУ‰У·МУВ ЫТЪ УИТЪ‚У ЛПВВЪ Л О‡БВ М‡ Н‚‡МЪУ‚˚ı flП‡ı

з‡ ЛТ. 5 ФУН‡Б‡М‡ ТıВП‡ О‡БВ ‡ М‡ лдн, ЛБОЫ˜‡˛- ˘В„У ‚ ФОУТНУТЪЛ ˝ЪУ„У ТОУfl. АНЪЛ‚М‡fl У·О‡ТЪ¸ О‡БВ ‡ Т лдн InAs/GaAs ‚ТЪ УВМ‡ ‚ p–n-ФВ ВıУ‰ ‚ GaAs Л У„ ‡- МЛ˜ВМ‡ Т У·ВЛı ТЪУ УМ ТОУflПЛ InGaP ЛОЛ AlGaAs, ЛПВ- ˛˘Лı ПВМ¸¯ЛИ, ˜ВП Ы GaAs, ФУН‡Б‡ЪВО¸ Ф ВОУПОВМЛfl. щЪЛ ТОУЛ ТУБ‰‡˛Ъ УФЪЛ˜ВТНЛИ ‚УОМУ‚У‰ ‰Оfl ЛБОЫ˜ВМЛfl, НУЪУ УВ ‡ТФ УТЪ ‡МflВЪТfl ‚ ФОУТНУТЪЛ лдн. нУ ˆВ‚˚В „ ‡МЛ О‡БВ ‡, ФУОЫ˜ВММ˚В ‡ТН‡О˚‚‡МЛВП Н ЛТЪ‡ОО‡ ФУ ФОУТНУТЪflП ТФ‡ИМУТЪЛ Л ФУН ˚Ъ˚В Т У‰МУИ ТЪУ УМ˚ „ОЫıЛП, ‡ Т ‰ Ы„УИ ФУОЫФ УБ ‡˜М˚П БВ Н‡ОУП, У· ‡БЫ- ˛Ъ ВБУМ‡ЪУ о‡· Л–иВ У ‰ОЛМУИ УНУОУ 1 ПП.

ó ÂÁ p–n-ФВ ВıУ‰ Ф УФЫТН‡ВЪТfl ЪУН ‚ Ф flПУП М‡- Ф ‡‚ОВМЛЛ, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н Б‡ФУОМВМЛ˛ Ы У‚МВИ лдн ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ Л ‰˚ Н‡ПЛ Л ‚УБМЛНМУ‚ВМЛ˛ Ф Л ‰УТЪ‡- ЪУ˜МУ ·УО¸¯УИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ ЛМ‚В ТМУИ М‡ТВОВММУТЪЛ Ы У‚МВИ Л „ВМВ ‡ˆЛЛ ЛБОЫ˜ВМЛfl [1]. иВ ВıУ‰ УЪ ТФУМЪ‡ММУИ ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ ‚ ВКЛП О‡БВ МУИ „ВМВ ‡ˆЛЛ Ф Уfl‚ОflВЪТfl ‚ ВБНУП ТЫКВМЛЛ ОЛМЛЛ ЛБОЫ- ˜ВМЛЛ Л Ы‚ВОЛ˜ВМЛЛ ВВ ЛМЪВМТЛ‚МУТЪЛ.

лУ ‚ ВПВМЛ ‡Б ‡·УЪНЛ ФВ ‚˚ı О‡БВ У‚ М‡ лдн Ф У¯ОУ ПВМ¸¯В ‰ВТflЪЛ ОВЪ. б‡ ˝ЪУ ‚ ВПfl ‰УТЪЛ„МЫЪ˚ВНУ ‰М˚В ‰Оfl ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı О‡БВ У‚ ı‡ ‡НЪВ Л- ТЪЛНЛ Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В: ФУ У„У‚‡fl ФОУЪМУТЪ¸ ЪУН‡ 60 А/ТП2 Л ‚˚ıУ‰М‡fl ПУ˘МУТЪ¸ ЛБОЫ˜ВМЛfl ‚ ВКЛПВ МВФ В ˚‚МУИ „ВМВ ‡ˆЛЛ 1 ЗЪ. н‡НЫ˛ ПУ˘- МУТЪ¸ ЛБОЫ˜‡ВЪ Н ЛТЪ‡ОО У·˙ВПУП УНУОУ 1 ПП3, ‡ Ó·˙ÂÏ ‡ÍÚË‚ÌÓÈ ˜‡ÒÚË Î‡Á ‡ ( ÂÁÓ̇ÚÓ ‡), „‰Â ÒÍÓ̈ÂÌÚ Ë Ó- ‚‡ÌÓ ËÁÎÛ˜ÂÌËÂ, ¢ ‚ Ú˚Òfl˜Û ‡Á ÏÂ̸¯Â.

бАдгыуЦзаЦ

З Ф У·ОВПВ лдн ЪВТМУ ФВ ВФОВЪВМ˚ ЩЫМ‰‡ПВМЪ‡О¸М‡fl ЩЛБЛН‡, Н‚‡МЪУ‚‡fl ЛМКВМВ Лfl Л ‚˚ТУН‡fl ЪВıМУОУ„Лfl. б‡ МВТНУО¸НУ ОВЪ Лı ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚ЛВ ‰‡ОУ ‚ФВ˜‡ЪОfl˛- ˘ЛВ М‡Ы˜М˚В Л Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛВ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚. к‡Б ‡·УЪНЛ