Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Sigov-1

FERROELECTRIC

THIN FILMS

IN MICROELECTRONICS

A. S. SIGOV

Ferroelectric thin films are taken as an example of the surprising properties of the so-called “smart dielectrics”. It is shown that such films can be integrated into modern technologies of semiconductor electronics and are promising for creating new data-storage and processing devices.

з‡ Ф ЛПВ В ТВ„МВЪУ˝ОВН- Ъ Л˜ВТНЛı ФОВМУН ‡Т- ТПУЪ ВМ˚ Ы‰Л‚ЛЪВО¸М˚В Т‚УИТЪ‚‡ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡В- П˚ı ЫПМ˚ı ‰Л˝ОВНЪ Л- НУ‚. иУН‡Б‡М‡ ‚УБПУКМУТЪ¸ ‚НО˛˜ВМЛfl Ъ‡НЛı ФОВМУН ‚ ТУ‚ ВПВММ˚В ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫФ У‚У‰- МЛНУ‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ У- МЛНЛ, ˜ЪУ УЪН ˚‚‡ВЪ ¯Л-УНЛВ ‚УБПУКМУТЪЛ ТУ- Б‰‡МЛfl МУ‚˚ı ‚Л‰У‚ ЫТЪ-УИТЪ‚ ı ‡МВМЛfl Л У· ‡- ·УЪНЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ.

© ëË„Ó‚ Ä.ë., 1996

лЦЙзЦнйщгЦднкауЦлдаЦ нйздаЦ игЦзда З еадкйщгЦднкйзадЦ

Д. л. лаЙйЗ

еУТНУ‚ТНЛИ „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММ˚И ЛМТЪЛЪЫЪ ‡‰ЛУЪВıМЛНЛ, ˝ОВНЪ УМЛНЛ Л ‡‚ЪУП‡ЪЛНЛ (ЪВıМЛ˜ВТНЛИ ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ)

З ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚ ‰У‚УО¸МУ ˜‡ТЪУ ТЪ‡ОУ ‚ТЪ В- ˜‡Ъ¸Тfl ЫЪ‚В К‰ВМЛВ У Т‚В ¯Л‚¯ВПТfl ФВ ВıУ‰В ˜В- ОУ‚В˜ВТЪ‚‡ ‚ МУ‚Ы˛ ˝ФУıЫ – ˝ФУıЫ ‚ТВУ·˘ВИ ЛМЩУ - П‡ЪЛБ‡ˆЛЛ. щЪ‡ ЛТЪЛМ‡ ТЪУО¸ КВ ТФ ‡‚В‰ОЛ‚‡, ТНУО¸ Л ·‡М‡О¸М‡. СВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ, ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚И У·- ПВМ ВБНУ ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ, ‡ ТУ‚ ВПВММ˚В ЪВıМЛ˜ВТНЛВ ‚УБПУКМУТЪЛ ФУБ‚УОfl˛Ъ Б‡ФЛТ˚‚‡Ъ¸, ı ‡МЛЪ¸, ·˚ТЪ-У ФВ В‰‡‚‡Ъ¸, У· ‡·‡Ъ˚‚‡Ъ¸ Л ‚УТФ УЛБ‚У‰ЛЪ¸ У„-УПМ˚В П‡ТТЛ‚˚ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ, Ф Л˜ВП У·˙ВП Ф‡- ПflЪЛ Л ·˚ТЪ У‰ВИТЪ‚ЛВ Т В‰ТЪ‚ ‚˚˜ЛТОЛЪВО¸МУИ ЪВıМЛНЛ ‡ТЪЫЪ МВУ·˚˜‡ИМУ. щЪУ Т‚flБ‡МУ Т ·Ы М˚П‡Б‚ЛЪЛВП ˆЛЩ У‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ, НУЪУ УВ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‚ М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ ФУ‚˚¯ВМЛfl ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ М‡ ·‡БВ Ъ ‡‰ЛˆЛУММ˚ı ТıВПУЪВıМЛ˜ВТНЛıВ¯ВМЛИ, НУ„‰‡ МУТЛЪВОВП ЛМЩУ П‡ˆЛЛ fl‚ОflВЪТfl ˝ОВНЪ Л˜ВТНУВ ТУТЪУflМЛВ fl˜ВВН ТıВП˚, ФУТЪ УВМ- М˚ı М‡ ‡НЪЛ‚М˚ı Л Ф‡ТТЛ‚М˚ı ˝ОВПВМЪ‡ı, ‡ Ъ‡НКВ ‚ М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ ФУ‚˚¯ВМЛfl ·˚ТЪ У‰ВИТЪ‚Лfl ЛМЪВ„-‡О¸М˚ı ТıВП. лЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ‰У МВ‰‡‚МВ„У ‚ ВПВМЛ ФУ‚˚¯‡О‡Т¸ Б‡ Т˜ВЪ ЫПВМ¸¯ВМЛfl ПЛМЛ- П‡О¸МУ„У ЪУФУОУ„Л˜ВТНУ„У ‡БПВ ‡ ˝ОВПВМЪУ‚ Л fl˜ВВН, ‡ Ъ‡НКВ Б‡ Т˜ВЪ Ы‚ВОЛ˜ВМЛfl ‡БПВ У‚ Н ЛТЪ‡О- ОУ‚. СУТЪЛ„МЫЪ˚В ‚ М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ – ‰ВТflЪНЛ ПВ„‡·ЛЪ ‚ Н ЛТЪ‡ООВ Л В‰ЛМЛˆ˚ М‡МУТВНЫМ‰ ФУ ‚ ВПВМЛ ‚˚·У НЛ ·ЛЪ‡ – ‚˚„Оfl‰flЪ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚ФВ˜‡ЪОfl˛˘В. й‰М‡НУ ЛПВММУ ТВИ˜‡Т ‚ ‡Б‚ЛЪЛЛ ˆЛЩ У‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ М‡ПВЪЛОЛТ¸ ТВ ¸ВБ- М˚В Ф У·ОВП˚, НУЪУ ˚В Т‚flБ‡М˚ Т Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸- М˚ПЛ У„ ‡МЛ˜ВМЛflПЛ НУМТЪ ЫНЪЛ‚МУ-ЪВıМУОУ„Л- ˜ВТНЛı Ф ЛВПУ‚, ОВК‡˘Лı ‚ УТМУ‚В ФО‡М‡ МУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ, Л Н‡Т‡˛ЪТfl Ф ВК‰В ‚ТВ„У У„ ‡МЛ˜ВМЛИ ФУ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ. АМ‡ОЛБ ФВ ТФВНЪЛ‚ ‡Б‚Л- ЪЛfl ˝ЪУ„У М‡Ф ‡‚ОВМЛfl ФУН‡Б˚‚‡ВЪ, ˜ЪУ Н‡Н ФУ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛП, Ъ‡Н Л ФУ Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸М˚П ЩЛБЛ˜ВТНЛП Ф Л˜ЛМ‡П ПЛМЛП‡О¸М˚И ЪУФУОУ„Л˜ВТНЛИ ‡БПВ МВ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ МЛКВ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ‰УТЪЛ„- МЫЪУИ ТВ„У‰Мfl ‚ВОЛ˜ЛМ˚ ФУ fl‰Н‡ 1 ПНП: ‚УБМЛН‡˛Ъ МВ ‡Б В¯ЛП˚В ‚ ‰‡ММУП ФУ‰ıУ‰В Ф У·ОВП˚ ‚Б‡ЛПУ- ‚ОЛflМЛfl fl˜ВВН Л ТУВ‰ЛМВМЛИ ПВК‰Ы МЛПЛ – Ъ‡Н М‡- Б˚‚‡ВП˚ı ЪУНУ‚В‰Ы˘Лı ‰У УКВН.

зВУ·ıУ‰ЛПУТЪ¸ УТ‚У·УК‰ВМЛfl УЪ “ЪЛ ‡МЛЛ ПВКТУВ‰ЛМВМЛИ” ‰ЛНЪЫВЪ ФУЪ В·МУТЪ¸ ФУЛТН‡ МУ‚˚ı ‚Л‰У‚ МУТЛЪВОВИ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ Л Ф ЛМˆЛФУ‚ ВВ У· ‡- ·УЪНЛ Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ МУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚. З Н‡˜В- ТЪ‚В ФУ‰У·М˚ı МУТЛЪВОВИ ЫКВ Т ‡‚МЛЪВО¸МУ ‰УО„УВ ‚ ВПfl ЛТФУО¸БЫ˛ЪТfl ‡БМУУ· ‡БМ˚В ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛВ МВУ‰МУ У‰МУТЪЛ – ЛБПВМfl˛˘ЛВТfl ‚У ‚ ВПВМЛ

ОУН‡О¸М˚В У·О‡ТЪЛ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ТУТЪУflМЛИ ‚ НУМЪЛМЫ‡О¸М˚ı Т В‰‡ı. и ЛПВ ‡ПЛ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛı МВУ‰МУ У‰МУТЪВИ, ¯Л УНУ ЛТФУО¸БЫВП˚ı ‚ М‡ТЪУfl- ˘ВВ ‚ ВПfl ‰Оfl В¯ВМЛfl УЪ‰ВО¸М˚ı ˜‡ТЪМ˚ı Б‡‰‡˜‡‰ЛУ˝ОВНЪ УМЛНЛ Л ‚˚˜ЛТОЛЪВО¸МУИ ЪВıМЛНЛ, fl‚- Оfl˛ЪТfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ‡НЫТЪЛ˜ВТНЛВ ‚УОМ˚, ˆЛОЛМ‰ Л˜ВТНЛВ П‡„МЛЪМ˚В ‰УПВМ˚, ПУ‰ЫОflˆЛЛ ˝ОВН- Ъ УТЪ‡ЪЛ˜ВТНУ„У ФУЪВМˆЛ‡О‡ ‚ ОЛМВИН‡ı Л П‡Ъ Лˆ‡ı Ф Л·У У‚ Т Б‡ fl‰У‚УИ Т‚flБ¸˛, Н‚‡МЪУ‚˚ı flП‡ı Л Ъ.‰.

зВУ·ıУ‰ЛПУТЪ¸ У· ‡·УЪНЛ ·УО¸¯Лı П‡ТТЛ‚У‚ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ ‚ В‡О¸МУП П‡Т¯Ъ‡·В ‚ ВПВМЛ ТЪ‡‚ЛЪ Б‡‰‡˜Ы ТУБ‰‡МЛfl ЫТЪ УИТЪ‚ ЩЫМНˆЛУМ‡О¸МУИ ˝ОВН- Ъ УМЛНЛ, У·˙В‰ЛМfl˛˘Лı ЩЫМНˆЛЛ ‚‚У‰‡, Ф ВУ· ‡- БУ‚‡МЛfl Л ‚˚‚У‰‡ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ ‰Оfl ФУТОВ‰Ы˛˘ВИ ВВ У· ‡·УЪНЛ ‚ ˆЛЩ У‚УП НУ‰В Т ФУПУ˘¸˛ Ъ ‡‰ЛˆЛУМ- М˚ı Ф ЛМˆЛФУ‚. лУБ‰‡МЛВ Ъ‡НЛı ЫТЪ УИТЪ‚ ЩЫМНˆЛУ- М‡О¸МУИ ˝ОВНЪ УМЛНЛ УФЛ ‡ВЪТfl М‡ ЛМЪВ„ ‡ˆЛ˛‡БОЛ˜М˚ı ЩЛБЛ˜ВТНЛı ˝ЩЩВНЪУ‚ Л ‡БМ˚ı ‚Л‰У‚ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛı МВУ‰МУ У‰МУТЪВИ (МВТЫ˘Лı ЛМЩУ П‡- ˆЛ˛) ‚ У‰МУП ЫТЪ УИТЪ‚В. аТФУО¸БУ‚‡МЛВ КВ МУ‚˚ı ‚Л‰У‚ МУТЛЪВОВИ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ МВЛБ·ВКМУ ‰УОКМУ Ф Л‚ВТЪЛ Н ФУfl‚ОВМЛ˛ МУ‚˚ı Ф ЛМˆЛФУ‚ У· ‡·УЪНЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ, ФУБ‚УОfl˛˘Лı, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ, Ф‡ ‡О- ОВО¸МУ ФВ ВМУТЛЪ¸ ·УО¸¯ЛВ ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚В Ф‡- НВЪ˚ ЛБ У‰МУИ НУМЪЛМЫ‡О¸МУИ Т В‰˚ ‚ ‰ Ы„Ы˛.

н‡НЛП У· ‡БУП, ‡Б‚ЛЪЛВ ЩЫМНˆЛУМ‡О¸МУИ ˝ОВН- Ъ УМЛНЛ Н‡Н ‡О¸ЪВ М‡ЪЛ‚˚ ТıВПУЪВıМЛ˜ВТНУПЫ ФЫЪЛ‡Б‚ЛЪЛfl ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ ЪВТМУ Т‚flБ‡МУ Т В¯В- МЛВП fl‰‡ Б‡‰‡˜ ‚ У·О‡ТЪЛ ЩЛБЛНЛ П‡ЪВ Л‡ОУ‚В‰ВМЛfl, ЪВıМУОУ„ЛЛ Л Ф ЛМˆЛФУ‚ У· ‡·УЪНЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ.

ЗТФУПМЛП, ˜ЪУ ФУ‰‡‚Оfl˛˘ВВ ·УО¸¯ЛМТЪ‚У ‚˚- ТУНУ˝ЩЩВНЪЛ‚М˚ı ЫТЪ УИТЪ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ ТУБ‰‡МУ ·О‡„У‰‡ fl Ф ЛПВМВМЛ˛ НУППЫЪ‡ˆЛУММ˚ı П‡Ъ Лˆ М‡ УТМУ‚В ТЪ ЫНЪЫ ЪЛФ‡ ПВЪ‡ОО–УНТЛ‰–ФУ- ОЫФ У‚У‰МЛН (ейи) Л Ф Л·У У‚ Т Б‡ fl‰У‚УИ Т‚fl- Б¸˛ (ибл), ФУОМУТЪ¸˛ ЛМЪВ„ Л У‚‡ММ˚ı Т ˝ОВПВМ- Ъ‡ПЛ Ф ЛВП‡, ı ‡МВМЛfl Л У· ‡·УЪНЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ. н‡Н, Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ‚ТВ ‡БМУУ· ‡БЛВ ПЛН УТıВП Ф‡- ПflЪЛ УТМУ‚‡МУ М‡ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ ейи-НУППЫЪ‡ЪУ-У‚, ‡ ·УО¸¯‡fl ˜‡ТЪ¸ Ъ‚В ‰УЪВО¸М˚ı Ф ЛВПМЛНУ‚ ЛБУ· ‡КВМЛfl – М‡ ибл. д ТУК‡ОВМЛ˛, ‚ Ъ‡НУИ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ МВ ‚ТВ„‰‡ Ы‰‡ВЪТfl УТЪ‡Ъ¸Тfl ‚ ‡ПН‡ı ТЪ‡М‰‡ ЪМ˚ı ЪВıМУОУ„ЛИ ПМУ„УТОУИМ˚ı ЛМЪВ„ ‡О¸- М˚ı ТıВП, ıУ У¯У УЪ ‡·УЪ‡ММ˚ı ‚ ТУ‚ ВПВММУИ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ, Ф ЛıУ‰ЛЪТfl ФВ ВıУ‰ЛЪ¸ Н „Л· Л‰М˚П НУМТЪ ЫНˆЛflП. й‰М‡ ЛБ Ф Л˜ЛМ ˝ЪУ„У ТУТЪУЛЪ ‚ МВУ·ıУ‰ЛПУТЪЛ ЛТФУО¸БУ- ‚‡Ъ¸ МУ‚˚В МВЪ ‡‰ЛˆЛУММ˚В П‡ЪВ Л‡О˚, НУЪУ ˚В ФУ ЪВП ЛОЛ ЛМ˚П Ф Л˜ЛМ‡П ‚ ТЪ‡М‰‡ ЪМЫ˛ ЪВıМУОУ- „Л˛ МВ ‚ФЛТ˚‚‡˛ЪТfl. З Н‡˜ВТЪ‚В Ф ЛПВ ‡ ПУКМУ Ф Л‚ВТЪЛ ‡НЪЛ‚М˚В КЛ‰НУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛВ ˝Н ‡М˚ ЛОЛ ЪВОВ‚ЛБЛУММ˚В Ф ЛВПМ˚В П‡Ъ Лˆ˚ ‰Оfl ‰‡О¸МВИ ЛМЩ ‡Н ‡ТМУИ У·О‡ТЪЛ ТФВНЪ ‡.

й‰М‡НУ М‡Л·УО¸¯ВВ ПМУ„УУ· ‡БЛВ ‚УБПУКМУТЪВИ УЪН ˚‚‡ВЪ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНУ‚, ЪУ ВТЪ¸ ‚В˘ВТЪ‚, Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТН‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ НУЪУ ˚ı ‰УФЫТН‡ВЪ ТЫ˘ВТЪ‚У‚‡МЛВ ‚ МВНУЪУ УП ‰Л‡Ф‡БУМВ ЪВПФВ ‡ЪЫ Л ‰‡‚ОВМЛИ ТФУМЪ‡ММУИ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ

ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ (УЪОЛ˜МУ„У УЪ МЫОfl ВБЫО¸ЪЛ Ы˛˘В„У ‰ЛФУО¸МУ„У ПУПВМЪ‡ В‰ЛМЛˆ˚ У·˙ВП‡ У· ‡Бˆ‡), ПУ- ‰ЫО¸ Л Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММ‡fl У ЛВМЪ‡ˆЛfl НУЪУ УИ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ЛБПВМВМ˚ ФУ‰ ‰ВИТЪ‚ЛВП ‚МВ¯МВ„У ˝ОВНЪ Л˜В- ТНУ„У ФУОfl. лН‡Б‡ММУВ ФУflТМflВЪ ЛТ. 1, „‰В ЛБУ· ‡- КВМ‡ ı‡ ‡НЪВ М‡fl ФВЪОfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У „ЛТЪВ ВБЛТ‡ ‰Оfl БМ‡˜ВМЛИ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ Л ‰‡‚ОВМЛfl ЛБ У·О‡ТЪЛ ТЫ˘ВТЪ‚У‚‡МЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Щ‡- Б˚. З ФУ‰ФЛТЛ Н ЛТ. 1 Ф Л‚В‰ВМ˚ МВНУЪУ ˚В МВУ·- ıУ‰ЛП˚В ‰‡ОВВ УФ В‰ВОВМЛfl. иУПЛПУ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛ ФВ ВНО˛˜‡ВПУИ ТФУМЪ‡ММУИ ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ ТВ„МВЪУ- ˝ОВНЪ ЛНЛ У·О‡‰‡˛Ъ ˆВО˚П ТФВНЪ УП ФУОВБМ˚ı ‰Оfl Ф ЛОУКВМЛИ ЩЛБЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚, Т В‰Л НУЪУ ˚ı УТУ·ВММУ ‚˚‰ВОfl˛ЪТfl ‚˚ТУН‡fl, ВБНУ ‡МЛБУЪ УФМ‡fl Л Б‡‚ЛТfl˘‡fl УЪ ‚МВ¯МВ„У ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ФУОfl ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТН‡fl Ф УМЛˆ‡ВПУТЪ¸, Ф flПУИ Л У· ‡Ъ- М˚И Ф¸ВБУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛИ, ‡ Ъ‡НКВ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНЛИ ˝ЩЩВНЪ˚.

мПВТЪМУ Б‡‰‡Ъ¸ ‚УФ УТ: МУ ФУ˜ВПЫ КВ Ф Л Ъ‡НУП ПМУ„УУ· ‡БЛЛ ЫМЛН‡О¸М˚ı Т‚УИТЪ‚ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л- НЛ ‰У ТЛı ФУ ФУОЫ˜ЛОЛ ТЪУО¸ ЫБНУВ Ф ЛПВМВМЛВ ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ? йЪ‚ВЪ У˜ВМ¸ Ф УТЪ: Т ‡БЫ ФУТОВ Лı УЪН ˚ЪЛfl ЛМКВМВ ˚ Ф Уfl‚ОflОЛ ЛМЪВ ВТ Н ˝ЪУПЫ НО‡ТТЫ ‚В˘ВТЪ‚, МУ Ф ‡НЪЛ˜ВТНУВ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ УН‡Б‡ОУТ¸ МВ‚УБПУКМ˚П ЛБ-Б‡ УЪТЫЪТЪ‚Лfl ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫ˜ВМЛfl ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ‚˚ТУНУ„У Н‡˜В- ТЪ‚‡ Т ‚УТФ УЛБ‚У‰ЛП˚ПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ. а ОЛ¯¸ ‚ ФУТОВ‰МВВ ‰ВТflЪЛОВЪЛВ Ы‰‡ОУТ¸ ‰У·ЛЪ¸Тfl НУМЪ УОЛ-ЫВПУИ ТУ‚ПВТЪЛПУТЪЛ ЪУМНЛı ТОУВ‚ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ-ЛНУ‚ Т ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ПЛ НУППЫЪ‡ˆЛУММ˚ПЛ

êËÒ. 1. иВЪОЛ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У (1) Ë ÔË Ó˝- ÎÂÍÚ Ë˜ÂÒÍÓ„Ó (2) „ЛТЪВ ВБЛТ‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜В- ТНУИ ФОВМНЛ ˆЛ НУМ‡Ъ‡–ЪЛЪ‡М‡Ъ‡ Т‚ЛМˆ‡ снл (0,53/0,47): Ps – ТФУМЪ‡ММ‡fl ФУОfl ЛБ‡ˆЛfl (М‡- Т˚˘ВМЛВ), Pr – ÓÒÚ‡ÚӘ̇fl ÔÓÎfl ËÁ‡ˆËfl (V = 0), Vc – НУ˝ ˆЛЪЛ‚МУВ М‡Ф flКВМЛВ (P = 0).

П‡Ъ Лˆ‡ПЛ ‚ ‡ПН‡ı ФО‡М‡ МУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚. н‡Н‡fl ЛМЪВ„ ‡ˆЛfl, Т У‰- МУИ ТЪУ УМ˚, УЪН ˚‚‡ВЪ ‚УБПУКМУТЪ¸ ТУБ‰‡МЛfl ˆВОУ„У fl‰‡ МУ‚˚ı ЫТЪ УИТЪ‚, ‡ Т ‰ Ы„УИ – ФУБ‚УОflВЪ ЛБ·ВК‡Ъ¸ ‰У У„Лı Л МВМ‡‰ВКМ˚ı „Л· Л‰М˚ı НУМТЪ-ЫНˆЛИ.

уЫ‰ВТМ˚В Т‚УИТЪ‚‡ ЪУМНЛı ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН М‡ıУ‰flЪ Ф ЛПВМВМЛВ Ф Л ТУБ‰‡МЛЛ ЫТЪ-УИТЪ‚ ˝МВ „УМВБ‡‚ЛТЛПУИ Ф‡ПflЪЛ, ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ Ф‡ПflЪЛ Т Ф УЛБ‚УО¸МУИ ‚˚·У НУИ, НУМ‰ВМТ‡ЪУ У‚, ПЛН У‡НЪ˛‡ЪУ У‚, Ф ЛВПМЛНУ‚ ЛМЩ ‡Н ‡ТМУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl, УФЪЛ˜ВТНЛı Ф УˆВТТУ У‚, ‚УОМУ‚У‰У‚ Л ОЛМЛИ Б‡‰В КНЛ, Ф Л·У У‚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ‡НЫТЪЛ˜ВТНЛı ‚УОМ‡ı, ‡БМУУ· ‡БМ˚ı ‡НЫТЪУУФЪЛ˜ВТНЛı ЫТЪ УИТЪ‚, ЛБПВМfl˛˘Лı Б‡‰‡ММ˚П У· ‡БУП ТФВНЪ-‡О¸М˚И ТУТЪ‡‚, ‡ПФОЛЪЫ‰Ы Л М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ‡Т- Ф УТЪ ‡МВМЛfl Т‚ВЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡. З Ф Л‚У‰ЛПУИ Ъ‡·ОЛˆВ УЪ ‡КВМ˚ МВНУЪУ ˚В ‚УБПУКМ˚В Ф ЛПВМВМЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН, Т‚УИТЪ‚‡, П‡ЪВ-Л‡О˚ Л ЪУО˘ЛМ˚ ФОВМУН, МВУ·ıУ‰ЛП˚В ‰Оfl В‡ОЛ- Б‡ˆЛЛ ЫН‡Б‡ММ˚ı Ф ЛПВМВМЛИ.

퇷Îˈ‡ 1. и ЛПВМВМЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН

й˜В‚Л‰МУ, ˜ЪУ ЩЛБЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ ФОВМНЛ ТЫ- ˘ВТЪ‚ВММУ Б‡‚ЛТflЪ УЪ ТУТЪУflМЛfl ВВ ФУ‚В ıМУТЪЛ, ТЪВıЛУПВЪ ЛЛ, Н ЛТЪ‡ООЛ˜МУТЪЛ, ФОУЪМУТЪЛ, ПЛН-УТЪ ЫНЪЫ ˚ Л Н ЛТЪ‡ООУ„ ‡ЩЛ˜ВТНУИ У ЛВМЪ‡ˆЛЛ, ЪУ ВТЪ¸, ‚ Т‚У˛ У˜В В‰¸, УЪ ПВЪУ‰У‚ ФУОЫ˜ВМЛfl ФОВМНЛ. и У·ОВП‡ ЫТОУКМflВЪТfl Ъ‡НКВ МВУ·ıУ‰ЛПУТЪ¸˛ ‚˚ТУНУЪВПФВ ‡ЪЫ МУ„У М‡„ В‚‡ ( 600 – 800°л) ‰Оfl Н ЛТЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ ФОВМУН, Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ ‚ Лı ТУТЪ‡‚В ıЛПЛ˜ВТНЛ ‡НЪЛ‚М˚ı Л ОВЪЫ˜Лı НУПФУМВМЪУ‚ (М‡- Ф ЛПВ , Т‚ЛМˆ‡).

еВЪУ‰˚ ФУОЫ˜ВМЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН МВФ В ˚‚МУ ‡Б‚Л‚‡˛ЪТfl Л ТУ‚В ¯ВМТЪ‚Ы˛ЪТfl ·ЫН‚‡О¸МУ ‚ Н‡К‰УИ О‡·У ‡ЪУ ЛЛ, МУ ФУ УТМУ‚М˚П ˜В Ъ‡П ПУКМУ ‚˚‰ВОЛЪ¸ ˜ВЪ˚ В М‡Л·УОВВ ФВ ТФВНЪЛ‚М˚ı М‡Ф ‡‚ОВМЛfl: П‡„МВЪ УММУВ М‡Ф˚ОВМЛВ, О‡- БВ МЫ˛ ‡·ОflˆЛ˛, ıЛПЛ˜ВТНУВ УТ‡К‰ВМЛВ ЛБ „‡БУ‚УИ Щ‡Б˚ ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ Л БУО¸-„ВО¸ Ф УˆВТТ.

и Л П‡„МВЪ УММУП М‡Ф˚ОВМЛЛ ‡ЪУП˚ ПЛ¯ВМЛ ‚˚·Л‚‡˛ЪТfl ‚˚ТУНУ˝МВ „ВЪЛ˜М˚ПЛ ЛУМ‡ПЛ Л УТ‡К- ‰‡˛ЪТfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ. иОВМН‡ ‡ТЪВЪ ‰У‚УО¸МУ ПВ‰ОВММУ Л ‰Оfl ·УО¸¯Лı ФОУ˘‡‰ВИ

ФУ‰ОУКНЛ ПУКВЪ ЛПВЪ¸ БМ‡˜ЛЪВО¸М˚В ‚‡ Л‡ˆЛЛ ПЛН-УТЪ ЫНЪЫ ˚ Л ТУТЪ‡‚‡. д М‡ТЪУfl˘ВПЫ ‚ ВПВМЛ ‡Б-‡·УЪ‡М˚ ПМУ„У˜ЛТОВММ˚В ТФУТУ·˚ ˜‡ТЪЛ˜МУ„У Ф В- У‰УОВМЛfl ˝ЪЛı Ъ Ы‰МУТЪВИ, ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ ˜В„У Н‡˜ВТЪ‚У ФОВМУН ФУТЪУflММУ ЫОЫ˜¯‡ВЪТfl.

Й ЫФФ‡ ПВЪУ‰У‚, У·˙В‰ЛМВММ˚ı М‡Б‚‡МЛВП “О‡- БВ М‡fl ‡·ОflˆЛfl”, ЪУ ВТЪ¸ ЛМЛˆЛЛ У‚‡ММ˚И О‡БВ УП П‡ТТУФВ ВМУТ ‚В˘ВТЪ‚‡ ПЛ¯ВМЛ М‡ ФУ‰ОУКНЫ, ФУОЫ- ˜ЛО‡ ‡Б‚ЛЪЛВ УНУОУ ‰ВТflЪЛ ОВЪ М‡Б‡‰, Ф Л ФУЛТНВ ФЫЪВИ М‡МВТВМЛfl ФОВМУН ПМУ„УНУПФУМВМЪМ˚ı ПВ- Ъ‡ООУУНТЛ‰М˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ – ‚˚ТУНУЪВПФВ ‡ЪЫ - М˚ı Т‚В ıФ У‚У‰МЛНУ‚. г‡БВ М˚И ОЫ˜ (У·˚˜МУ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ПУ˘М˚В О‡БВ ˚ Т ˜‡ТЪУЪУИ ТОВ‰У‚‡МЛfl ЛПФЫО¸ТУ‚ УЪ 10 ‰У 100 Йˆ, ‡·УЪ‡˛˘ЛВ М‡ ФВ ВıУ‰‡ı ПВК‰Ы ˝ОВНЪ УММ˚ПЛ Ы У‚МflПЛ ˝НТЛПВ М˚ı ПУОВНЫО, ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛˘Лı ЪУО¸НУ ‚ ˝ОВНЪ УММУ-‚УБ·ЫК‰ВМ- М˚ı ТУТЪУflМЛflı) ЩУНЫТЛ ЫВЪТfl М‡ ПЛ¯ВМЛ, ЛТФ‡ fl- ˛˘ЛВТfl ‡ЪУП˚ НУЪУ УИ ФВ ВМУТflЪТfl М‡ ФУ‰ОУКНЫ, „‰В ‡ТЪВЪ ФОВМН‡. З Т ‡‚МВМЛЛ Т ПВЪУ‰‡ПЛ П‡„МВ- Ъ УММУ„У ‡ТФ˚ОВМЛfl ˝ЪЛ ПВЪУ‰˚ УЪН ˚‚‡˛Ъ ‚УБПУКМУТЪ¸ ФУМЛБЛЪ¸ ЪВПФВ ‡ЪЫ Ы ФУ‰ОУКНЛ (˜ЪУ ·˚‚‡ВЪ Н ЛЪЛ˜М˚П Ф Л ЛМЪВ„ Л У‚‡МЛЛ ТВ„МВЪУ- ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН Т ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ПЛ) Л У·ВТФВ˜ЛЪ¸ Ы‰У‚ОВЪ‚У ЛЪВО¸МУВ ‚˚ФУОМВМЛВ ЫТОУ- ‚ЛИ ТЪВıЛУПВЪ ЛЛ М‡ ‚ТВИ ФУ‚В ıМУТЪЛ УТ‡К‰ВМЛfl. йТМУ‚М˚В Ъ Ы‰МУТЪЛ Т‚flБ‡М˚ Т М‡Ф˚ОВМЛВП У‰МУ-У‰М˚ı ФОВМУН М‡ ФУ‰ОУКНЛ ·УО¸¯УИ ФОУ˘‡‰Л Л Т Б‡˘ЛЪУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ ‡ТЪЫ˘ВИ ФОВМНЛ УЪ ФУ‚ ВК- ‰ВМЛИ УТНУОН‡ПЛ ‡ТФ‡‰‡˛˘ВИТfl ПЛ¯ВМЛ.

и Л ıЛПЛ˜ВТНУП УТ‡К‰ВМЛЛ ЛБ „‡БУ‚УИ Щ‡Б˚ ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ ФУЪУНЛ „‡БУ‚, ТУ‰В К‡˘Лı ‚ТВ МВУ·ıУ‰ЛП˚В НУПФУМВМЪ˚ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl, ЩУНЫТЛ Ы˛ЪТfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ М‡„ ВЪУИ ФУ‰ОУКНЛ Л ‚ТЪЫФ‡˛Ъ ‚ ıЛПЛ˜ВТНЫ˛ В‡НˆЛ˛, ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ НУЪУ УИ У· ‡БЫВЪТfl Ъ‚В ‰‡fl ФОВМН‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛН‡.

зВТПУЪ fl М‡ Ъ Ы‰МУТЪЛ ФУ‰·У ‡ МВУ·ıУ‰ЛП˚ı ЛТıУ‰М˚ı ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ (‡ОНЛОУ‚, ‡ОНУНТЛ‰У‚ Л ‡ ЛОУ‚) Л ТОУКМУТЪ¸ Ф УЪВН‡˛- ˘Лı ıЛПЛ˜ВТНЛı В‡НˆЛИ, ˝ЪУ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ У·О‡‰‡ВЪ ПМУ„ЛПЛ Ф ВЛПЫ˘ВТЪ‚‡ПЛ, ФУБ‚УОflfl, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ, ТМЛБЛЪ¸ ЪВПФВ ‡ЪЫ Ы ФУ‰ОУКНЛ (<600°л), У·ВТФВ- ˜ЛЪ¸ ‚˚ТУНУВ Н‡˜ВТЪ‚У ФУН ˚ЪЛfl М‡ БМ‡˜ЛЪВО¸МУИ ФОУ˘‡‰Л, ·УО¸¯ЛВ ТНУ УТЪЛ УТЪ‡ Л Ъ.‰.

З ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚ ‡НЪЛ‚МУ ‡Б‚Л‚‡ВЪТfl БУО¸-„ВО¸ ПВЪУ‰ ФУОЫ˜ВМЛfl ФОВМУН ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНУ‚, НУЪУ-˚И ‰‡ВЪ М‡Л·УО¸¯ЛВ Ф ВЛПЫ˘ВТЪ‚‡. З УТМУ‚В ПВЪУ‰‡ ОВК‡Ъ В‡НˆЛЛ „Л‰ УОЛБ‡ Л ФУОЛНУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ, „О‡‚М˚П У· ‡- БУП ‡ОНУ„УОflЪУ‚ ПВЪ‡ООУ‚, ‚В‰Ы˘ЛВ Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ПВЪ‡ОО-НЛТОУ У‰МУ„У Н‡ Н‡Т‡, ФУТЪВФВММУВ ‡Б- ‚ВЪ‚ОВМЛВ НУЪУ У„У ‚˚Б˚‚‡ВЪ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸М˚В ТЪ ЫНЪЫ М˚В ЛБПВМВМЛfl ФУ ТıВПВ ‡ТЪ‚У –БУО¸- „ВО¸–УНТЛ‰. н‡НУИ ПВЪУ‰ У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪ ‚УБПУКМУТЪ¸ У˜ВМ¸ ЪУ˜МУ„У ЫФ ‡‚ОВМЛfl ТЪ ЫНЪЫ УИ ФУОЫ- ˜‡ВПУ„У ‚В˘ВТЪ‚‡ М‡ ПУОВНЫОfl МУП Ы У‚МВ, ФУОЫ˜В- МЛВ ПМУ„УНУПФУМВМЪМ˚ı УНТЛ‰М˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ Т ЪУ˜М˚П ТУ·О˛‰ВМЛВП ТЪВıЛУПВЪ Л˜ВТНУ„У ТУУЪМУ-

¯ВМЛfl ˝ОВПВМЪУ‚, ‚˚ТУНУИ „УПУ„ВММУТЪ¸˛ Л МЛБНУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ УИ У· ‡БУ‚‡МЛfl УНТЛ‰У‚. дУМВ˜М˚П Ф У‰ЫНЪУП ‰‡ММУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ П‡ЪВ Л‡- О˚ ‡БОЛ˜МУ„У ‚Л‰‡ Л ‚МЫЪ ВММВИ ТЪ ЫНЪЫ ˚: „ВОЛ, ТЪВНО‡, ФУ У¯НЛ, НВ ‡ПЛН‡, ‚УОУНМ‡, ФОВМНЛ. йФЪЛПЛБ‡ˆЛfl ЫТОУ‚ЛИ Ф Л„УЪУ‚ОВМЛfl ЛТıУ‰М˚ı НУООУЛ‰- М˚ı ‡ТЪ‚У У‚ Л ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ФОВМУН У·ВТФВ˜Л‚‡- ВЪТfl ФЫЪВП ТЪ‡ЪЛТЪЛ˜ВТНУ„У НУМЪ УОfl Т‚УИТЪ‚ ЛТıУ‰М˚ı ‡ТЪ‚У У‚ Л У· ‡БЫ˛˘ЛıТfl Ф Л Лı ЛТФ‡-ВМЛЛ ФУ У¯НУ‚, ‡ Ъ‡НКВ Т‚УИТЪ‚ ФОВМУН, ЩУ ПЛ-ЫВП˚ı ЛБ ‰‡ММ˚ı ‡ТЪ‚У У‚. дУМЪ УО¸ ‡ТЪ‚У У‚ Л ФУ У¯НУ‚ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl ПВЪУ‰‡ПЛ ‡М‡ОЛЪЛ˜ВТНУ- „У Л ЩЛБЛНУ-ıЛПЛ˜ВТНУ„У ЪВТЪЛ У‚‡МЛfl, ‡ Т‚УИТЪ‚‡ ФОВМУН ЛТТОВ‰Ы˛ЪТfl ПВЪУ‰‡ПЛ ВМЪ„ВМУТЪ ЫНЪЫ - МУ„У ‡М‡ОЛБ‡, ˝ОВНЪ УММУИ ПЛН УТНУФЛЛ, ПЛН У- ТНУФЛЛ ‡ЪУПМ˚ı ТЛО, ˝ООЛФТУПВЪ ЛЛ, ¯Л УНЛП ТФВНЪ УП ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛı ПВЪУ‰У‚.

аТНО˛˜ЛЪВО¸МУ ‚‡КМ˚П fl‚ОflВЪТfl ˝Ъ‡Ф Н ЛТЪ‡О- ОЛБ‡ˆЛЛ ФОВМУН. СОfl ˝ЪУ„У ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ЛБУЪВ ПЛ˜В- ТНЛИ ЛОЛ ·˚ТЪ ˚И ЪВ ПЛ˜ВТНЛИ УЪКЛ„. ЕУО¸¯УВ ‚ОЛflМЛВ М‡ Т‚УИТЪ‚‡ ЩУ ПЛ ЫВП˚ı ЛМЪВ„ Л У‚‡М- М˚ı ТЪ ЫНЪЫ УН‡Б˚‚‡˛Ъ ˝ОВНЪ У‰˚, ‚ Н‡˜ВТЪ‚В НУЪУ-˚ı, Н‡Н Ф ‡‚ЛОУ, Ф ЛПВМfl˛ЪТfl ıЛПЛ˜ВТНЛ ЛМВ Ъ- М‡fl ФО‡ЪЛМ‡ ЛОЛ ·ОЛБНЛИ ФУ Т‚УИТЪ‚‡П Л Л‰ЛИ, ‡ Ъ‡НКВ УНТЛ‰˚ Л Л‰Лfl, ЫЪВМЛfl. еВı‡МЛ˜ВТНЛВ М‡- Ф flКВМЛfl, Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТН‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ ˝ОВНЪ У‰У‚, УТУ·ВММУ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡, ПУ„ЫЪ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ЛБПВМflЪ¸ Т‚УИТЪ‚‡ ФОВМУН. й‰М‡ ЛБ Ъ Ы‰МУТЪВИ, М‡- Ф ЛПВ , Т‚flБ‡М‡ Т ВН ЛТЪ‡ООЛБ‡ˆЛВИ ФО‡ЪЛМУ‚У„У ˝ОВНЪ У‰‡, ˜ЪУ ˜‡ТЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ВБНЛП ОУН‡О¸М˚П ЫıЫ‰¯ВМЛflП ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚ ФОВМУН.

ЗУУ·˘В Ф Л ТУБ‰‡МЛЛ ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП Т Ы˜‡Т- ЪЛВП ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНУ‚ М‡ ФВ ‚˚И ФО‡М ‚˚ıУ‰ЛЪ Ф У·ОВП‡ ЩЛБЛНУ-ıЛПЛ˜ВТНУ„У Л ПВı‡МЛ˜ВТНУ„У ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Лfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ФОВМНЛ Т УН ЫК‡˛˘ЛПЛ П‡ЪВ Л‡О‡ПЛ, ФУТНУО¸НЫ ˝ЪУ ПУКВЪ Ф Л‚У‰ЛЪ¸, Т У‰МУИ ТЪУ УМ˚, Н ЫıЫ‰¯ВМЛ˛ ı‡ ‡НЪВ-ЛТЪЛН ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ˝ОВПВМЪ‡, ‡ Т ‰ Ы„УИ – Н ЫЪВ˜Н‡П Л ‰В„ ‡‰‡ˆЛЛ Ъ ‡МБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ . иУ˝ЪУПЫ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛИ П‡ ¯ ЫЪ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ЛМЪВ„ ‡О¸МУИ ТıВП˚ ‰УОКВМ ЛТНО˛˜‡Ъ¸ Ф УˆВТТ˚ ‚˚ТУНУЪВПФВ ‡ЪЫ МУ„У УЪКЛ„‡ Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ НУМ- Ъ‡НЪ‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛН‡ Т УНТЛ‰‡ПЛ ЛОЛ ‰ Ы„ЛПЛ ‡Н- ЪЛ‚МУ ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Ы˛˘ЛПЛ П‡ЪВ Л‡О‡ПЛ.

иО‡ЪЛМ‡ Н‡Н П‡ЪВ Л‡О ˝ОВНЪ У‰У‚ ‚ Н ВПМЛВ‚˚ı ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП‡ı ФУ УК‰‡ВЪ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В Ъ Ы‰МУТЪЛ, У·ЫТОУ‚ОВММ˚В ТОУКМУТЪ¸˛ Ф УˆВТТ‡ Ъ ‡‚ОВМЛfl Л ФОУıУИ ‡‰„ВБЛВИ. СОfl ЫОЫ˜¯ВМЛfl ‡‰„В- БЛЛ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ Н ‰ЛУНТЛ‰Ы Н ВПМЛfl У·˚˜МУ ‚‚У‰flЪ ‡‰„ВБЛУММ˚И ФУ‰ТОУИ ЪЛЪ‡М‡, У‰М‡НУ Л УМ МВ ЫТЪ ‡МflВЪ ‰‡ММУИ Ъ Ы‰МУТЪЛ ‚ ФУОМУИ ПВ В. д ЪУПЫ КВ ‚ Ф УˆВТТВ ‚˚ТУНУЪВПФВ ‡ЪЫ МУИ Н ЛТЪ‡ООЛБ‡- ˆЛЛ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ТОУfl ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚ЛВ ЪЛЪ‡М‡ Т ‰ЛУНТЛ‰УП Н ВПМЛfl Ф Л‚У‰ЛЪ Н У· ‡БУ‚‡- МЛ˛ УНТЛ‰У‚ Л ТЛОЛˆЛ‰У‚ ЪЛЪ‡М‡, ТЛО¸МУ Б‡Ъ Ы‰Мfl- ˛˘Лı Ф УˆВТТ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl Б‡‰‡ММУИ НУМЩЛ„Ы ‡- ˆЛЛ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡.

и УˆВТТ ‚˚ТУНУ˜‡ТЪУЪМУ„У ЛУММУ-ФО‡БПВММУ„У Ъ ‡‚ОВМЛfl ˝ОВНЪ У‰У‚ УТОУКМВМ ТЛО¸М˚П ‡БУ„ В- ‚УП ЩУЪУ ВБЛТЪЛ‚МУИ П‡ТНЛ. иУ˝ЪУПЫ ‰Оfl ЩУ ПЛ-У‚‡МЛfl ФО‡ЪЛМУ‚˚ı ˝ОВНЪ У‰У‚ ЛТФУО¸БЫВЪТfl Ф У- ˆВТТ ЛУММУ-ОЫ˜В‚У„У Ъ ‡‚ОВМЛfl, Ф Л˜ВП ‚ У· ‡·УЪНВ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Ti–Pt М‡Л·УО¸¯Ы˛ ТОУКМУТЪ¸ Ф В‰ТЪ‡‚- ОflВЪ Ъ ‡‚ОВМЛВ ТОУfl ЪЛЪ‡М‡. щЪУ Т‚flБ‡МУ Т ЪВП, ˜ЪУ УНТЛ‰˚ ЪЛЪ‡М‡ ЛПВ˛Ъ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ·УОВВ МЛБНЛВ ТНУ УТЪЛ ‡ТФ˚ОВМЛfl, ˜ВП Т‡П ПВЪ‡ОО, ТНУ УТЪ¸‡ТФ˚ОВМЛfl НУЪУ У„У ЪУКВ Т ‡‚МЛЪВО¸МУ МВ‚ВОЛН‡. иУ˝ЪУПЫ Ъ ‡‚ОВМЛВ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl ‚ У‰МЫ ТЪ‡‰Л˛ ·ВБ Ф УПВКЫЪУ˜МУИ ‡Б„В ПВЪЛБ‡ˆЛЛ Н‡ПВ ˚, ‡ ТНУ-УТЪЛ ТУТЪ‡‚Оfl˛Ъ: ФО‡ЪЛМ‡ 23 – 25 МП/ПЛМ, ЪЛЪ‡М 12 – 14 МП/ПЛМ, ‰ЛУНТЛ‰ Н ВПМЛfl – 25 МП/ПЛМ, ˆЛ НУМ‡Ъ–ЪЛЪ‡М‡Ъ Т‚ЛМˆ‡ (снл) 15 МП/ПЛМ.

к‡МВВ Ф В‰Ф ЛМЛП‡ОЛТ¸ ФУФ˚ЪНЛ ФУ‰‚В „‡Ъ¸ ФОВМНЛ снл КЛ‰НУТЪМУПЫ Л ЛУММУ-ОЫ˜В‚УПЫ Ъ ‡‚ОВМЛ˛. й‰М‡НУ Ф Л КЛ‰НУТЪМУП Ъ ‡‚ОВМЛЛ М‡·О˛‰‡ОУТ¸ БМ‡˜ЛЪВО¸МУВ (‰У 1 ПНП) УЪНОУМВМЛВ УЪ Б‡‰‡ММ˚ı ‡БПВ У‚, ‚˚Б‚‡ММУВ ‰‚ЫıТЪ‡‰ЛИМ˚П ı‡ ‡НЪВ УП Ф УˆВТТ‡. А ТОУКМУТЪЛ ЛУММУ-ОЫ˜В‚У„У Ъ ‡‚ОВМЛfl Т‚flБ‡М˚ Т МВНУМЩУ ПМУТЪ¸˛ ТВ„МВЪУ-

˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ФОВМНЛ ЛБ-Б‡ ФО‡М‡ ЛБЫ˛˘В„У ˝Щ- ЩВНЪ‡, ı‡ ‡НЪВ МУ„У ‰Оfl ТОУВ‚, ТУБ‰‡‚‡ВП˚ı ПВЪУ- ‰УП ˆВМЪ ЛЩЫ„Л У‚‡МЛfl.

н‚В ‰˚В ‡ТЪ‚У ˚ ˆЛ НУМ‡Ъ‡–ЪЛЪ‡М‡Ъ‡ Т‚ЛМˆ‡– О‡МЪ‡М‡ М‡ıУ‰flЪ ‡·ТУО˛ЪМУ ЫМЛ‚В Т‡О¸МУВ Ф ЛПВМВМЛВ Ф Л ТУБ‰‡МЛЛ ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП О˛·У„У М‡БМ‡˜ВМЛfl (ТП. Ъ‡·О. 1), ФУ˝ЪУПЫ МЛКВ П˚ ‡Т- ТПУЪ ЛП МВТНУО¸НУ ‚УБПУКМ˚ı ‚‡ Л‡МЪУ‚ ЩУ ПЛ-У‚‡МЛfl ˝ОВПВМЪУ‚ ЛМЪВ„ Л У‚‡ММ˚ı ТЪ ЫНЪЫ М‡ УТМУ‚В ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНУ‚, ЛТФУО¸БЫfl ‚ Н‡˜ВТЪ‚В Ф ЛПВ ‡ Ф УТЪВИ¯Ы˛ ФОВМУ˜МЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ Ы ЪЛФ‡ Si–SiO2–Ti–Pt–ñíë–Pt.

Ç Ô ‚ÓÏ ÒÎÛ˜‡Â ( ËÒ. 2‡) ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪ¸ Ф УˆВ‰Ы ‡М‡ОУ„Л˜М‡ Ф ЛПВМflВПУИ Ф Л Ф УЛБ‚У‰- ТЪ‚В ФОВМУ˜М˚ı НУМ‰ВМТ‡ЪУ У‚. зУ М‡МВТВМЛВ ТВ„- МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ФОВМНЛ ФУТОВ ТВОВНЪЛ‚МУ„У Ъ ‡‚ОВМЛfl МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ТЛО¸МУПЫ ıЛПЛ˜ВТНУПЫ ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Л˛ снл Т SiO2 Ф Л ЪВ - ПЛ˜ВТНУИ У· ‡·УЪНВ, ˜ЪУ ‚˚Б˚‚‡ВЪ ТВ ¸ВБМ˚В ФУ- ‚ ВК‰ВМЛfl Н‡Н ‚ ТОУВ снл, Ъ‡Н Л ‚ ˝ОВПВМЪ‡ı ТıВП˚. ЗУ ‚ЪУ УП ТОЫ˜‡В ( ЛТ. 2·) ТМ‡˜‡О‡ М‡МУТflЪТfl ФОВМНЛ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ Л ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛН‡, Б‡ЪВП

ЩУ ПЛ ЫВЪТfl НУМЩЛ„Ы ‡ˆЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ˝ОВПВМЪ‡, ‡ ФУТОВ ˝ЪУ„У – ‚В ıМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡. й‰- М‡НУ Б‰ВТ¸ МВУ·ıУ‰ЛПУ У·ВТФВ˜ЛЪ¸ ˆВОУТЪМУТЪ¸ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ Ф Л ЛУММУ-ОЫ˜В‚УП Ъ ‡‚ОВМЛЛ ‚В ıМВ„У ˝ОВНЪ У‰МУ„У ТОУfl. н ВЪЛИ ‚‡ Л‡МЪ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНУИ ˆВФУ˜НЛ ( ЛТ. 2‚) Т‚flБ‡М Т ФУТОВ‰У- ‚‡ЪВО¸М˚П М‡МВТВМЛВП М‡ ФУ‰ОУКНЫ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡, ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ТОУfl Л ‚В ıМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡. б‡ЪВП Ф УЛБ‚У‰ЛЪТfl ТВОВНЪЛ‚МУВ Ъ ‡‚ОВМЛВ УЪ ‚В ıМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ ‰У МЛКМВ„У ‰Оfl ЩУ ПЛ-У‚‡МЛfl ТЪ ЫНЪЫ ˚. и Л ˝ЪУП Ы‰‡ВЪТfl ЛБ·ВК‡Ъ¸ ‚Б‡Л- ПУ‰ВИТЪ‚Лfl снл Т УН ЫК‡˛˘ЛПЛ ТОУflПЛ Ф Л ‚˚ТУНУЪВПФВ ‡ЪЫ МУП УЪКЛ„В, У‰М‡НУ ТЛО¸М˚В ПВ- ı‡МЛ˜ВТНЛВ М‡Ф flКВМЛfl ‚ ТЪ ЫНЪЫ В ‚˚Б˚‚‡˛Ъ ПМУКВТЪ‚ВММУВ УК‰ВМЛВ ЪУ˜В˜М˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ Л ‰ЛТОУ- Н‡ˆЛИ. щЪ‡ Ф У·ОВП‡ ТМЛП‡ВЪТfl, ВТОЛ ‚ УЪОЛ˜ЛВ УЪ ‚ЪУ У„У ТОЫ˜‡fl ТОУИ ‰ЛУНТЛ‰‡ Н ВПМЛfl М‡МУТЛЪТfl ПВЪУ‰УП ФО‡БПУıЛПЛ˜ВТНУ„У УТ‡К‰ВМЛfl ФУТОВ ЩУ - ПЛ У‚‡МЛfl НУМЩЛ„Ы ‡ˆЛЛ МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡ Л ТВ„- МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ˝ОВПВМЪ‡, Т ФУТОВ‰Ы˛˘ЛП ТВОВНЪЛ‚М˚П ФУ УЪМУ¯ВМЛ˛ Н снл Л Pt УЪН ˚ЪЛВП ‚ SiO2 ÍÓÌÚ‡ÍÚÌ˚ı ÓÍÓÌ ( ËÒ. 2„). Ç ˝ÚÓÏ ÒÎÛ˜‡Â ‚Á‡Ë- ÏÓ‰ÂÈÒÚ‚Ë ñíë Ë SiO2 ПУКВЪ Ф Л‚ВТЪЛ Н МВ‚УТФ У- ЛБ‚У‰ЛПУТЪЛ ТУБ‰‡‚‡ВП˚ı ТЪ ЫНЪЫ Л ТМЛКВМЛ˛ ‚˚ıУ‰‡ „У‰М˚ı ˝ОВПВМЪУ‚. иУ˝ЪУПЫ ·˚О Ф В‰ОУКВМ В˘В У‰ЛМ ФУ‰ıУ‰ ( ЛТ. 2‰), НУ„‰‡ ‚В ıМЛИ ˝ОВНЪ У‰ ЩУ ПЛ ЫВЪТfl ФВ В‰ М‡МВТВМЛВП ТОУfl ‰ЛУНТЛ‰‡ Н ВПМЛfl, ФУТОВ Ъ ‡‚ОВМЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ТОУfl Л МЛКМВ„У ˝ОВНЪ У‰‡. й‰М‡НУ Л ˝ЪУЪ ФУ‰ıУ‰ МВ ОЛ¯ВМ МВ‰УТЪ‡ЪНУ‚, ФУТНУО¸НЫ УНТЛ‰М‡fl ФОВМН‡, Ф В‰Уı ‡Мfl˛˘‡fl Ъ ‡МБЛТЪУ М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚, ‰‚‡К- ‰˚ ФУ‰‚В „‡ВЪТfl ЛУММУ-ОЫ˜В‚УПЫ Ъ ‡‚ОВМЛ˛.

ЗЛ‰МУ, ˜ЪУ МЛ У‰М‡ ЛБ Ф Л‚В‰ВММ˚ı ЪВıМУОУ„Л- ˜ВТНЛı Ф УˆВ‰Ы МВ ФУБ‚УОflВЪ ЫТФВ¯МУ Ф ВУ‰УОВЪ¸ ‚ТВ ‚УБМЛН‡˛˘ЛВ Ъ Ы‰МУТЪЛ. нВП МВ ПВМВВ ‰‡КВ ‰У- ТЪЛ„МЫЪ˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ‚˚„Оfl‰flЪ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚ФВ˜‡Ъ- Оfl˛˘В: ЫН‡Б‡ММ‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ М‡ ·‡БВ ТУТЪ‡‚‡

Pb1,1Zr0,52Ti0,48O3 Ф Л ЪУО˘ЛМВ ФОВМНЛ 0,18 – 0,25 ПНП ЛПВО‡ УТЪ‡ЪУ˜МЫ˛ ФУОfl ЛБ‡ˆЛ˛ 10 – 20 ПНдО/ТП2,

НУ˝ ˆЛЪЛ‚МУВ М‡Ф flКВМЛВ 0,5 – 1,5 З, ‡·У˜ВВ М‡- Ф flКВМЛВ 5 З, Ф У·Л‚МУВ М‡Ф flКВМЛВ МВ ·УОВВ 20 З, ‚ ВПfl ФВ ВНО˛˜ВМЛfl Б‡ fl‰‡ ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ МВ ПВМВВ 10 МТ; Ф‡ ‡ПВЪ ˚ МВ ЛБПВМflОЛТ¸ ФУ Н ‡ИМВИ ПВ В Ф Л ПЛООЛ‡ ‰В ˆЛНОУ‚ ФВ ВНО˛˜ВМЛfl.

к‡ТТПУЪ ЛП ЪВФВ ¸ ‚Н ‡ЪˆВ УТМУ‚М˚В Ф ЛМˆЛФ˚

Ë˝ОВПВМЪ˚ НУМТЪ ЫНˆЛЛ МВНУЪУ ˚ı ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛˘Лı

ËФ УВНЪЛ ЫВП˚ı ЫТЪ УИТЪ‚ М‡ УТМУ‚В ЛМЪВ„ Л У- ‚‡ММ˚ı ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНУ‚. з‡˜МВП Т ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ Ф‡ПflЪЛ Т Ф УЛБ‚УО¸МУИ ‚˚·У НУИ (DRAM), Ф ЛМˆЛФ ‰ВИТЪ‚Лfl НУЪУ УИ УТМУ‚‡М М‡ ı ‡МВМЛЛ ˝ОВНЪ-Л˜ВТНУ„У Б‡ fl‰‡ ‚ НУМ‰ВМТ‡ЪУ М˚ı ˝ОВПВМЪ‡ı fl˜В- ВН ейи-П‡Ъ Лˆ˚. З Ъ ‡‰ЛˆЛУММ˚ı ЫТЪ УИТЪ‚‡ı Ъ‡НУ„У У‰‡ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В ‰Л˝ОВНЪ ЛН‡ ‰Л- УНТЛ‰ ЛОЛ МЛЪ Л‰ Н ВПМЛfl, ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТН‡fl Ф У- МЛˆ‡ВПУТЪ¸ НУЪУ ˚ı ‰У‚УО¸МУ МЛБН‡ (4 – 6). мТОУКМflfl НУМТЪ ЫНˆЛ˛ Л Ы‚ВОЛ˜Л‚‡fl ‡БПВ ˚ ФУ‰ОУКНЛ, Ы‰‡ОУТ¸ ‰У‚ВТЪЛ У·˙ВП Ф‡ПflЪЛ Ъ‡НЛı ПЛН УТıВП ‰У 16 е·ЛЪ, У‰М‡НУ ‰‡О¸МВИ¯ВВ ФУ‚˚¯ВМЛВ У·˙ВП‡ Ф‡-

ПflЪЛ ‚ ‡ПН‡ı ТУ‚ ВПВММУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ МВ Ф В‰- ТЪ‡‚ОflВЪТfl ‚УБПУКМ˚П.

аПВММУ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ fl˜ВИНЛ ı ‡МВМЛfl М‡НО‡- ‰˚‚‡˛Ъ Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸М˚В У„ ‡МЛ˜ВМЛfl М‡ ТЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ МВТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ПЛН УТıВП Ф‡- ПflЪЛ. и Л˜ЛМ‡ ТУТЪУЛЪ ‚ П‡ОУТЪЛ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф УМЛˆ‡ВПУТЪЛ ‰ЛУНТЛ‰‡ ЛОЛ МЛЪ Л‰‡ Н ВПМЛfl Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ П‡ОУИ Ы‰ВО¸МУИ ВПНУТЪЛ ı ‡МВМЛfl. иУ ПВ В УТЪ‡ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ТУУЪМУ¯ВМЛВ ПВК‰Ы ВПНУТЪflПЛ ı ‡МВМЛfl Л ¯ЛМ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl ТЪ‡- МУ‚ЛЪТfl ‚ТВ ·УОВВ МВ·О‡„УФ ЛflЪМ˚П, Л ‚ НУМˆВ НУМˆУ‚ Ф flПУВ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛВ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl МВ‚УБПУКМ˚П. нУ„‰‡ М‡ Н‡К‰Ы˛ Б‡ФУПЛМ‡˛˘Ы˛ fl˜ВИНЫ Ф ЛıУ‰ЛЪТfl ТЪ‡‚ЛЪ¸ ЫТЛОЛЪВО¸М˚И ˝ОВПВМЪ, ˜ЪУ Ы‚ВОЛ˜Л‚‡ВЪ ЪУФУОУ„Л˜ВТНЛВ ‡БПВ ˚ fl˜ВИНЛ Л У„ ‡МЛ˜Л‚‡ВЪ ТЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ.

йЪТ˛‰‡ У˜В‚Л‰М‡ ФВ ТФВНЪЛ‚МУТЪ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ейи НУППЫЪ‡ˆЛУММУИ П‡Ъ Лˆ˚ Т ФОВМУ˜М˚ПЛ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛПЛ ˝ОВПВМЪ‡ПЛ ı ‡МВМЛfl, Ъ‡Н Н‡Н ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛНЛ УЪОЛ˜‡˛ЪТfl Ф В‰ВО¸МУ ‚˚ТУНУИ Ы‰ВО¸МУИ ВПНУТЪ¸˛ (Б‡ Т˜ВЪ ‚˚ТУНУИ ‰Л˝ОВНЪ-Л˜ВТНУИ Ф УМЛˆ‡ВПУТЪЛ). и Л НУМТЪ ЫЛ У‚‡МЛЛ DRAM В˜¸ Л‰ВЪ У ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛН‡ı Т ‚˚ТУНУИ ‰Л- ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф УМЛˆ‡ВПУТЪ¸˛ ‚ Ф‡ ‡˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Щ‡БВ. и ЛПВ УП Ъ‡НУ„У П‡ЪВ Л‡О‡ ТОЫКЛЪ ЪЛЪ‡- М‡Ъ ·‡ Лfl–ТЪ УМˆЛfl, МВ‰‡‚МУ ФУОЫ˜ВММ˚И ‚ ‚Л‰В ТОУВ‚ ЪУО˘ЛМУИ 0,18 – 0,30 ПНП, Т ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф УМЛˆ‡ВПУТЪ¸˛ 600 – 1000. и ЛПВМВМЛВ ˝ЪЛı ФОВМУН ‚ fl˜ВИН‡ı ı ‡МВМЛfl ФУБ‚УОflВЪ Ы‚ВОЛ˜ЛЪ¸ Ы‰ВО¸- МЫ˛ ВПНУТЪ¸ Ф ЛПВ МУ ‚ 20 ‡Б. зВУ·ıУ‰ЛПУТЪ¸ ЫТЛОВМЛfl ТЛ„М‡О‡ ‚ Ъ‡НУИ fl˜ВИНВ УЪФ‡‰‡ВЪ, Л ТУУЪ- ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛВ У„ ‡МЛ˜ВМЛfl ФУ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ТМЛП‡˛ЪТfl. кfl‰ ЩЛ П (“Matsushita”, “Olympus”, NEC, “Samsung”) ФО‡МЛ Ы˛Ъ НУППВ ˜ВТНЛИ ‚˚ФЫТН Ъ‡НЛı DRAM ВПНУТЪ¸˛ ‚ 64 е·ЛЪ ‚ 1996 „У‰Ы.

иУТОВ‰МВВ ‚ ВПfl Ф В‰Ф ЛМЛП‡˛ЪТfl ·УО¸¯ЛВ ЫТЛОЛfl ФУ ФУ‚˚¯ВМЛ˛ ‡·У˜Лı ˜‡ТЪУЪ ПЛН УТıВП˚ DRAM ФЫЪВП Б‡ПВМ˚ Н ВПМЛВ‚УИ НУППЫЪ‡ˆЛУММУИ П‡Ъ Лˆ˚ М‡ ‡ ТВМЛ‰-„‡ООЛВ‚Ы˛. З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ‚УБМЛН‡˛Ъ В˘В ·УО¸¯ЛВ Ъ Ы‰МУТЪЛ Т НУМТЪ ЫНˆЛВИ fl˜ВИНЛ ı ‡МВМЛfl Л ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л- ˜ВТНЛı ФОВМУН Т ‚˚ТУНУИ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф УМЛ- ˆ‡ВПУТЪ¸˛ ‚ Ф‡ ‡˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Щ‡БВ Ф ЛУ· ВЪ‡ВЪ УТУ·УВ БМ‡˜ВМЛВ.

С Ы„УВ ‡НЪЛ‚МУ ‡Б‚Л‚‡˛˘ВВТfl М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН ‚ МЛБНУТЛППВЪ Л˜МУИ Щ‡БВ – ПЛН УТıВП˚ ˝МВ „УБ‡‚Л- ТЛПУИ Ф‡ПflЪЛ. б‡ФЛТ¸ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl ФЫЪВП ОУН‡О¸МУ„У ФВ ВНО˛˜ВМЛfl ‚МВ¯МЛП ˝ОВНЪ Л- ˜ВТНЛП ФУОВП ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ ПЛН УТНУФЛ˜ВТНЛı ‰У- ПВМУ‚ – fl˜ВВН Ф‡ПflЪЛ; ‚ ‰‚УЛ˜МУП НУ‰В ‰‚‡ Ф УЪЛ- ‚УФУОУКМ˚ı М‡Ф ‡‚ОВМЛfl ‚ВНЪУ ‡ ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛Ъ БМ‡˜ВМЛflП 0 ЛОЛ 1. СУТЪУЛМТЪ‚‡ПЛ ФУ‰У·М˚ı ЫТЪ УИТЪ‚ fl‚Оfl˛ЪТfl МЛБНЛВ ЫФ ‡‚Оfl˛˘ЛВ М‡Ф flКВМЛfl, ТУ‚ПВТЪЛП˚В ТУ ТıВП‡ПЛ У· ‡ПОВМЛfl (3 – 5 З); ‰ОЛЪВО¸М˚В ‚ ВПВМ‡ ˝МВ „УМВБ‡‚ЛТЛПУ„У ı ‡МВМЛfl ЛМЩУ П‡ˆЛЛ (МВ ПВМВВ 5 ОВЪ); МВЛБПВММУТЪ¸ Ф‡ ‡ПВЪ У‚ Ф Л У˜ВМ¸ ·УО¸¯УП ˜ЛТОВ ˆЛНОУ‚

Á‡ÔËÒ¸ – Ò˜ËÚ˚‚‡ÌË (>1010 – 1012); ‚˚ТУН‡fl ‡‰Л‡- ˆЛУММ‡fl ТЪУИНУТЪ¸; ‚˚ТУН‡fl ТЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ (ПЛМЛП‡О¸М˚И ‡БПВ ‰УПВМ‡ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ МЛКВ Ф В‰ВО‡ ‡Б В¯ВМЛfl Ф УˆВТТУ‚ ОЛЪУ„ ‡ЩЛЛ). дУМТЪ-ЫНˆЛfl Ф УТЪВИ¯ВИ fl˜ВИНЛ Б‡ФУПЛМ‡˛˘В„У ЫТЪ УИТЪ‚‡ НУМ‰ВМТ‡ЪУ МУ„У ЪЛФ‡ ФУН‡Б‡М‡ М‡ ЛТ. 2‰.

З М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl УФ В‰ВОЛОЛТ¸ М‡Л·УОВВ ‚В-УflЪМ˚В ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ П‡ЪВ Л‡О˚ ‰Оfl Ъ‡- НЛı ПЛН УТıВП – ˝ЪУ снл Л SrBi2Ta2O9 , Ф В‰ОУКВМ- М˚И ЩЛ ПУИ “Symetrix” Ъ Л „У‰‡ М‡Б‡‰. з‡ ·‡БВ ˝ЪЛı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ МВТНУО¸НУ ЩЛ П (“Matsushita”, “Micron”, “Symetrix”, “Ramtron”, “Seiko”) М‡˜ЛМ‡˛Ъ ‚ ·ОЛК‡И¯ВВ ‚ ВПfl ‚˚ФЫТН ПЛН УТıВП МВ·УО¸¯УИ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ (64 – 256 Н·ЛЪ).

ЗУ ‚ТВı ˝ЪЛı ‡Б ‡·УЪН‡ı ‰Оfl Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl ЛМЩУ - П‡ˆЛЛ ЛТФУО¸БЫВЪТfl ФВ ВНО˛˜ВМЛВ ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП ФУОВП, ФУ˝ЪУПЫ ФУТОВ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl ЛМЩУ П‡ˆЛЛ Ъ В·ЫВЪТfl ВВ В„ВМВ ‡ˆЛfl. СОfl ˝ЪУ„У ‚ Б‡ФУПЛМ‡˛˘Ы˛ fl˜ВИНЫ МВУ·ıУ‰ЛПУ ‚‚У‰ЛЪ¸ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В ˝ОВПВМЪ˚, ˜ЪУ ЫТОУКМflВЪ НУМТЪ ЫНˆЛ˛ Л Ы‚ВОЛ˜Л‚‡ВЪ ЪУФУОУ„Л˜ВТНЛВ ‡БПВ ˚. д УПВ ЪУ„У, М‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЫ˛ ФОВМНЫ М‡НО‡‰˚‚‡˛ЪТfl ‚ВТ¸П‡ КВТЪНЛВ Ъ В·У‚‡МЛfl ФУ ˜ЛТОЫ ˆЛНОУ‚ ФВ В- НО˛˜ВМЛfl ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ (>1012), ˜ЪУ ФУЪ В·У‚‡ОУ ‰У- ТЪ‡ЪУ˜МУ ТВ ¸ВБМ˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚В‰˜ВТНЛı ЛТТОВ‰У- ‚‡МЛИ.

аПВВЪТfl, У‰М‡НУ, ‡О¸ЪВ М‡ЪЛ‚М‡fl ‚УБПУКМУТЪ¸ МВ ‡Б Ы¯‡˛˘В„У Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl, Б‡НО˛˜‡˛˘‡flТfl ‚ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ˝ЩЩВНЪ‡. ЦТОЛ М‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЫ˛ ФОВМНЫ М‡МВТЪЛ ВБЛТЪЛ‚М˚И ˝ОВПВМЪ, ЪУ Ф Л Ф УФЫТН‡МЛЛ ˜В ВБ МВ„У ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ЪУН‡ ‚ fl˜ВИНВ ı ‡МВМЛfl Б‡ Т˜ВЪ ‰КУЫОВ‚‡ М‡„ В‚‡ ‚УБМЛНМВЪ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНЛИ ТЛ„М‡О, ‡ ТУТЪУflМЛВ ФУОfl ЛБУ‚‡ММУТЪЛ МВ ЛБПВМЛЪТfl, ЪУ ВТЪ¸ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛВ ·Ы‰ВЪ МВ ‡Б Ы¯‡˛˘ЛП. йˆВМНЛ ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ, ˜ЪУ ˝МВ „Лfl Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl ЛМЩУ П‡ˆЛЛ ‚ Ъ‡НУИ ПЛН УТıВПВ ·Ы‰ВЪ МВ ТОЛ¯НУП ·УО¸¯УИ ( 10−10 СК/·ЛЪ), ‡ ı‡-‡НЪВ МУВ ‚ ВПfl Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl 1 ПНТ. н‡НЛВ Ф‡ ‡- ПВЪ ˚ ‰‡ОВНЛ УЪ ВНУ ‰М˚ı, МУ НУМТЪ ЫНˆЛfl fl˜ВИНЛ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ЫФ У˘‡ВЪТfl, Л ФУ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ Ъ‡Н‡fl ПЛН УТıВП‡ ПУКВЪ Ф Л- ·ОЛБЛЪ¸Тfl Н DRAM.

зВ ФУЪ В·У‚‡ОУТ¸ ‰УО„У ЛТН‡Ъ¸ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л- ˜ВТНЛИ П‡ЪВ Л‡О ‰Оfl Ф ‡НЪЛ˜ВТНУИ В‡ОЛБ‡ˆЛЛ Ъ‡- НУИ ПЛН УТıВП˚. аП УН‡Б‡ОТfl ‚ТВ ЪУЪ КВ снл! аТТОВ‰У‚‡МЛfl ФУН‡Б‡ОЛ, ˜ЪУ ‰Оfl ФОВМУН снл ФВЪОfl ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У „ЛТЪВ ВБЛТ‡ ЛПВВЪ ‚ФУОМВ ФУ‰- ıУ‰fl˘ЛИ (“Н‚‡‰ ‡ЪМ˚И”) ‚Л‰ (Н Л‚‡fl 2 М‡ ЛТ. 1), ‡ ‚ВОЛ˜ЛМ‡ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ ФУТОВ МВНУЪУ У„У ТФ‡‰‡ ТУı ‡МflВЪТfl ‚У ‚ ВПВМЛ ( ЛТ. 3·). н‡НЛП У· ‡БУП, УТМУ‚М˚В Ъ В·У‚‡МЛfl, Ф В‰˙fl‚ОflВ- П˚В Н П‡ЪВ Л‡ОЫ ‰Оfl ФУ‰У·М˚ı Б‡ФУПЛМ‡˛˘Лı ЫТЪ-УИТЪ‚, ПУКМУ Т˜ЛЪ‡Ъ¸ ‚˚ФУОМВММ˚ПЛ.

лОВ‰ЫВЪ УЪПВЪЛЪ¸, ˜ЪУ ТЫ˘ВТЪ‚ЫВЪ Л ‰ Ы„‡fl ТıВПУЪВıМЛ˜ВТН‡fl ‚УБПУКМУТЪ¸ ЛТНО˛˜ВМЛfl В„ВМВ ‡- ˆЛЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ ФУТОВ Т˜ЛЪ˚‚‡МЛfl. йМ‡ ТУТЪУЛЪ ‚ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В Б‡ФУПЛМ‡˛˘ВИ fl˜ВИНЛ ейи-Ъ ‡МБЛТЪУ ‡ Т ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ФОВМ-

НУИ Н‡Н ФУ‰Б‡Ъ‚У М˚П ‰Л˝ОВНЪ ЛНУП. еУКМУ УЪПВЪЛЪ¸ Б‰ВТ¸ КВ, ˜ЪУ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜В- ТНЛı ФОВМУН ‚ Н‡˜ВТЪ‚В ФУ‰Б‡Ъ‚У МУ„У ‰Л˝ОВНЪ ЛН‡ ‚ ибл ФУБ‚УОflВЪ ТУБ‰‡Ъ¸ ‡М‡ОУ„У‚˚В Ф УˆВТТУ ˚ МУ‚У„У ЪЛФ‡. еВМflfl Б‡ Т˜ВЪ ЛБПВМВМЛИ ОУН‡О¸МУИ ФУОfl ЛБ‡ˆЛЛ ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚И ВО¸ВЩ, ‚ НУЪУ УП ФВ-ВПВ˘‡˛ЪТfl Б‡ fl‰˚ ‚ ибл, ПУКМУ Ф У„ ‡ППМУ ЫФ-‡‚ОflЪ¸ ФУЪУН‡ПЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ. й·‡ ЪЛФ‡ ПЛН У- ТıВП ЛПВ˛Ъ ‚˚ТУНЫ˛ ТЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ, МУ ‰Оfl Лı ТВ ЛИМУИ В‡ОЛБ‡ˆЛЛ МВУ·ıУ‰ЛПУ У·ВТФВ˜ЛЪ¸ МВ- У·˚˜‡ИМУ ‚˚ТУНУВ Л НУМЪ УОЛ ЫВПУВ Н‡˜ВТЪ‚У „ ‡- МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ ЛН – ФУОЫФ У‚У‰МЛН. щЪ‡ Б‡‰‡˜‡ ‰У ТЛı ФУ МВ ФУОЫ˜ЛО‡ МЛ ЪВУ ВЪЛ˜ВТНУ- „У, МЛ Ф ‡НЪЛ˜ВТНУ„У В¯ВМЛfl.

ЗТВ ‡ТТПУЪ ВММ˚В ‚˚¯В ‚‡ Л‡МЪ˚ ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛfl ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФОВМУН ‚ ПЛН УТıВП‡ı Ф‡ПflЪЛ МВ Ъ В·Ы˛Ъ ‚˚ıУ‰‡ Б‡ Ф В‰ВО˚ ТЪ‡М‰‡ ЪМУИ ФО‡М‡ МУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ, ФУ˝ЪУПЫ, ВТЪВТЪ‚ВММУ, М‡ МЛı ‡ТФ УТЪ ‡Мfl˛ЪТfl ‚ТВ У„ ‡МЛ˜ВМЛfl, Ф ЛТЫ˘ЛВ ˝ЪУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ. д Лı ˜ЛТОЫ ‚ ФВ ‚Ы˛ У˜В В‰¸ УЪМУТflЪТfl У„ ‡МЛ˜ВМЛfl ФУ ПЛМЛП‡О¸М˚П ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛП ‡БПВ ‡П Л ‚В УflЪМУТЪflП УЪН‡Б‡ ˝ОВПВМЪ‡, У·ЫТОУ‚ОЛ‚‡˛˘ЛВ У„ ‡МЛ˜ВМЛfl ФУ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„-‡ˆЛЛ. еЛМЛП‡О¸М˚И ‡БПВ , УФ В‰ВОflВП˚И ‡Б-В¯ВМЛВП ЩУЪУОЛЪУ„ ‡ЩЛЛ, ТУТЪ‡‚ОflВЪ ‚ ОЫ˜¯ВП ТОЫ˜‡В 0,25 ПНП. иУ˝ЪУПЫ ‰‡КВ М‡ У˜ВМ¸ ·УО¸¯УП Н ЛТЪ‡ООВ МВ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ‡БПВ˘ВМУ М‡ПМУ„У ·УОВВ 1 Й·ЛЪ‡ ˝ОВПВМЪУ‚. иУ ПВ В УТЪ‡ ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„-‡ˆЛЛ ‡ТЪВЪ ‚В УflЪМУТЪ¸ ФУfl‚ОВМЛfl ‰ВЩВНЪМ˚ı

иЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНЛИ ЗВ ıМЛИ ˝ОВНЪ У‰ ˝ОВПВМЪ Ф‡ПflЪЛ

(УПЛ˜ВТНУВ М‡„ В‚‡МЛВ)

‡

êËÒ. 3. ‡ – е‡Ъ Лˆ‡ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ˝ОВПВМЪУ‚ Ф‡ПflЪЛ; · – Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ФЛ У˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ ФОВМНЛ снл УЪ ‚ ВПВМЛ.

˝ОВПВМЪУ‚. и Л ТУ‚ ВПВММУП Ы У‚МВ ЪВıМУОУ„ЛЛ ˝ЪУ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ УБМ‡˜‡ВЪ, ˜ЪУ ПЛН УТıВП˚ Т ˜ЛТОУП ˝ОВПВМЪУ‚ ·УОВВ 100 е·ЛЪ ·Ы‰ЫЪ ЛПВЪ¸ У˜ВМ¸ П‡О˚И Ф УˆВМЪ ‚˚ıУ‰‡ „У‰М˚ı. ЗУ ‚ТflНУП ТОЫ˜‡В ПУКМУ Ы‚В ВММУ ЫЪ‚В К‰‡Ъ¸, ˜ЪУ ‚ ‡ПН‡ı ФО‡М‡ - МУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ „Л„‡·ЛЪМ˚И Ф В‰ВО ТЪВФВМЛ ЛМЪВ„-‡ˆЛЛ ‰Оfl ЫТЪ УИТЪ‚ Ф‡ПflЪЛ В‰‚‡ ОЛ ·Ы‰ВЪ Ф ВУ‰УОВМ ‰‡КВ Т ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП „Л„‡·ЛЪМ˚ı ЪУМНЛı ФОВМУН.

й·УИЪЛ ˝ЪУ У„ ‡МЛ˜ВМЛВ ПУКМУ ЪУО¸НУ ФВ ВıУ- ‰УП Н Ъ ВıПВ МУИ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ. З Ф ЛМˆЛФВ ТВ„МВЪУ- ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ ЪУМНЛВ ФОВМНЛ ПУ„ЫЪ ФУБ‚УОЛЪ¸ Л Ъ‡- НУВ. кВ˜¸ ФУИ‰ВЪ У· ‡НЫТЪЛ˜ВТНЛı ОЛМЛflı Б‡‰В КНЛ. к‡ТТПУЪ ЛП ‡НЫТЪЛ˜ВТНЛИ ‚УОМУ‚У‰ (М‡Ф ЛПВ , ‚У- ОУНМУ ЛБ Н‚‡ ˆ‡ ЛОЛ МЛУ·‡Ъ‡ ОЛЪЛfl), М‡ ЪУ ˆ˚ НУЪУ-У„У М‡МВТВМ˚ ТВ„МВЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ ТОУЛ. ЦТОЛ У‰ЛМ ЛБ ˝ЪЛı ТОУВ‚ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В „ВМВ ‡- ЪУ ‡ ЫО¸Ъ ‡Б‚ЫНУ‚˚ı НУОВ·‡МЛИ, ‡ ‰ Ы„УИ – ‚ Н‡˜В- ТЪ‚В Ф ЛВПМЛН‡, ФУОЫ˜ЛП ЫО¸Ъ ‡Б‚ЫНУ‚Ы˛ ОЛМЛ˛ Б‡‰В КНЛ ( ЛТ. 4‡). нВУ ВЪЛ˜ВТНЛВ УˆВМНЛ ТНУ УТЪЛ, ‰ЛТФВ ТЛЛ Л Б‡ЪЫı‡МЛfl ЫО¸Ъ ‡Б‚ЫН‡, ‡ Ъ‡НКВ ˝НТФВ-ЛПВМЪ‡О¸М˚В ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ, ˜ЪУ ‚ Ъ‡- НУИ ОЛМЛЛ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛ Б‡ФЛТ‡М ‰УТЪ‡-

è·ÒÚË̇ Si

лщ-ФВ В‰‡Ъ˜ЛН/ Ф ЛВПМЛН

êËÒ. 4. лıВП‡ЪЛ˜ВТНЛВ Ф ЛПВ ˚ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl ‡НЫТЪЛ˜ВТНУИ ‚УОМУ‚У‰МУИ ОЛМЛЛ Б‡‰В КНЛ ‰Оfl ТУБ‰‡МЛfl ‰УО„У‚ ВПВММУИ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ Ф‡ПflЪЛ. б‡П˚Н‡МЛВ У‰МУИ (‡) Ë ‰‚Ûı (·) ОЛМЛИ ‰Оfl ТУБ‰‡- МЛfl ˝ОВПВМЪ‡ Ф‡ПflЪЛ, ‚ – ЫТОУ‚МУВ Ф В‰ТЪ‡‚ОВМЛВ ЛМЪВ„ ‡О¸МУИ ТıВП˚ Ъ ВıПВ МУИ Ф‡ПflЪЛ.

ЪУ˜МУ ·УО¸¯УИ У·˙ВП ЛМЩУ П‡ˆЛЛ. з‡Ф ЛПВ , Ф Л ‰ОЛМВ Ъ ‡НЪ‡ 1 П Л ˜‡ТЪУЪВ Б‚ЫН‡ 109 Ɉ Ó·˙ÂÏ Á‡ÔË- Ò‡ÌÌÓÈ ËÌÙÓ Ï‡ˆËË ÒÓÒÚ‡‚ÎflÂÚ 100 Í·ËÚ, ‡ ‚ ÂÏfl Ô ‰‡˜Ë ‰‡ÌÌ˚ı <10−3 c. лОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ, У‰М‡ ЛОЛ МВТНУО¸НУ Ъ‡НЛı ОЛМЛИ, ТУВ‰ЛМВММ˚В ‚ НУО¸ˆУ, У·-‡БЫ˛Ъ ˝ОВПВМЪ ‰УО„У‚ ВПВММУИ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ Ф‡- ПflЪЛ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ВИ ВПНУТЪЛ ( ЛТ. 4·).

й·˙В‰ЛМВМЛВ Ъ‡НЛı ˝ОВПВМЪУ‚ ФУБ‚УОflВЪ ‚ Ф ЛМˆЛФВ ТУБ‰‡Ъ¸ Ъ ВıПВ М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ Ф‡ПflЪЛ У˜ВМ¸ ·УО¸¯УИ ВПНУТЪЛ. СВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ, ВТОЛ ‚УБ- ·Ы‰ЛЪВОЛ Л Ф ЛВПМЛНЛ ЫО¸Ъ ‡Б‚ЫН‡ ЛМЪВ„ Л У‚‡Ъ¸ ‚ ПЛН УТıВПЫ Л ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ФЫ˜УН ‚УОУНУМ, ЪУ В‡ОЛБЫВЪТfl ПЛН УТıВП‡ ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ Ф‡ПflЪЛ ( ЛТ. 4‚). лЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ЪУ ˆВ‚˚ı ПЛН УТıВП ПУКВЪ ·˚Ъ¸ У·ВТФВ˜ВМ‡ М‡ Ы У‚МВ 106, ЪУ„‰‡ У·˘ЛИ У·˙ВП Ф‡ПflЪЛ ЫТЪ УИТЪ‚‡ ТУТЪ‡‚ЛЪ 100 Й·ЛЪ. ьТМУ, ˜ЪУ ˝ЪУ ‰‡ОВНУ МВ Ф В‰ВО! м‚ВОЛ˜Л‚‡fl ТЪВФВМ¸ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ Ф ЛВПУФВ В‰‡˛˘Лı ПЛН УТıВП Л ФОУЪМУТЪ¸ Б‡ФЛТЛ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ ‚ ОЛМЛЛ, ПУКМУ Ы‚ВОЛ˜ЛЪ¸ У·˙ВП Ф‡- ПflЪЛ ‰У 1014 ·ЛЪ Л ·УОВВ. ЦТЪВТЪ‚ВММУ, М‡ Ф ‡НЪЛНВ Ф Л‰ВЪТfl ЛТН‡Ъ¸ ТФУТУ·˚ ЫТЪ ‡МВМЛfl ‚Б‡ЛПУ‚ОЛflМЛfl Н‡М‡ОУ‚, МУ ‰‡КВ Ъ‡Н‡fl Ф У·ОВП‡ ПУКВЪ УН‡- Б‡Ъ¸Тfl ‰‡ОВНУ МВ Т‡ПУИ ТОУКМУИ! иУ М‡¯ВПЫ ПМВМЛ˛, ‰‡ММУВ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ‡·УЪ ·Ы‰ВЪ ‚ВТ¸П‡ ФВ ТФВНЪЛ‚М˚П ЫКВ ‚ ·ОЛК‡И¯ВП ·Ы‰Ы˘ВП.

аМЪВ„ ‡О¸М‡fl ‡НЫТЪУ˝ОВНЪ УМЛН‡ Ф В‰УТЪ‡‚ОflВЪ В˘В Л ‚УБПУКМУТЪ¸ ТУБ‰‡МЛfl Ф‡ ‡ООВО¸М˚ı Ф УˆВТТУ М˚ı ТЛТЪВП „Л„‡МЪТНУИ ПУ˘МУТЪЛ. иУТНУО¸НЫ ‚ ОЛМЛЛ Б‡‰В КНЛ В‡ОЛБЫВЪТfl ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛИ Ф ЛМˆЛФ ı ‡МВМЛfl ЛМЩУ П‡ˆЛЛ, Ф УıУ‰fl˘ЛИ ˜В ВБ Ф Л- ВПУФВ В‰‡Ъ˜ЛНЛ ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚И ФУЪУН УН‡Б˚‚‡- ВЪТfl ФУТЪУflММУ ‰УТЪЫФМ˚П ‰Оfl ПУ‰ЛЩЛН‡ˆЛЛ ЛОЛ ФВ В‡‰ ВТ‡ˆЛЛ. н‡НЛП У· ‡БУП, ЫТОУКМЛ‚ НУМТЪ-ЫНˆЛ˛ ЪУ ˆВ‚˚ı Ф ЛВПУФВ В‰‡˛˘Лı Н ЛТЪ‡ООУ‚, П˚ ПУКВП ТУБ‰‡Ъ¸ Ф‡ ‡ООВО¸М˚И Ф УˆВТТУ , У· ‡- ·‡Ъ˚‚‡˛˘ЛИ ФУЪУН 1015 ·ЛЪ/Т Ф Л Ъ‡НЪУ‚УИ ˜‡ТЪУЪВ 109 Йˆ, ˜ЪУ ‚ ПЛООЛУМ ‡Б Ф В‚УТıУ‰ЛЪ Ф УЛБ‚У‰Л- ЪВО¸МУТЪ¸ У·˚˜М˚ı Ф УˆВТТУ М˚ı ПЛН УТıВП!

ЕВТТФУ МУ, ТУБ‰‡МЛВ Ъ‡НЛı ЫТЪ УИТЪ‚ – ‰ВОУ ·Ы- ‰Ы˘В„У. Ц˘В Ф В‰ТЪУЛЪ В¯ЛЪ¸ ПМУКВТЪ‚У ЪВıМУОУ- „Л˜ВТНЛı, ТıВПУЪВıМЛ˜ВТНЛı Л ‰ Ы„Лı Б‡‰‡˜. й‰М‡НУ ‚ ЪУИ ЛОЛ ЛМУИ ТЪВФВМЛ ‚ТВ ˝ЪЛ Ф У·ОВП˚ flТМ˚, Л Лı Ф ВУ‰УОВМЛВ Н‡КВЪТfl ‚ФУОМВ В‡ОЛТЪЛ˜М˚П. н ВıПВ М˚В ‡НЫТЪУ˝ОВНЪ УММ˚В ЫТЪ УИТЪ‚‡ УЪН ˚‚‡˛Ъ ФЫЪ¸ Н ТУБ‰‡МЛ˛ ПУ˘М˚ı ТЛТЪВП ЪЛФ‡ МВИ УНУПФ¸˛- ЪВ М˚ı, ФУ У·˙ВПЫ Ф‡ПflЪЛ Л Ф УЛБ‚У‰ЛЪВО¸МУТЪЛ Ф Л·ОЛК‡˛˘ЛıТfl Н ‚УБПУКМУТЪflП ˜ВОУ‚В˜ВТНУ„У ПУБ„‡. АО¸ЪВ М‡ЪЛ‚МУИ ˝ОВПВМЪМУИ ·‡Б˚ ‰Оfl ТУБ‰‡- МЛfl ЫТЪ УИТЪ‚ Ъ‡НУ„У НО‡ТТ‡ ‚ М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl МВ ‚Л‰МУ.

ЕО‡„У‰‡ fl ЪУМНЛП ФОВМН‡П ‡НЪЛ‚М˚ı ‰Л˝ОВНЪ-ЛНУ‚ Ф ЛУ· ВОУ МУ‚˚И ЛПФЫО¸Т В˘В У‰МУ ‚‡КМУВ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ – ПЛН У˝ОВНЪ УПВı‡МЛ˜ВТНЛВ ТЛТЪВ- П˚ (MEMS), – У·˙В‰ЛМfl˛˘ВВ ТЛТЪВП˚, ФУОЫ˜‡В- П˚В ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ ФУОМУИ ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ‡БМУ„У У‰‡ ТВМТУ У‚, ‡НЪ˛‡ЪУ У‚, ТФВˆЛ‡О¸М˚ı ЫФ ‡‚Оfl˛˘Лı ˝ОВНЪ УММ˚ı ТıВП Л Ъ.Ф. Т Ъ ‡‰ЛˆЛУММ˚ПЛ ЛМЪВ„-‡О¸М˚ПЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ПЛ ТıВП‡ПЛ.

ЪВО¸МУИ У· ‡·УЪНЛ ЛБУ· ‡КВМЛИ ‚ ТЛТЪВП‡ı УФЪЛ- ˜ВТНУ„У Л ад-‰Л‡Ф‡БУМУ‚.

дУМВ˜МУ, ‚ТВ ТН‡Б‡ММУВ ‰‡ОВНУ МВ ЛТ˜В Ф˚‚‡ВЪ ПМУ„УУ· ‡БЛfl ЩЛБЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚ Л ‚УБПУКМ˚ı Ф ЛПВМВМЛИ ФОВМУН ‡НЪЛ‚М˚ı ‰Л˝ОВНЪ ЛНУ‚ Л ТЪ ЫНЪЫ М‡ Лı УТМУ‚В. З М‡Ы˜МУИ ОЛЪВ ‡ЪЫ В ФУ- fl‚ЛОТfl ‰‡КВ МУ‚˚И ЪВ ПЛМ – “ЫПМ˚В ‰Л˝ОВНЪ ЛНЛ”, ˜ЪУ Ф ВН ‡ТМУ ФВ В‰‡ВЪ ТП˚ТО Ф У·ОВП˚. л‚УИТЪ‚‡ ЪУМНЛı ФОВМУН ‚У ПМУ„УП УЪОЛ˜М˚ УЪ Т‚УИТЪ‚ П‡ТТЛ‚М˚ı У· ‡БˆУ‚ ЪУ„У КВ ТУТЪ‡‚‡, ФУ˝ЪУПЫ ˝Щ- ЩВНЪЛ‚МУВ Ф ЛПВМВМЛВ ФОВМУН Т‚flБ‡МУ Т ‰УФУОМЛЪВО¸М˚П ЛБЫ˜ВМЛВП Лı ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛı Л ПВı‡МЛ˜ВТНЛı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН. к‡Б ‡·УЪН‡ ЪВıМУОУ- „ЛЛ ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП, В‡ОЛБЫ˛˘Лı ЩЫМНˆЛЛ ˝ОВНЪ УММУИ, УФЪЛ˜ВТНУИ, ‡НЫТЪЛ˜ВТНУИ Л ПВı‡МЛ- ˜ВТНУИ У· ‡·УЪНЛ Л Ф ВУ· ‡БУ‚‡МЛfl ЛМЩУ П‡ˆЛЛ, Ф В‰ФУО‡„‡ВЪ Ф ВК‰В ‚ТВ„У ЛБЫ˜ВМЛВ Ъ‡НЛı Т‚УИТЪ‚ ФОВМУН, Н‡Н УТЪ‡ЪУ˜М˚В М‡Ф flКВМЛfl, ‡‰„ВБЛfl, ТЪ ЫНЪЫ ‡, ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Лfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪflı ‡Б‰ВО‡, В- ‡НˆЛfl М‡ Ъ ‡‚ОВМЛВ, УО¸ Л ФУ‚В‰ВМЛВ Ф ЛПВТВИ Л ‰ВЩВНЪУ‚, ЪВ ПЛ˜ВТНЛВ М‡Ф flКВМЛfl, ‚ОЛflМЛВ ‡- ‰ЛУ‡НЪЛ‚МУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl Л ПМУ„Лı ‰ Ы„Лı Щ‡НЪУ У‚. б‡ Н‡К‰˚П ФУМflЪЛВП ТН ˚‚‡ВЪТfl УЪ‰ВО¸М‡fl Ы‚ОВН‡- ЪВО¸М‡fl ЪВП‡.

ганЦкДнмкД

1.êÂÁ à.ë., èÓÔ·‚ÍÓ û.å. ÑË˝ÎÂÍÚ ËÍË. å.: ꇉËÓ Ë Ò‚flÁ¸, 1989.

2.Ň ÙÛÚ ÑÊ., í˝ÈÎÓ ÑÊ. èÓÎfl Ì˚ ‰Ë˝ÎÂÍÚ ËÍË. å.: åË , 1981.

3.ã‡ÈÌÒ å., É·ÒÒ А. ë„ÌÂÚÓ˝ÎÂÍÚ ËÍË Ë Ó‰ÒÚ‚ÂÌÌ˚ χÚ ˇÎ˚. å.: åË , 1981.

4.ëÚ ÛÍÓ‚ Å.А. ë„ÌÂÚÓ˝ÎÂÍÚ Ë˜ÂÒÚ‚Ó. å.: ç‡Û͇, 1979.

5.Scott J.F., Paz De Araujo, McMillan L.D. Integrated Ferroelectrics // Condensed Matter News. 1992. V. 1. ‹ 3. P. 16 – 20.

6.Swartz S.L., Wood V.E. Ferroelectric Thin Films // Ibid. ‹ 5. P. 4 – 13.

7.Microelectronic Engineering / P.K. Larsen, G.J.M. Dormans. Eds. 1995. V. 29.

8.Ferroelectric Thin Films. NATO ASI Series (E), 1995. V. 284.

* * *

АОВНТ‡М‰ лВ „ВВ‚Л˜ лЛ„У‚, ‰УНЪУ ЩЛБЛНУ- П‡ЪВП‡ЪЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, Ф УЩВТТУ , Б‡‚. Н‡ЩВ‰ УИ “щОВНЪ УМЛН‡ НУМ‰ВМТЛ У‚‡ММ˚ı Т В‰”, ‰ВН‡М Щ‡- НЫО¸ЪВЪ‡ ˝ОВНЪ УМЛНЛ еУТНУ‚ТНУ„У „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММУ„У ЛМТЪЛЪЫЪ‡ ‡‰ЛУЪВıМЛНЛ, ˝ОВНЪ УМЛНЛ Л ‡‚ЪУ- П‡ЪЛНЛ (ЪВıМЛ˜ВТНУ„У ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ‡). й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ ВТУ‚: ЩЛБЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ Н ЛТЪ‡О- ОУ‚ Т ‰ВЩВНЪ‡ПЛ Л ПМУ„УТОУИМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ , ‡НЪЛ‚- М˚В ‰Л˝ОВНЪ ЛНЛ. А‚ЪУ ‰‚Ыı ПУМУ„ ‡ЩЛИ, fl‰‡ У·- БУ У‚ Л ·УОВВ 170 М‡Ы˜М˚ı ТЪ‡ЪВИ.