Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Ezhovskii

©ÖÊÓ‚ÒÍËÈ û.ä., 2000

ФУ‚В ıМУТЪЛ Н‡Н ·УОВВ ‡НЪЛ‚МУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЫ˘В- ТЪ‚ВММУ ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ.

ийЗЦкпзйлнъ.

зЦдйнйкхЦ лЗйвлнЗА йЕцЦднйЗ

иУ‰ ЪВ ПЛМ‡ПЛ “ФУ‚В ıМУТЪ¸” ЛОЛ “ПВКЩ‡БМ‡fl „ ‡МЛ- ˆ‡” У·˚˜МУ ФУМЛП‡˛Ъ ТОУИ ‚В˘ВТЪ‚‡ НУМВ˜МУИ ЪУО˘Л- М˚, ‡Б‰ВОfl˛˘ЛИ ‡БОЛ˜М˚В У·˙ВПМ˚В Щ‡Б˚. Ц„У ЪУО- ˘ЛМ‡ УФ В‰ВОflВЪТfl ЪВПЛ НУМН ВЪМ˚ПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ, НУЪУ ˚В ЛБЫ˜‡˛ЪТfl Л ТУТЪ‡‚ОflВЪ, Н‡Н Ф ‡‚ЛОУ, МВТНУО¸- НУ ‡ЪУПМ˚ı ТОУВ‚ ‚В˘ВТЪ‚‡. зВТПУЪ fl М‡ ЪУ ˜ЪУ Ф Л ‡М‡ОЛБВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı fl‚ОВМЛИ У·˚˜МУ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ПУ‰ВО¸ У‰МУ У‰МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ, ‰‡КВ ‚ ТОЫ˜‡В М‡Л·У- ОВВ ТУ‚В ¯ВММ˚ı Н ЛТЪ‡ООУ‚ ФУ‚В ıМУТЪ¸ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl ТЛО¸МУ МВУ‰МУ У‰МУИ ФУ ТЪ ЫНЪЫ М˚П, ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП Л ıЛПЛ˜ВТНЛП Т‚УИТЪ‚‡П. лУ‚ ВПВММ˚В ПВЪУ‰˚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ФУБ‚УОЛОЛ ЫТЪ‡МУ‚ЛЪ¸, ˜ЪУ М‡ ПВКЩ‡БМ˚ı „ ‡МЛˆ‡ı ‰‡КВ М‡Л·УОВВ Н‡˜ВТЪ‚ВММ˚ı Н ВПМЛВ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ ФУПЛПУ ЪУ˜В˜М˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ М‡·О˛‰‡˛ЪТfl ТЪ ЫНЪЫ М˚В П‡Н У‰ВЩВНЪ˚ ‚ ‚Л‰В НО‡ТЪВ У‚ – МВ- ·УО¸¯Лı ТНУФОВМЛИ ‡ЪУПУ‚ Si Л ПУОВНЫО SiO2 , ‰ Ы„Лı ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚ı ПУОВНЫО, ıЛПЛ˜ВТНЛı „ ЫФФЛ У‚УН Т ОУН‡О¸М˚ПЛ НУМˆВМЪ ‡ˆЛflПЛ, БМ‡˜ЛЪВО¸МУ Ф В‚УТıУ- ‰fl˘ЛПЛ Т В‰МЛВ ‚ВОЛ˜ЛМ˚ ФУ ‚ТВИ ФУ‚В ıМУТЪЛ. мН‡- Б‡ММ˚В МВУ‰МУ У‰МУТЪЛ Б‡ПВЪМУ ‚ОЛfl˛Ъ М‡ ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛВ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ТЪ ЫНЪЫ .

и Л ФВ ВıУ‰В Н М‡МУУ·˙ВНЪ‡П ЛОЛ ТЛТЪВП‡П, ‚НО˛- ˜‡˛˘ЛП М‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В ТУТЪ‡‚М˚ı ˜‡ТЪВИ, ТЛЪЫ‡ˆЛfl ТЪ‡МУ‚ЛЪТfl В˘В ·УОВВ ТОУКМУИ. ЦТОЛ ‚ТВ ‡Б- ПВ ˚ ТЛТЪВП˚ ЫПВМ¸¯‡˛ЪТfl, ЪУ ˜ЛТОУ ‡ЪУПУ‚ ‚ Ф ЛФУ- ‚В ıМУТЪМУП ТОУВ (Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВПУИ S-Щ‡БВ) ТЪ‡МУ‚ЛЪТfl ТУЛБПВ ЛПУ Т НУОЛ˜ВТЪ‚УП ‡ЪУПУ‚ ‚ УТЪ‡О¸МУП У·˙ВПВ (V-Щ‡БВ) Л ЛБ‚ВТЪМ˚В ı‡ ‡НЪВ М˚В Т‚УИТЪ‚‡ V-Щ‡Б˚ ТЫ- ˘ВТЪ‚ВММУ ЛБПВМfl˛ЪТfl. щЪЛ ЛБПВМВМЛfl У·˚˜МУ М‡Б˚- ‚‡˛Ъ ‡БПВ М˚ПЛ ˝ЩЩВНЪ‡ПЛ. йМЛ ПУ„ЫЪ ЛПВЪ¸ ‡Б- ОЛ˜МЫ˛ Ф Л У‰Ы. лЪ ЫНЪЫ М˚В ˝ЩЩВНЪ˚ Ф Уfl‚Оfl˛ЪТfl ‚ ‚Л‰В ЛБПВМВМЛfl ПВК‡ЪУПМ˚ı ‡ТТЪУflМЛИ, ФВ ВТЪ УИНЛ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‚ФОУЪ¸ ‰У ФВ ВıУ‰‡ ‚ ‡ПУ ЩМУВ ТУТЪУflМЛВ, Ф Л ıЛПЛ˜ВТНЛı ˝ЩЩВНЪ‡ı ЛБПВМflВЪТfl ТЪВıЛУПВЪ Л˜ВТНЛИ ТУТЪ‡‚ ‚В˘ВТЪ‚‡. з‡Л·УОВВ fl НУ М‡·О˛‰‡˛ЪТfl МВНУЪУ ˚В ЩЛБЛ˜ВТНЛВ ‡БПВ М˚В ˝ЩЩВНЪ˚: ЛБПВМВМЛВ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ ФО‡‚ОВМЛfl, ВБНУВ ЛБПВМВМЛВ ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚. З Н‡˜ВТЪ‚В Ф Л- ПВ ‡ ПУКМУ Ф Л‚ВТЪЛ У·М‡ ЫКВММ˚И ‚ 1959 „У‰Ы ˝ЩЩВНЪ ФУМЛКВМЛfl ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ ФО‡‚ОВМЛfl О¸‰‡ ‚ ТЫ·ПЛН УМ- М˚ı ФУ ‡ı SiO2 Л ТЫ˘ВТЪ‚У‚‡МЛВ КЛ‰НУИ, ЪУ˜МВВ, Н‚‡- БЛКЛ‰НУИ ФУ‰‚ЛКМУИ ФОВМНЛ ‚У‰˚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ О¸‰‡ Ф Л ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı БМ‡˜ЛЪВО¸МУ МЛКВ ЪВПФВ ‡ЪЫ ФО‡‚ОВМЛfl У·˙ВПМУИ Щ‡Б˚ ( ЛТ. 1) [4]. нУО˘ЛМ‡ МВБ‡- ПВ Б‡˛˘В„У ТОУfl ‚У‰˚ ЫПВМ¸¯‡О‡Т¸ Т ФУМЛКВМЛВП ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚, УТЪ‡‚‡flТ¸ М‡ Ы У‚МВ МВТНУО¸НЛı М‡МУПВ- Ъ У‚ Л Ф Л У˜ВМ¸ МЛБНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı. АМ‡ОУ„Л˜М˚В ˝ЩЩВНЪ˚ ·˚ОЛ У·М‡ ЫКВМ˚ ‰Оfl ‡ППЛ‡Н‡ Л МВНУЪУ ˚ı

d, ÌÏ

10

243 253 263 TÔÎ = 273 K

êËÒ. 1. ᇂЛТЛПУТЪ¸ ЪУО˘ЛМ˚ МВБ‡ПВ Б‡˛˘ВИ Щ‡- Б˚ ‚У‰˚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ О¸‰‡ (1) Ë ‚ ÔÓ ‡ı SiO2 (2) [2]

ПВЪ‡ООУ‚. й·˙flТМfl˛ЪТfl УМЛ М‡ Ы¯ВМЛВП ЛОЛ ‰‡КВ ‡Б-Ы¯ВМЛВП Т‚flБВИ ПВК‰Ы ‡ЪУП‡ПЛ ЛОЛ ПУОВНЫО‡ПЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л Лı ФУ‚˚¯ВММУИ ФУ‰‚ЛКМУТЪ¸˛. иУ ТЫЪЛ ‰ВО‡, ˝ЪУ ‚ЪУ Л˜МУВ Ф Уfl‚ОВМЛВ ТЪ ЫНЪЫ М˚ı ˝ЩЩВНЪУ‚, НУ„‰‡ ‚˚ТУН‡fl ‰ВЩВНЪМУТЪ¸ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ Щ‡Б˚ У·ОВ„˜‡ВЪ Щ‡БУ‚˚И ФВ ВıУ‰ Н ЛТЪ‡ОО–КЛ‰НУТЪ¸. З ФУ-‡ı ‰ЛУНТЛ‰‡ Н ВПМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl ‰ВЩВНЪМУТЪ¸ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ Щ‡Б˚ ·О‡„У‰‡ fl ‚ОЛflМЛ˛ П‡Ъ Лˆ˚ ‚˚ ‡КВМ‡ ПВМ¸¯В, ˜ЪУ Л У·˙flТМflВЪ ‡БМ˚И ıУ‰ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ М‡ ЛТ. 1 ‰Оfl О¸‰‡ Л ФУ SiO2 .

ЗОЛflМЛВ ФУ‚В ıМУТЪЛ М‡ У·˙ВП ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ Т ЫПВМ¸- ¯ВМЛВП ‡БПВ У‚ ˜‡ТЪЛˆ. оУО¸ПВ В˘В ‚ 1939 „У‰Ы ЫТЪ‡- МУ‚ЛО, ˜ЪУ ‰Оfl П‡ОУИ ТЩВ Л˜ВТНУИ ˜‡ТЪЛˆ˚ Т ‡‰ЛЫТУП r ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФО‡‚ОВМЛfl ír ФУМЛК‡ВЪТfl Б‡ Т˜ВЪ ТУБ‰‡МЛfl ФУ‚˚¯ВММУ„У ‰‡‚ОВМЛfl Ф‡ ‡ М‡‰ ЛТН Л‚ОВММУИ ‚˚ФЫНОУИ ФУ‚В ıМУТЪ¸˛:

2σVm

Tr = T exp ------------- ,

Qr

„‰Â í – ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФО‡‚ОВМЛfl “П‡ТТЛ‚МУ„У” П‡ЪВ Л‡- О‡, σ – Ы‰ВО¸М‡fl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl ˝МВ „Лfl „ ‡МЛˆ˚ ‡Б- ‰ВО‡, Vm – ПУОВНЫОfl М˚И У·˙ВП Ъ‚В ‰УИ Щ‡Б˚, Q – ПУО¸М‡fl ЪВФОУЪ‡ ФО‡‚ОВМЛfl. н‡Н‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ У·˙flТМflВЪТfl ЪВП, ˜ЪУ Ф Л П‡ОУП ‡‰ЛЫТВ Н Л‚ЛБМ˚ М‡ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ЛПВВЪТfl ·УО¸¯УВ НУОЛ˜ВТЪ‚У ‡ЪУПУ‚ Т ПВМ¸- ¯ЛП НУУ ‰ЛМ‡ˆЛУММ˚П ˜ЛТОУП (ЪУ ВТЪ¸ НУОЛ˜ВТЪ‚УП Т‚flБВИ), ˜ВП ‚ У·˙ВПВ, ˜ЪУ ФУ‚˚¯‡ВЪ Лı ФУ‰‚ЛКМУТЪ¸ ‚ФОУЪ¸ ‰У ТФУТУ·МУТЪЛ ФВ ВıУ‰ЛЪ¸ ‚ „‡БУ‚Ы˛ Щ‡БЫ. щЪУ У·ОВ„˜‡ВЪ ‡Б Ы¯ВМЛВ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНЛ Л ТФУТУ·ТЪ‚ЫВЪ ФО‡‚ОВМЛ˛ П‡ЪВ Л‡О‡.

лОВ‰ЫВЪ Ъ‡НКВ УЪПВЪЛЪ¸, ˜ЪУ ‰Оfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ Т М‡МУПВЪ Л˜ВТНЛПЛ ‡БПВ ‡ПЛ М‡Ф flКВММУТЪЛ ОУН‡О¸М˚ı ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФУОВИ Ф Л·ОЛК‡˛ЪТfl Н ‚МЫЪ Л‡ЪУПМ˚П ФУОflП (Ö 108–109 З/ТП), НУ„‰‡ М‡˜Л- М‡˛Ъ Ф Уfl‚ОflЪ¸Тfl ˝ЩЩВНЪ˚ ЛБПВМВМЛfl ˝ОВНЪ УММУБУММУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Л ˝ОВНЪ УММУ-НУОВ·‡ЪВО¸М˚ı ТУТЪУflМЛИ. щЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ТЫ˘ВТЪ‚ВММУПЫ ЛБПВМВМЛ˛ МВНУЪУ ˚ı ‚‡КМ˚ı ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚, М‡Ф ЛПВ

˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ‚УТФ ЛЛП˜Л‚УТЪЛ, ПВı‡МЛ˜ВТНУИ ‰В- ЩУ П‡ˆЛЛ У·˙ВП‡ Ъ‚В ‰УЪВО¸МУИ П‡Ъ Лˆ˚ – Ъ‡Н М‡Б˚- ‚‡ВП˚И У· ‡ЪМ˚И Ф¸ВБУ˝ЩЩВНЪ, У·М‡ ЫКВММ˚И М‡ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ZnO Л CdS. З МВНУЪУ ˚ı ФОВМН‡ı, М‡Ф ЛПВ VO2 , М‡·О˛‰‡ВЪТfl ‰‡КВ Щ‡БУ‚˚И ФВ ВıУ‰ ФУОЫФ У‚У‰- МЛН–ПВЪ‡ОО. з‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚ У·О‡‰‡˛Ъ Л ‰ Ы„ЛПЛ ТФВˆЛЩЛ˜ВТНЛПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ, НУЪУ ˚В ПУ„ЫЪ Ф Уfl‚ОflЪ¸Тfl Ф Л Лı ‚УБ·ЫК‰ВМЛЛ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛПЛ, П‡„МЛЪМ˚ПЛ Л‡‰Л‡ˆЛУММ˚ПЛ ФУОflПЛ.

З ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚ ЛМЪВМТЛ‚МУ ЛТТОВ‰Ы˛Ъ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В М‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚, ФУТНУО¸НЫ Т Лı Ф ЛПВМВМЛВП ПУКМУ ТУБ‰‡‚‡Ъ¸ МУ‚˚В ˝ОВНЪ УММ˚В Ф Л·У ˚, Ф ЛМˆЛФ˚ ‡·УЪ˚ НУЪУ ˚ı УТМУ‚‡М˚ М‡ Н‚‡МЪУ‚˚ı ˝ЩЩВНЪ‡ı. з‡Л·УОВВ ЛМЪВ ВТМ˚ПЛ УН‡Б‡ОЛТ¸ Т‚В ıТЪ ЫНЪЫ ˚ ЛОЛ Т‚В ı В¯ВЪНЛ – ФВ ЛУ‰Л˜ВТНЛВ ФОВМУ˜М˚В ТЛТЪВП˚ Т ЪУО˘ЛМ‡ПЛ ТОУВ‚ УЪ 1 ‰У 100 МП, ТЛМЪВБЛ ЫВП˚В М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ П‡Ъ Лˆ˚.

лЗЦкпкЦтЦнда

а‰Вfl ТУБ‰‡МЛfl ЛТНЫТТЪ‚ВММ˚ı ФВ ЛУ‰Л˜ВТНЛı ТЪ ЫНЪЫ ЛОЛ Т‚В ı В¯ВЪУН Т ФВ ЛУ‰УП ‚ МВТНУО¸НУ М‡МУПВЪ У‚ Б‡ У‰ЛО‡Т¸ Ф Л ЛБЫ˜ВМЛЛ ВБУМ‡МТМУ„У ЪЫММВОЛ У‚‡- МЛfl ˜В ВБ ‰‚УИМ˚В Л ·УОВВ ТОУКМ˚В ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚В ·‡ ¸В ˚ Л Ф Л ФУЛТНВ МУ‚˚ı У·˙ВНЪУ‚, У·О‡‰‡˛˘Лı УЪ-Лˆ‡ЪВО¸М˚П ‰ЛЩЩВ ВМˆЛ‡О¸М˚П ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВП, ЪУ ВТЪ¸ Ъ‡НЛı У·˙ВНЪУ‚, ‚ НУЪУ ˚ı М‡ МВНУЪУ УП Ы˜‡ТЪНВ ‚УО¸Ъ-‡ПФВ МУИ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ ‚ВОЛ˜ЛМ‡ ЪУН‡ ЫПВМ¸- ¯‡ВЪТfl Т УТЪУП М‡Ф flКВМЛfl. йМЛ Ф Л„У‰М˚ ‰Оfl ТУБ‰‡-

èÓ‰ÎÓÊ͇ GaAs

i p i n

·

d

èÓ‰ÎÓÊ͇ GaAs

Ga1–xAlxAs

МЛfl „ВМВ ‡ЪУ ‡ Т‚В ı‚˚ТУНУ˜‡ТЪУЪМ˚ı НУОВ·‡МЛИ. щЪ‡ Л‰Вfl ‚ФВ ‚˚В ·˚О‡ ‚˚ТН‡Б‡М‡ г.З. дВО‰˚¯ВП В˘В ‚ 1962 „У‰Ы.

ЦТОЛ ı‡ ‡НЪВ М˚В ‡БПВ ˚ (ФВ ЛУ‰˚ Т‚В ı В¯ВЪНЛ) ·Ы‰ЫЪ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ П‡О˚ПЛ, ПВМ¸¯ЛПЛ, ˜ВП ‰ОЛМ‡ Т‚У·У‰МУ„У Ф У·В„‡ ˝ОВНЪ УМУ‚, ЪУ Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ ФУ˜ЪЛ Л‰В‡О¸М˚ı „ ‡МЛˆ ‚Тfl ˝ОВНЪ УММ‡fl ТЛТЪВП‡ ФВ ВИ‰ВЪ ‚ Н‚‡МЪУ‚˚И ВКЛП Т УТУ·˚ПЛ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН‡ПЛ. СОflВ‡ОЛБ‡ˆЛЛ Ъ В·ЫВПУИ ЛТНЫТТЪ‚ВММУИ ФВ ЛУ‰Л˜МУТЪЛ ·˚ОЛ Ф В‰ОУКВМ˚ ‰‚‡ ЪЛФ‡ Т‚В ı В¯ВЪУН: Т‚В ı В¯ВЪНЛ Т ФВ ВПВММ˚П ОВ„Л У‚‡МЛВП, ‚ НУЪУ ˚ı ФВ ЛУ‰Л˜- МУТЪ¸ Ф‡ ‡ПВЪ У‚ ТУБ‰‡ВЪТfl ‚‚В‰ВМЛВП МВ·УО¸¯У„У НУОЛ˜ВТЪ‚‡ Ф ЛПВТЛ ‚ ЫБНЛВ, ТЪ У„У У„ ‡МЛ˜ВММ˚В ˜‡ТЪЛ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚, Л Т‚В ı В¯ВЪНЛ Т ФВ В- ПВММ˚П ТУТЪ‡‚УП, ‚ НУЪУ ˚ı ˜В В‰Ы˛ЪТfl ЪУМНЛВ ТОУЛ П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ‡БОЛ˜МУ„У ТУТЪ‡‚‡. иУТОВ‰М˛˛ М‡Б˚‚‡˛Ъ НУПФУБЛˆЛУММУИ Т‚В ı В¯ВЪНУИ. лıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЛБУ- · ‡КВМЛВ Л БУММ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‰‚Ыı ˝ЪЛı ‚Л‰У‚ ФУН‡Б‡- М˚ М‡ ЛТ. 2.

л‚В ı В¯ВЪНЛ Т ФВ ВПВММ˚П ОВ„Л У‚‡МЛВП ЛОЛ ni- pi-ТЪ ЫНЪЫ ˚ Ф В‰ТЪ‡‚Оfl˛Ъ ТУ·УИ МУ‚˚И ЪЛФ ЛТНЫТТЪ- ‚ВММ˚ı ФВ ЛУ‰Л˜ВТНЛı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ Т ЫФ ‡‚ОflВПУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛВИ МУТЛЪВОВИ Л ЫФ ‡‚ОflВПУИ ¯Л ЛМУИ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚. й‰М‡ ЛБ ФВ ‚˚ı Л ЪЛФЛ˜- М˚ı ТЪ ЫНЪЫ Ъ‡НУ„У ЪЛФ‡ ·˚О‡ ФУОЫ˜ВМ‡ ЛБ ФВ ЛУ‰Л˜В- ТНУИ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪЛ ЪУМНЛı (5–100 МП) ТОУВ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚У„У П‡ЪВ Л‡О‡ ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl GaAs (У·УБМ‡˜‡ВЪТfl Н‡Н ТОУИ i), ÎÂ„Ë Ó‚‡ÌÌ˚ı Si (ÒÎÓÈ n-Ф У- ‚У‰ЛПУТЪЛ) Л Be (ТОУИ p-Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ), ФУН‡Б‡М‡ М‡ЛТ. 2, ‡. иУОВ У·˙ВПМУ„У Б‡ fl‰‡ ЛУМЛБЛ У‚‡ММ˚ı

Ec

EF

Ev

d

GaAs Ga1–xAlxAs GaAs

Ec

Ev

d

Ф ЛПВТВИ, ПВМfl˛˘ВВТfl ‚ М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ ˜В В‰У‚‡МЛfl ˝ЪЛı ТОУВ‚, ТУБ‰‡ВЪ Ф‡ ‡ООВО¸МЫ˛ ФВ ЛУ‰Л˜ВТНЫ˛ ПУ- ‰ЫОflˆЛ˛ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı БУМ ( ЛТ. 2, ‡, Ф ‡‚˚И), Ф Л- ‚У‰fl˘Ы˛ Н МВУ·˚˜М˚П ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП Л УФЪЛ˜ВТНЛП Т‚УИТЪ‚‡П П‡ЪВ Л‡О‡. иВ ЛУ‰Л˜ВТНЛИ ФУЪВМˆЛ‡О ‡Т- ˘ВФОflВЪ БУМЫ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Л ‚‡ОВМЪМЫ˛ БУМЫ М‡ ФУ‰- БУМ˚. л‚В ı В¯ВЪНЛ nipi М‡ УТМУ‚В GaAs ЛПВ˛Ъ МВФ fl- ПЫ˛ ‚ В‡О¸МУП Ф УТЪ ‡МТЪ‚В Б‡Ф В˘ВММЫ˛ БУМЫ Т ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ Л ‰˚ Н‡ПЛ, ‡БМВТВММ˚ПЛ М‡ ФУОУ‚ЛМЫ ФВ ЛУ‰‡ Т‚В ı В¯ВЪНЛ. щЩЩВНЪЛ‚М‡fl ¯Л ЛМ‡ Б‡Ф В- ˘ВММУИ БУМ˚ Л НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl МУТЛЪВОВИ МВ fl‚Оfl˛ЪТfl ЩЛНТЛ У‚‡ММ˚ПЛ, ‡ Б‡‚ЛТflЪ УЪ ЪУО˘ЛМ˚ ТОУВ‚, ТУТЪ‡‚- Оfl˛˘Лı В¯ВЪНЫ, НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОВ„Л Ы˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ Л ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ЫФ ‡‚ОflВП˚ ЛБ‚МВ ‚МВ¯МЛП М‡Ф flКВМЛВП ЛОЛ УФЪЛ˜ВТНЛП ‚УБ·ЫК‰ВМЛВП.

З НУПФУБЛˆЛУММ˚ı Т‚В ı В¯ВЪН‡ı Т НУМЪ‡НЪУП ‰‚Ыı Л ·УОВВ ‡БОЛ˜М˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ Б‡ Т˜ВЪ ‡БМЛˆ˚ Н ЛТЪ‡ООУ„ ‡ЩЛ˜ВТНЛı Ф‡ ‡ПВЪ У‚ М‡ „ ‡МЛˆ‡ı ‚УБМЛ- Н‡ВЪ МВЛБ·ВКМУВ, ıУЪfl ЛМУ„‰‡ Л У˜ВМ¸ П‡ОУВ ‡ТТУ„О‡- ТУ‚‡МЛВ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı В¯ВЪУН. уЪУ·˚ ЛБ·ВК‡Ъ¸ ‰В- ЩВНЪУ‚ Л М‡Ф flКВМЛИ М‡ ˝ЪЛı „ ‡МЛˆ‡ı, ФУ‰·Л ‡˛Ъ Ф‡ ˚ Т ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ıУ У¯ЛП ТУ„О‡ТУ‚‡МЛВП Ф‡ ‡ПВЪ-У‚. й‰М‡НУ ВТОЛ ТОУЛ fl‚Оfl˛ЪТfl ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ЪУМНЛПЛ, ЪУ ‡БОЛ˜ЛВ ‚ Лı ФУТЪУflММ˚ı В¯ВЪНЛ ПУКВЪ НУПФВМТЛ У‚‡Ъ¸Тfl У‰МУ У‰М˚ПЛ ПВı‡МЛ˜ВТНЛПЛ М‡Ф flКВМЛflПЛ. з‡Л·УОВВ Ы‰‡˜МУИ ‰Оfl ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl Ъ‡НЛı ТЪ ЫНЪЫ УН‡Б‡О‡Т¸ Ф‡ ‡ GaAs Л Ъ‚В ‰˚И ‡ТЪ‚У Ga1 − x Alx As, ‚ ÍÓÚÓ ÓÏ ˜‡ÒÚ¸ ‡ÚÓÏÓ‚ „‡ÎÎËfl Á‡Ï¢Â̇ ‡ÚÓχÏË ‡Î˛- ÏËÌËfl (0,15 < x < 0,55). тЛ ЛМ‡ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ У‰МУ„У Л ‰ Ы„У„У ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ ЛПВВЪ ‡БМЫ˛ ‚В- ОЛ˜ЛМЫ, Л ¯Л УНУБУММ˚И П‡ЪВ Л‡О (Ga1 − x Alx As) У„ ‡- МЛ˜Л‚‡ВЪ ‰‚ЛКВМЛВ ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ ЫБНУБУММУП, ТУБ‰‡‚‡fl ‰Оfl МЛı ФУЪВМˆЛ‡О¸МЫ˛ flПЫ ( ЛТ. 2, ·, Ô ‡‚˚È). í‡ÍË ̇ÌÓÒÚ ÛÍÚÛ ˚ ̇Á˚‚‡˛Ú ÒÚ ÛÍÚÛ ‡ÏË Ò Í‚‡ÌÚÓ‚˚ÏË flχÏË (ÒÏ. [1], ‡ ·ÓΠ‰ÂڇθÌÓ Ò‚Â ı ¯ÂÚÍË Ë Ëı Ò‚ÓÈÒÚ‚‡ ÓÔËÒ‡Ì˚ ‚ [5]).

л Т‡ПУ„У М‡˜‡О‡ ТЪ‡ОУ flТМУ, ˜ЪУ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛВ ФУ- ‰У·М˚ı Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ТЪ ЫНЪЫ ЛБ Т‚В ıЪУМНЛı ТОУ- В‚ fl‚ОflВЪТfl МВУ·˚˜‡ИМУ ТОУКМУИ Б‡‰‡˜ВИ. нВП МВ ПВМВВ ˝Ъ‡ Л‰Вfl ‚‰УıМУ‚ЛО‡ ТФВˆЛ‡ОЛТЪУ‚-П‡ЪВ Л‡ОУ‚В‰У‚ Л Ф Л‚ВО‡ Н ‡Б‚ЛЪЛ˛ ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛˘Лı Л ФУfl‚ОВМЛ˛ МУ- ‚˚ı ПВЪУ‰У‚ ЪУМНУФОВМУ˜МУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ. з‡Л·УО¸- ¯ЛИ Ф У„ ВТТ ·˚О ‰УТЪЛ„МЫЪ ‚ ЪВıМУОУ„ЛЛ ˝ФЛЪ‡НТЛ- ‡О¸М˚ı (У ЛВМЪЛ У‚‡ММ˚ı) ФОВМУН М‡МУПВЪ У‚˚ı ЪУО˘ЛМ. лОУКМУТЪ¸ Б‡‰‡˜Л Б‡НО˛˜‡О‡Т¸ ‚ ЪУП, ˜ЪУ ТЫ- ˘ВТЪ‚Ы˛˘ЛВ ‡МВВ ФУ‰ıУ‰˚ Л ПВЪУ‰ЛНЛ ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl ФОВМУ˜М˚ı ТЪ ЫНЪЫ МВ ФУБ‚УОflОЛ ТЛМЪВБЛ У‚‡Ъ¸ ТФОУ¯М˚В ЫО¸Ъ ‡ЪУМНЛВ ТОУЛ, Ъ‡Н Н‡Н Лı ЩУ ПЛ У‚‡- МЛВ УТЫ˘ВТЪ‚ОflОУТ¸ ˜В ВБ ТЪ‡‰Л˛ У· ‡БУ‚‡МЛfl Ъ ВıПВ М˚ı, М‡Ф ЛПВ ТЩВ Л˜ВТНЛı, Б‡ У‰˚¯ВИ, ТОЛflМЛВ НУЪУ ˚ı Л У· ‡БУ‚‡МЛВ ТФОУ¯МУИ ФОВМНЛ Ф УЛТıУ‰ЛОЛ Ф Л ЪУО˘ЛМ‡ı ·УО¸¯В Ъ В·ЫВП˚ı. нУО¸НУ ФУfl‚ОВМЛВ Ъ‡НЛı ПВЪУ‰У‚, Н‡Н ПУОВНЫОfl МУ-ОЫ˜В‚‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl

(егщ), ıЛПЛ˜ВТН‡fl Т·У Н‡ (пл) ЛОЛ ‡ЪУПМУ-ТОУВ‚‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl (Алщ), УТ‡К‰ВМЛВ ЛБ ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ – Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП‡fl ейл-„Л‰ Л‰М‡fl ЪВıМУОУ„Лfl, ФУБ‚УОЛОУ Т ЫТФВıУП В¯ЛЪ¸ ˝ЪЫ Б‡‰‡˜Ы.

еЦнйСх ийгмуЦзаь ийЗЦкпзйлнзхп зАзйлнкмднмк

еУОВНЫОfl МУ-ОЫ˜В‚‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl

еУПВМЪ, НУ„‰‡ В‡ОЛБ‡ˆЛfl МУ‚˚ı Л‰ВИ, Н‡Б‡ОУТ¸, М‡˜Л- М‡ВЪ У„ ‡МЛ˜Л‚‡Ъ¸Тfl Ф В‰ВО¸М˚ПЛ ‚УБПУКМУТЪflПЛ ЪВıМУОУ„ЛЛ, ·˚О ЫТФВ¯МУ Ф ВУ‰УОВМ Т ФУfl‚ОВМЛВП ПВЪУ‰‡ ПУОВНЫОfl МУ-ОЫ˜В‚УИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ (егщ), НУЪУ ˚И Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ВБЫО¸Ъ‡Ъ Щ‡МЪ‡ТЪЛ˜ВТНУ„У ЫТУ‚В - ¯ВМТЪ‚У‚‡МЛfl ТЪ‡ У„У, ¯Л УНУ Ф ЛПВМfl‚¯В„УТfl ‰Оfl ФУОЫ˜ВМЛfl ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН ТФУТУ·‡ – ЛТФ‡ ВМЛfl ‚В˘ВТЪ‚‡ ‚ ‚‡НЫЫПВ. аТФУО¸БУ‚‡МЛВ ˜ЛТЪ˚ı ЛТЪУ˜МЛНУ‚ ЛТФ‡ flВП˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚, Т‚В ı‚˚ТУНЛИ ‚‡НЫЫП, ЪУ˜М˚И НУМЪ УО¸ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ ФУ‰ОУКНЛ, ‡БОЛ˜М˚В ПВЪУ‰˚ ‰Л‡„МУТЪЛНЛ ‡ТЪЫ˘ВИ ФОВМНЛ ‚ ТУ˜ВЪ‡МЛЛ Т НУПФ¸˛ЪВ МУИ ТЛТЪВПУИ ЫФ ‡‚ОВМЛfl Ф‡ ‡ПВЪ ‡ПЛ Ф У- ˆВТТ‡ – ‚ТВ ˝ЪУ, ‚ПВТЪВ ‚БflЪУВ, Ф Л‚ВОУ Н ТУБ‰‡МЛ˛ Н‡- ˜ВТЪ‚ВММУ МУ‚УИ ЪВıМУОУ„ЛЛ, ТФУТУ·МУИ В¯‡Ъ¸ Б‡‰‡- ˜Л, ‡МВВ Н‡Б‡‚¯ЛВТfl МВ‚˚ФУОМЛП˚ПЛ.

и УˆВТТ егщ – ˝ЪУ Ф УˆВТТ ЛТФ‡ ВМЛfl Л НУМ‰ВМТ‡- ˆЛЛ ‚В˘ВТЪ‚‡ ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡НЫЫПВ (ê < 10−9 ПП Ъ. ТЪ.). и У‚У‰flЪ В„У ‚ ТФВˆЛ‡О¸МУИ Н‡ПВ В, ТıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЛБУ· ‡КВМЛВ НУЪУ УИ ФУН‡Б‡МУ М‡ ЛТ. 3 [6]. з‡ОЛ˜ЛВ ‚‡НЫЫПМУ„У ¯О˛Б‡ ФУБ‚УОflВЪ ПВМflЪ¸ ФУ‰ОУКНЛ, ТУı ‡- Мflfl ‚˚ТУНЛИ ‚‡НЫЫП. СОfl ЫПВМ¸¯ВМЛfl ‰‡‚ОВМЛfl УТЪ‡ЪУ˜- М˚ı „‡БУ‚ ‚Тfl Т‚У·У‰М‡fl ФОУ˘‡‰¸ Н‡ПВ ˚ У„ ‡К‰‡ВЪТfl ˝Н ‡М‡ПЛ, УıО‡К‰‡ВП˚ПЛ КЛ‰НЛП ‡БУЪУП. щЩЩЫБЛУМ- М˚В (˝ЩЩЫБЛfl – ПВ‰ОВММУВ ЛТЪВ˜ВМЛВ „‡Б‡ ˜В ВБ П‡ОУВ УЪ‚В ТЪЛВ) ЛТФ‡ ЛЪВО¸М˚В fl˜ВИНЛ ‚˚ФУОМfl˛ЪТfl ЛБ ЪЫ- „УФО‡‚НУ„У П‡ЪВ Л‡О‡, М‡Ф ЛПВ МЛЪ Л‰‡ ·У ‡.

иУТОВ ЪУ„У Н‡Н Н‡ПВ ‡ егщ УЪН‡˜‡М‡, ˝Н ‡М Уı- О‡К‰ВМ КЛ‰НЛП ‡БУЪУП, ‡ ЛТФ‡ ЛЪВОЛ ‚˚‚В‰ВМ˚ М‡ Ъ В- ·ЫВПЫ˛ ЪВПФВ ‡ЪЫ Ы, М‡„ В‚‡ВЪТfl ФУ‰ОУКН‡. СОfl ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl ВВ ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ‰УОКМ‡ ТУТЪ‡‚ОflЪ¸ УНУОУ 600°ë, ‰Îfl Í ÂÏÌËfl – Ì ÌËÊ 850°л. и УˆВТТ УТЪ‡ ТОУВ‚ М‡˜ЛМ‡ВЪТfl Ф Л УЪН ˚ЪЛЛ УТМУ‚МУИ Б‡ТОУМНЛ Л Б‡ТОУМУН ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘Лı ЛТФ‡ ЛЪВОВИ. л‚В ı‚˚ТУНЛИ ‚‡НЫЫП Л П‡О‡fl ТНУ УТЪ¸ ФУТЪЫФОВМЛfl ‡ЪУПУ‚ М‡ ‡ТЪЫ- ˘Ы˛ ФУ‚В ıМУТЪ¸ (Ф ЛПВ МУ 1014–1015 ‡ЪУПУ‚ ‚ ТВНЫМ‰Ы) Ф Л‚У‰flЪ Н ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸МУПЫ УТЪЫ ФОВМУН ФУТ В‰ТЪ‚УП Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ПУМУТОУИМУ„У Б‡ФУОМВМЛfl ‡ТЪЫ˘ВИ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ, У·ВТФВ˜Л‚‡fl ЛТНО˛˜ЛЪВО¸МУ ЪУ˜МУВ ЫФ ‡‚- ОВМЛВ Ф УЩЛОflПЛ ıЛПЛ˜ВТНУ„У ТУТЪ‡‚‡ Л ОВ„Л У‚‡МЛfl. З Ф УˆВТТВ егщ ‚УБПУКВМ МВФУТ В‰ТЪ‚ВММ˚И НУМ- Ъ УО¸ Н‡Н ТУТЪ‡‚‡ „‡БУ‚УИ Щ‡Б˚ (П‡ТТ-ТФВНЪ УПВЪ Лfl), Ъ‡Н Л Ф‡ ‡ПВЪ У‚ ТОУВ‚: Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚ (ПВЪУ‰‡ПЛ ‰ЛЩ ‡НˆЛЛ ·˚ТЪ ˚ı ЛОЛ ПВ‰ОВММ˚ı ˝ОВН- Ъ УМУ‚), ıЛПЛ˜ВТНУ„У ТУТЪ‡‚‡ (УКВ-ТФВНЪ УТНУФЛfl),

5

3 4

9

6 7

10

1

11

êËÒ. 3. лıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЛБУ· ‡КВМЛВ УТЪУ‚УИ Н‡- ПВ ˚ ЫТЪ‡МУ‚НЛ егщ: 1 – ЩОЫУ ВТˆВМЪМ˚И ˝Н ‡М ‰ЛЩ ‡НЪУПВЪ ‡, 2 – Б‡ТОУМНЛ ˝ЩЩЫБЛУММ˚ı ЛТФ‡-ЛЪВО¸М˚ı fl˜ВВН, 3 – ˝ЩЩЫБЛУММ˚В ЛТФ‡ ЛЪВОЛ Т ‚В˘ВТЪ‚УП, 4 – ˝Н ‡М˚ Т ‡БУЪМ˚П УıО‡К‰ВМЛВП, 5 – ˝ОВНЪ УММ‡fl ФЫ¯Н‡ ‰ЛЩ ‡НЪУПВЪ ‡, 6 – УТМУ‚- М‡fl Б‡ТОУМН‡, 7 – ‚ ‡˘‡˛˘ЛИТfl ‰В К‡ЪВО¸ ФУ‰ОУКНЛ, 8 – ЛУМЛБ‡ˆЛУММ˚И ЛМ‰ЛН‡ЪУ , 9 – ¯О˛БУ‚УИ НО‡Ф‡М Т ‚‡НЫЫПМ˚П ¯О˛БУП ‰Оfl ТПВМ˚ У· ‡БˆУ‚, 10 – ÒÏÓÚ Ó‚Ó ÓÍÌÓ, 11 – УТ¸ ‰‚Л„‡ЪВОfl ‰Оfl ‚ ‡˘В- МЛfl ФУ‰ОУКНЛ Л ФЛЪ‡МЛВ М‡„ В‚‡ЪВОfl ФУ‰ОУКНЛ. иЫМНЪЛ УП ФУН‡Б‡М ıУ‰ ˝ОВНЪ УММУ„У ОЫ˜‡ ‰ЛЩ ‡Н- ЪУПВЪ ‡

ЪУО˘ЛМ˚ (˝ООЛФТУПВЪ Лfl), ‰‡Ъ˜ЛНЛ НУЪУ ˚ı ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ФУПВ˘ВМ˚ ‚ ‚˚ТУНУ‚‡НЫЫПМЫ˛ Н‡ПВ Ы ЫТЪ‡МУ‚НЛ. аТФУО¸БУ‚‡МЛВ П‡ТУН ‚ ıУ‰В УТЪ‡ Л “ ЛТУ‚‡МЛВ” ПУОВНЫОfl М˚ПЛ ФЫ˜Н‡ПЛ ФУБ‚УОfl˛Ъ ТУБ‰‡‚‡Ъ¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ Ъ ВıПВ М˚В, ПУМУОЛЪМУ ЛМЪВ„ Л У‚‡ММ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚. й·О‡‰‡fl МВУТФУ ЛП˚ПЛ Ф ВЛПЫ˘ВТЪ‚‡ПЛ, ПВЪУ‰ егщ ЛПВВЪ В‰ЛМТЪ‚ВММ˚И, МУ ‚ВТ¸П‡ ТЫ˘ВТЪ- ‚ВММ˚И МВ‰УТЪ‡ЪУН – ‚˚ТУНЫ˛ ТЪУЛПУТЪ¸, ˜ЪУ ‚˚Б‚‡ОУ ФУЛТН ‡О¸ЪВ М‡ЪЛ‚М˚ı ПВЪУ‰У‚.

Й‡БУЩ‡БМ‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ

й‰МЛП ЛБ ПВЪУ‰У‚ ‡О¸ЪВ М‡ЪЛ‚М˚ı егщ fl‚ЛОТfl ПВЪУ‰ „‡БУЩ‡БМУИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ ЛБ ПВЪ‡ООУУ „‡МЛ˜ВТНЛı ТУВ‰Л- МВМЛИ (Йощ ейл) ЛОЛ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП‡fl ейл-„Л‰ Л‰М‡fl ЪВıМУОУ„Лfl (УТУ·ВММУ ВВ ПУ‰ЛЩЛН‡ˆЛfl Ф Л ФУМЛКВМ- М˚ı ‰‡‚ОВМЛflı). З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ЛТıУ‰М˚В „‡БУУ· ‡БМ˚ВВ‡„ВМЪ˚ ФЛ УОЛЪЛ˜ВТНЛ (ФУ‰ ‰ВИТЪ‚ЛВП ‚˚ТУНУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚) ‡БО‡„‡˛ЪТfl Ы ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ, ‚˚‰В- Оflfl ФОВМНУУ· ‡БЫ˛˘ЛВ НУПФУМВМЪ˚, Ф Л˜ВП ФУ‰ОУК- Н‡ fl‚ОflВЪТfl ·УОВВ М‡„ ВЪ˚П ЪВОУП, ˜ВП УН ЫК‡˛˘‡fl Т В‰‡. и Л ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛЛ ЪУМНЛı ТОУВ‚ ПВЪУ‰УП Йощ ейл НУМЪ УО¸ Ф‡ ‡ПВЪ У‚ ФОВМУН МВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ ‚ Ф УˆВТТВ ТЛМЪВБ‡ МВФ ЛПВМЛП, Ъ‡Н Н‡Н У·˚˜МУ ЛТФУО¸- БЫ˛Ъ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‡„ ВТТЛ‚М˚В „‡БУ‚˚В Т В‰˚. и УˆВТТ Ф У‚У‰flЪ ‚ Ф УЪУ˜МУП ‚‡НЫЫПМУП В‡НЪУ В Ф Л ‰‡‚ОВМЛЛ Ф‡ У‚ НУПФУМВМЪУ‚ 0,1–10 ПП Ъ. ТЪ. лМЛКВМЛВ ‰‡‚ОВМЛfl Л Ы‚ВОЛ˜ВМЛВ ТНУ УТЪЛ „‡БУ‚У„У ФУЪУН‡ ФУБ-

‚УОfl˛Ъ ФУОЫ˜‡Ъ¸ ·УОВВ У‰МУ У‰М˚В ТОУЛ Т НУМЪ УОВП ЪУО˘ЛМ˚ ‰У МВТНУО¸НЛı ‡М„ТЪ ВП. аТıУ‰М˚ПЛ НУПФУМВМЪ‡ПЛ У·˚˜МУ ТОЫК‡Ъ ПВЪЛО¸М˚В, ˝ЪЛО¸М˚В Л ЛБУ·Ы- ЪЛО¸М˚В ТУВ‰ЛМВМЛfl ПВЪ‡ООУ‚, ‡ Ъ‡НКВ „Л‰ Л‰˚ МВНУЪУ ˚ı ˝ОВПВМЪУ‚.

З Н‡˜ВТЪ‚В Ф ЛПВ ‡ ПУКМУ Ф Л‚ВТЪЛ ıЛПЛ˜ВТНЛВВ‡НˆЛЛ, Ф УЪВН‡˛˘ЛВ Ы ФУ‚В ıМУТЪЛ Ф Л ФУОЫ˜ВМЛЛ ЪУМНЛı ТОУВ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ АIIIÇV :

Ga(CH3)3 + AsH3 GaAs + 3CH4 ,

In(C2H5)3 + PH3 InP + 3C2H6 лПВ¯Л‚‡fl ЛТıУ‰М˚В НУПФУМВМЪ˚ ‚ „‡БУ‚УИ Щ‡БВ ‚ УФ-В‰ВОВММ˚ı Ф УФУ ˆЛflı ТЛМЪВБЛ Ы˛Ъ ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸М˚В ФОВМНЛ Ъ‚В ‰˚ı ‡ТЪ‚У У‚:

(1 − ı)Ga(CH3)3 + xAl(CH3)3 + AsH3

Ga1 − x Alx As + 3CH4

СУ·‡‚Оflfl ‚ „‡БУ‚Ы˛ Щ‡БЫ МВ·УО¸¯ЛВ НУОЛ˜ВТЪ‚‡ ОВ„НУОВЪЫ˜ВИ Ф ЛПВТЛ ФУОЫ˜‡˛Ъ ОВ„Л У‚‡ММ˚В ˝ФЛЪ‡Н- ТЛ‡О¸М˚В ТОУЛ.

ейл-„Л‰ Л‰М‡fl ЪВıМУОУ„Лfl, ЫТФВ¯МУ НУМНЫ Л Ыfl Т егщ Т‚УВИ Ф УТЪУЪУИ Л Ф УЛБ‚У‰ЛЪВО¸МУТЪ¸˛, У·О‡‰‡ВЪ МВТНУО¸НУ ıЫ‰¯ВИ ‚УТФ УЛБ‚У‰ЛПУТЪ¸˛ Л ‰‡ВЪ ·УОВВ‡ТФО˚‚˜‡Ъ˚В Ф УЩЛОЛ ЛБПВМВМЛfl ТУТЪ‡‚‡ Л ОВ„Л У‚‡- МЛfl. щЪУ У·ЫТОУ‚ОВМУ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП Н‡Н Т ‡‚МЛЪВО¸- МУ ‚˚ТУНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ФУ‰ОУКНЛ, Ъ‡Н Л ‰ОЛЪВО¸М˚П ‚ ВПВМВП ТЛМЪВБ‡.

пЛПЛ˜ВТН‡fl Т·У Н‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı М‡МУТЪ ЫНЪЫ

еВЪУ‰ ıЛПЛ˜ВТНУИ Т·У НЛ (пл) Л В„У ‡БМУ‚Л‰МУТЪЛ – ПВЪУ‰ ПУОВНЫОfl МУ„У М‡ТО‡Л‚‡МЛfl (ез) Л ‡ЪУПМУТОУВ‚‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl (Алщ) – fl‚ЛОЛТ¸ ВБЫО¸Ъ‡ЪУП ФУЛТН‡ Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸МУ МУ‚˚ı ПВЪУ‰У‚ ТЛМЪВБ‡ ЫО¸Ъ ‡ЪУМНЛı ТОУВ‚. йМЛ УТМУ‚‡М˚ М‡ У· ‡БУ‚‡МЛЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ıЛПЛ˜ВТНЛı ТУВ‰ЛМВМЛИ Ф Л ıВПУТУ ·ˆЛЛ НУПФУМВМЪУ‚ ЛБ „‡БУ‚УИ Щ‡Б˚ Л fl‚Оfl˛ЪТfl МУ‚˚ПЛ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡В- П˚ПЛ ˆЛНОЛ˜МУ-‰ЛТН ВЪМ˚ПЛ Ф УˆВТТ‡ПЛ. ЕО‡„У‰‡ fl ‚УБПУКМУТЪЛ В‡ОЛБУ‚‡Ъ¸ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ПУМУТОУИМЫ˛ ıВПУТУ ·ˆЛ˛ НУПФУМВМЪУ‚ ЩУ ПЛ У‚‡МЛВ Н ЛТЪ‡ООЛ- ˜ВТНЛı ТЪ ЫНЪЫ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ФУ ТОУВ‚УПЫ ПВı‡МЛБПЫ, ЪУ ВТЪ¸ ·ВБ У· ‡БУ‚‡МЛfl Ъ ВıПВ М˚ı Б‡ У‰˚¯ВИ. щЪУ ФУБ- ‚УОflВЪ ФУОЫ˜‡Ъ¸ ТФОУ¯М˚В ФОВМНЛ Ф Л ЪУО˘ЛМ‡ı ‚ МВТНУО¸НУ ПУМУТОУВ‚ ‚В˘ВТЪ‚‡ (ПВМВВ 1 МП). аТФУО¸БЫ˛Ъ ˝ЪУЪ ПВЪУ‰ ‚ УТМУ‚МУП ‰Оfl ТЛМЪВБ‡ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ·Л- М‡ М˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ.

З ПВЪУ‰В ез (ТП. [5]) Ф В‰ЫТПУЪ ВМУ М‡ОЛ˜ЛВ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ П‡Ъ Лˆ˚ УФ В‰ВОВММ˚ı ЩЫМНˆЛУМ‡О¸- М˚ı „ ЫФФ, НУЪУ ˚В ТФУТУ·М˚ В‡„Л У‚‡Ъ¸ Т МЛБНУПУОВНЫОfl М˚П В‡„ВМЪУП Т У· ‡БУ‚‡МЛВП ЫТЪУИ˜Л‚У„У ТУВ‰ЛМВМЛfl. иУТОВ‰МВВ Ъ‡НКВ ‰УОКМУ У·О‡‰‡Ъ¸ ‡НЪЛ‚- М˚ПЛ „ ЫФФ‡ПЛ, ТФУТУ·М˚ПЛ Н ‰‡О¸МВИ¯ЛП ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚ЛflП. н‡НЛП У· ‡БУП, ·О‡„У‰‡ fl ТВ ЛЛ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸- М˚ı ıЛПЛ˜ВТНЛı В‡НˆЛИ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl М‡ ‡˘Л‚‡МЛВ

ТОУВ‚ ТЪ ЫНЪЫ М˚ı В‰ЛМЛˆ Б‡‰‡ММУ„У ТУТЪ‡‚‡. йТМУ‚- М‡fl УТУ·ВММУТЪ¸ пл Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ЪУП, ˜ЪУ Ф УˆВТТ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ТОУfl НУМЪ УОЛ ЫВЪТfl МВ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛНУИ Щ‡БУ‚˚ı ФВ ВıУ‰У‚, ‡ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛНУИ П‡Н У В‡- „ВМЪУ‚ ıЛПЛ˜ВТНЛı В‡НˆЛИ Л Ф У‚В‰ВМЛВ В‡НˆЛИ ‚ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЫТОУ‚Лflı Ф Л‚У‰ЛЪ Н ЫТЪУИ˜Л‚УТЪЛ ТЛМЪВБЛ ЫВПУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚. зВ ‡‚МУ‚ВТМУТЪ¸ Ф УˆВТТ‡ ОВ„НУ ‰УТЪЛ„‡ВЪТfl БМ‡˜ЛЪВО¸М˚П ЛБ·˚ЪНУП В‡„ВМЪ‡ Л ·˚ТЪ УЪУИ Ы‰‡ОВМЛfl „‡БУУ· ‡БМ˚ı Ф У‰ЫНЪУ‚ В‡НˆЛЛ. С‡ММ˚И ПВЪУ‰ ФУБ‚УОflВЪ ТЛМЪВБЛ У‚‡Ъ¸ М‡МУ- Л ПЛН-УТЪ ЫНЪЫ ˚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰˚ı ‚В˘ВТЪ‚ ФЫЪВП ПМУ„УН ‡ЪМУ„У ˜В В‰У‚‡МЛfl ıЛПЛ˜ВТНЛı В‡НˆЛИ ФУ Б‡‰‡ММУИ Ф У„ ‡ППВ. нУО˘ЛМ‡ У· ‡БЫ˛˘В„УТfl ТОУfl УФ В‰ВОflВЪТfl МВ ‚ ВПВМВП ТЛМЪВБ‡ ЛОЛ ЛМЪВМТЛ‚МУТ- Ъ¸˛ ФУЪУН‡ ‚В˘ВТЪ‚‡, ‡ НУОЛ˜ВТЪ‚УП ФУ‚ЪУ fl˛˘ЛıТflВ‡НˆЛУММ˚ı ˆЛНОУ‚. ЕО‡„У‰‡ fl П‡ОУИ ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ- ‚‡ˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı В‡НˆЛИ пл У·˚˜МУ Ф У‚У‰flЪ Ф Л ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ МЛБНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı (25–400°л), ˜ЪУ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ТМЛК‡ВЪ ‚ОЛflМЛВ ‰ЛЩЩЫБЛУММ˚ı Ф УˆВТТУ‚ Л ФУБ‚УОflВЪ ФУОЫ˜‡Ъ¸ ПМУ„УТОУИМ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ ТВБНЛПЛ „ ‡МЛˆ‡ПЛ. СОfl Ф В‰УЪ‚ ‡˘ВМЛfl ЩЛБЛ˜ВТНУИ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ ЛТıУ‰М˚ı В‡„ВМЪУ‚ А Л З ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФУ‰ОУКНЛ íS ‰УОКМ‡ Ы‰У‚ОВЪ‚У flЪ¸ ТУУЪМУ¯ВМЛ˛

íА ,íÇ < íS < íAB , ‚ ÍÓÚÓ ÓÏ íА , íÇ , íAB – Н ЛЪЛ˜ВТНЛВ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ НУПФУМВМЪУ‚ А, З Л ТУВ‰Л-

ÌÂÌËfl АÇ ÒÓÓÚ‚ÂÚÒÚ‚ÂÌÌÓ.

д‡Н ЫКВ УЪПВ˜‡ОУТ¸, ‰Оfl УТЫ˘ВТЪ‚ОВМЛfl Ф УˆВТТ‡ пл ФУ ПВЪУ‰Ы ез МВУ·ıУ‰ЛПУ ‡НЪЛ‚Л У‚‡Ъ¸ ФУ‚В ı- МУТЪ¸ ЩЫМНˆЛУМ‡О¸М˚ПЛ „ ЫФФ‡ПЛ, НУПФУМВМЪ˚ НУЪУ-˚ı fl‚Оfl˛ЪТfl ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ЛПЛ ТЛМЪВБЛ ЫВПУ„У ТОУfl. н‡Н, „ ЫФФЛ У‚НЛ –йз ЛТФУО¸БЫ˛ЪТfl ‰Оfl ФУОЫ˜ВМЛfl УНТЛ‰М˚ı ТОУВ‚, –SH-ТЫО¸ЩЛ‰М˚ı, –NH-МЛЪ Л‰М˚ı Л Ъ.‰. йМЛ ФУОЫ˜‡˛ЪТfl У· ‡·УЪНУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛПЛ В‡„ВМЪ‡ПЛ – Ф‡ ‡ПЛ з2é, H2S, NH3 . иУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В П‡Ъ Лˆ˚ ТУВ‰ЛМВМЛИ АIIIÇV Ф В‰‚‡-ЛЪВО¸МУ У· ‡·‡Ъ˚‚‡˛Ъ Ф‡ ‡ПЛ „‡ОУ„ВМ‚У‰У У‰‡, ˜ЪУ ФУБ‚УОflВЪ Ы‰‡ОЛЪ¸ УНТЛ‰М˚И ТОУИ Л ‡НЪЛ‚Л У‚‡Ъ¸ ФУ- ‚В ıМУТЪ¸ „‡ОУ„ВМЛ‰М˚ПЛ „ ЫФФЛ У‚Н‡ПЛ. и УˆВТТ ез Ф У‚У‰flЪ ОЛ·У ‚ Ф УЪУ˜МУП В‡НЪУ В Ф Л ‡ЪПУТЩВ МУП ‰‡‚ОВМЛЛ, ОЛ·У ‚ ТЛТЪВПВ Т ФУМЛКВММ˚П ‰‡‚- ОВМЛВП.

З Н‡˜ВТЪ‚В Ф ЛПВ У‚ ПУКМУ Ф Л‚ВТЪЛ В‡НˆЛЛ ‰Оfl ТЛМЪВБ‡ ТОУВ‚.

1. лЛМЪВБ ТЫО¸ЩЛ‰‡ ˆЛМН‡ М‡ „Л‰ УНТЛОЛ У‚‡ММУП

С‡О¸МВИ¯ВВ ˜В В‰У‚‡МЛВ В‡НˆЛИ (·) Л (‚) c Ф УПВКЫЪУ˜М˚П Ы‰‡ОВМЛВП ЛБ·˚ЪН‡ В‡„ВМЪУ‚ Л Ф У‰ЫНЪУ‚ В- ‡НˆЛЛ Ф Л‚У‰ЛЪ Н УТЪЫ ˆЛМНТЫО¸ЩЛ‰МУ„У ТОУfl. з‡ ЛТ.

4, ‡ ФУН‡Б‡МУ ТıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЛБУ· ‡КВМЛВ ˝ЪУ„У Ф У- ˆВТТ‡, Ф УЪВН‡˛˘В„У М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУ‰ОУКНЛ.

2. лЛМЪВБ ТЫО¸ЩЛ‰‡ ˆЛМН‡ М‡ · УПЛ У‚‡ММУИ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl Т ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП ‰ЛПВЪЛОˆЛМН‡:

З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В УТЪ ТОУfl ТЫО¸ЩЛ‰‡ ˆЛМН‡ УТЫ˘ВТЪ‚- ОflВЪТfl ЫКВ Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В ˜В В‰У‚‡МЛВПВ‡НˆЛИ (·) Л (‚). АМ‡ОУ„Л˜МУ (2) ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ФУОЫ˜ВМ˚ ФОВМУ˜М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ GaAs ФУФВ ВПВММУИ У· ‡·УЪНУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰УЪВО¸МУИ П‡Ъ Лˆ˚ Ф‡ ‡ПЛ Ga(CH3)3 Ë AsH3 .

лОВ‰ЫВЪ УЪПВЪЛЪ¸, ˜ЪУ ‚УБПУКМУТЪЛ ıЛПЛ˜ВТНУИ Т·У НЛ ФУ ПВЪУ‰Ы ПУОВНЫОfl МУ„У М‡ТО‡Л‚‡МЛfl Б‡ Т˜ВЪ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı В‡НˆЛИ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ У„ ‡МЛ˜ВМ˚ ‰У- ТЪ‡ЪУ˜МУ ЫБНЛП Н Ы„УП ‚В˘ВТЪ‚ Л МЛБНУИ ТНУ УТЪ¸˛ Ф УˆВТТ‡, Ъ‡Н Н‡Н ОЛПЛЪЛ Ы˛˘ВИ ТЪ‡‰ЛВИ fl‚ОflВЪТfl ТЪ‡‰Лfl Ы‰‡ОВМЛfl Ф У‰ЫНЪУ‚ В‡НˆЛЛ ФУТОВ Н‡К‰У„У ‡Н- Ъ‡ У· ‡·УЪНЛ.

С‡О¸МВИ¯ЛП ‡Б‚ЛЪЛВП ˝ЪУ„У ПВЪУ‰‡ fl‚ЛОТfl ПВЪУ‰ ‡ЪУПМУ-ТОУВ‚УИ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ, ‚ НУЪУ УП пл УТЫ˘ВТЪ‚Оfl- ˛Ъ Б‡ Т˜ВЪ В‡НˆЛИ Ф ЛТУВ‰ЛМВМЛfl М‡ НУУ ‰ЛМ‡ˆЛУММУ МВМ‡Т˚˘ВММ˚ı ‡ЪУП‡ı ФУ‚В ıМУТЪЛ. З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ТЛМЪВБ ФОВМУН УТЫ˘ВТЪ‚Оfl˛Ъ ФУТОУИМУИ ıВПУТУ ·ˆЛВИ НУПФУМВМЪУ‚ ТУВ‰ЛМВМЛfl ЛБ ‡ЪУПМУ-ПУОВНЫОfl М˚ı ФЫ˜НУ‚. и УˆВТТ Ф У‚У‰flЪ ‚ ‚‡НЫЫПВ, Ф Л˜ВП ‰Оfl ТЛМЪВБ‡ ТОУВ‚ ТУВ‰ЛМВМЛfl АЗ ФУ‰ОУКН‡ ФУФВ ВПВММУ ˝НТФУМЛ ЫВЪТfl ‚ ПУОВНЫОfl М˚ı ФУЪУН‡ı НУПФУМВМЪУ‚ А Л З Ф Л ЛТФ‡ ВМЛЛ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘Лı ˝ОВПВМЪУ‚. АФФ‡ ‡- ЪЫ МУВ УЩУ ПОВМЛВ Алщ – ЫФ У˘ВММ˚И ‚‡ Л‡МЪ егщ, Ъ‡Н Н‡Н МВ Ъ В·ЫВЪТfl Т‚В ı‚˚ТУНУ„У ‚‡НЫЫП‡. сЛНОЛ˜- МУТЪ¸ Ф УˆВТТ‡ У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪТfl ФУУ˜В В‰М˚П УЪН ˚ЪЛВП Б‡ТОУМУН ЛТФ‡ ЛЪВО¸М˚ı fl˜ВВН (ТП. ЛТ. 3). нУО˘ЛМ‡ ТОУfl, Н‡Н Л Ф Л ез, УФ В‰ВОflВЪТfl ЪУО¸НУ НУОЛ˜ВТЪ‚УП ˆЛНОУ‚ У· ‡·УЪНЛ ФУ‰ОУКНЛ ФУЪУН‡ПЛ НУПФУМВМЪУ‚ Л ПУКВЪ Б‡‰‡‚‡Ъ¸Тfl Л НУМЪ УОЛ У‚‡Ъ¸Тfl Т Ф В‰ВО¸МУИ ЪУ˜МУТЪ¸˛ – ‰У ‡БПВ У‚ У‰МУ„У ПУМУТОУfl ‚В˘ВТЪ‚‡ ‚ М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ УТЪ‡.

оУ ПЛ У‚‡МЛВ ТОУfl ТЫО¸ЩЛ‰‡ ˆЛМН‡ Ф Л ФУФВ В- ПВММУИ У· ‡·УЪНЛ ФУ‰ОУКНЛ Ф‡ ‡ПЛ ТВ ˚ Л ˆЛМН‡,

Ф В‰ТЪ‡‚ОВММУВ М‡ ЛТ. 4, ·, ПУКМУ Ф В‰ТЪ‡‚ЛЪ¸ ‚ ‚Л‰В Ъ‡НЛı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı В‡НˆЛИ:

èè S

èè S

„‰В и – ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ‡ЪУП˚ ФУ‰ОУКНЛ.

й· ‡БУ‚‡МЛВ ТУВ‰ЛМВМЛfl АЗ Л УТЪ ФОВМНЛ Ф У- ЛТıУ‰flЪ Б‡ Т˜ВЪ В‡НˆЛЛ ПВК‰Ы НУПФУМВМЪ‡ПЛ А Л З ‚ ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММУП ТОУВ, ФУ˝ЪУПЫ ‚‡КМУ, ˜ЪУ·˚ Лı ‡‰- ТУ ·ˆЛfl ·˚О‡ ПУМУПУОВНЫОfl МУИ. щЪЛ ЫТОУ‚Лfl УФ В- ‰ВОfl˛ЪТfl ЪВПФВ ‡ЪЫ УИ ФУ‰ОУКНЛ Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛Ъ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВПУПЫ УНМЫ Алщ ( ЛТ. 5), „‰В ТНУ УТЪ¸ УТЪ‡ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ У‰МУПЫ ПУМУТОУ˛ Б‡ ˆЛНО (Ы˜‡ТЪУН АЗ). нВ ПУ‡НЪЛ‚‡ˆЛ˛ ıВПУТУ ·ˆЛЛ ПУКМУ Б‡ПВМЛЪ¸ ЛОЛ ‰УФУОМЛЪ¸ ‰ Ы„ЛП ‚Л‰УП, М‡Ф ЛПВ ЩУЪУ‡НЪЛ‚‡ˆЛВИ, Л ЪВП Т‡П˚П ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‡Т¯Л ЛЪ¸ У·О‡ТЪ¸ ПУМУТОУИМУ„У УТЪ‡. гВ„Л У‚‡МЛВ ТОУВ‚, Н‡Н Л ‚ Ф В‰˚‰Ы˘Лı ТОЫ˜‡flı, УТЫ˘ВТЪ‚Оfl˛Ъ ‰У·‡‚ОВМЛВП Ф ЛПВТЛ ‚ „‡БУ- ‚Ы˛ Щ‡БЫ.

лОВ‰ЫВЪ УЪПВЪЛЪ¸, ˜ЪУ ıЛПЛ˜ВТН‡fl Т·У Н‡ ‚У ‚ТВı ВВ ‚Л‰‡ı – ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ МЛБНУЪВПФВ ‡ЪЫ М˚И Ф УˆВТТ, ˜ЪУ ФУБ‚УОflВЪ ТЛМЪВБЛ У‚‡Ъ¸ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚ Т ВБНЛПЛ „ ‡МЛˆ‡ПЛ ФУ ТУТЪ‡‚Ы Л ОВ„Л У‚‡МЛ˛. лПВМ‡ В‡„ВМЪ‡ М‡ О˛·УИ ТЪ‡‰ЛЛ Ф УˆВТТ‡ ‚ О˛·УИ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪЛ

‰‡ВЪ ‚УБПУКМУТЪ¸ ·ВБ УТУ·˚ı ЫТЛОЛИ ФУОЫ˜‡Ъ¸ ПМУ„У- ТОУИМ˚В НУПФУБЛˆЛУММ˚В М‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚ Т НУМЪ УОВП ЪУО˘ЛМ˚ ‰У У‰МУ„У ПУМУТОУfl ‚В˘ВТЪ‚‡. зВ‰УТЪ‡ЪН‡ПЛ пл ‚ М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl fl‚Оfl˛ЪТfl У„ ‡МЛ˜ВММ˚И Н Ы„В‡НˆЛУММУТФУТУ·М˚ı ОВ„НУОВЪЫ˜Лı В‡„ВМЪУ‚ Л ТОУКМУТЪ¸ ТУБ‰‡МЛfl ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ У‰МУ У‰МУ ‡НЪЛ‚Л У‚‡ММУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ ‰Оfl В‡ОЛБ‡ˆЛЛ ПУМУТОУИМУ„У ПВı‡МЛБП‡УТЪ‡ ТЪ ЫНЪЫ .

к‡ТТПУЪ ЛП МВТНУО¸НУ Ф ЛПВ У‚, ТОЫК‡˘Лı ЛОО˛- ТЪ ‡ˆЛВИ ЪУ„У, Н‡Н ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ЫМЛН‡О¸М˚ı Т‚УИТЪ‚ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ФУБ‚УОЛОУ ТУБ‰‡Ъ¸ МУ‚˚В ЪЛФ˚ Ф Л·У-У‚, ‡·УЪ‡ НУЪУ ˚ı УТМУ‚‡М‡ М‡ МУ‚˚ı ЩЛБЛ˜ВТНЛı ˝ЩЩВНЪ‡ı. п‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ ˝ЪЛı Ф Л·У У‚ М‡ПМУ„У Ф В‚УТıУ‰flЪ ‚УБПУКМУТЪЛ ‡М‡ОУ„У‚ М‡ У·˚˜М˚ı ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ ‡ı. щЪУ „ВЪВ УО‡БВ ˚ ‰Оfl ТЛТЪВП УФЪЛ˜ВТНУИ Т‚flБЛ М‡ ‰‚УИМУИ „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ В Т ‰‚УИМ˚ПЛ ·‡ ¸В ‡ПЛ М‡ GaAs–Ga1 − x Alx As, ‡·ÓÚ‡˛- ˘Ë ‚ ‰Ë‡Ô‡ÁÓÌ 0,70–0,88 Ë 1,78 ÏÍÏ Ì‡ „ÂÚ ÓÒÚ ÛÍÚÛ- GaSb–Ga1 − x Alx Sb, ·Á ˚ ̇ Ò‚Â ı ¯ÂÚÍÂ Ò Í‚‡ÌÚÓ- ‚˚ÏË flχÏË GaAs–Ga1 − x Alx As. З ФУТОВ‰МВП ТОЫ˜‡В Т‚В ı В¯ВЪН‡ ‰УОКМ‡ ЛПВЪ¸ МВ ПВМВВ ‰ВТflЪЛ ФВ ЛУ‰У‚ Т ЪУО˘ЛМУИ ТОУВ‚ 10–15 МП. аМКВНˆЛУММ˚В О‡БВ ˚ М‡ Т‚В ı В¯ВЪН‡ı Т Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ flП‡ПЛ ЛПВ˛Ъ диС ‰У 60%, У·О‡‰‡˛Ъ МЛБНЛП ФУ У„У‚˚П ЪУНУП Л ЫБНУИ ‰Л‡- „ ‡ППУИ М‡Ф ‡‚ОВММУТЪЛ. СОfl ˝ЪЛı КВ ˆВОВИ ФВ ТФВНЪЛ‚М‡ Т‚В ı В¯ВЪН‡ Т ·УОВВ ТОУКМ˚П ТУТЪ‡‚УП GaAs– (Ga1 − x Alx)yIn1 − y P.

Ç 1982 „Ó‰Û ·˚Î ÒÓÁ‰‡Ì Ô ‚˚È Î‡‚ËÌÌ˚È ÙÓÚÓ‰ËÓ‰ ̇ Ò‚Â ı ¯ÂÚÍ GaAs–Ga1 − x Alx As (ı = 0,55), У·О‡‰‡˛- ˘ЛИ ˝ЩЩВНЪУП ЩУЪУЫПМУКЛЪВОfl, ‡ ФУБ‰МВВ Л ФУОВ‚УИ Ъ ‡МБЛТЪУ Т ПУ‰ЫОЛ У‚‡ММ˚П ОВ„Л У‚‡МЛВП, НУЪУ ˚И

êËÒ. 5. мТОУ‚Лfl УТЪ‡ ТОУВ‚ ‚ Алщ-Ф УˆВТТВ. L1 – У·О‡ТЪ¸ ФУОЛПУОВНЫОfl МУИ ТУ ·ˆЛЛ В‡„ВМЪУ‚ (ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ МВ‰УТЪ‡ЪУ˜М‡ ‰Оfl ‰ВТУ ·ˆЛЛ ЩЛБЛ˜В- ТНЛ ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚ı НУПФУМВМЪУ‚); L2 – ЪВПФВ ‡- ЪЫ ‡ МВ‰УТЪ‡ЪУ˜М‡ ‰Оfl ‡НЪЛ‚Л У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ В‡НˆЛЛ ıВПУТУ ·ˆЛЛ НУПФУМВМЪУ‚); з1 – МВКВ- О‡ЪВО¸МУВ ‡БОУКВМЛВ ЛТıУ‰МУ„У НУПФУМВМЪ‡ Л НУМ‰ВМТ‡ˆЛfl Ф У‰ЫНЪУ‚ М‡ У· ‡БУ‚‡‚¯ВПТfl ПУМУТОУВ; з2 – Ф ВУ·О‡‰‡МЛВ ‰ВТУ ·ˆЛЛ НУПФУМВМЪУ‚ Л Ф У‰ЫНЪУ‚ В‡НˆЛЛ

ЛПВО ‚ ВПfl ФВ ВНО˛˜ВМЛfl ‚ТВ„У МВТНУО¸НУ ФЛНУТВНЫМ‰. щЪУ УЪН ˚‚‡ВЪ В‡О¸М˚В ‚УБПУКМУТЪЛ В„У ЛТФУО¸БУ- ‚‡МЛfl ‚ Т‚В ı·˚ТЪ У‰ВИТЪ‚Ы˛˘Лı ‚˚ТУНУ˜‡ТЪУЪМ˚ı ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП‡ı. ЕУОВВ ФУ‰ У·МЫ˛ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ ФУ ‚УФ УТЫ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl Т‚В ı В¯ВЪУН ПУКМУ ФУОЫ- ˜ЛЪ¸ ЛБ [5].

зВ‰‡‚МУ ·О‡„У‰‡ fl ЫМЛН‡О¸М˚П ‚УБПУКМУТЪflП М‡- МУЪВıМУОУ„ЛЛ ·˚О ТУБ‰‡М ПЛН УФУОУТЪМ˚И О‡БВ . аБОЫ˜‡˛˘ЛВ ˝ОВПВМЪ˚ ˝ЪУ„У Н УıУЪМУ„У ЫТЪ УИТЪ‚‡ – ПУОВНЫО˚ ЩОЫУ ВТˆВМЪМУ„У ‚В˘ВТЪ‚‡ Б‡НО˛˜ВМ˚ ‚ ПЛН УТНУФЛ˜ВТНЫ˛ ФУОУТЪ¸ ‚ ТФВˆЛ‡О¸МУ ‚˚ ‡˘ВММУП Н ЛТЪ‡ООВ – ˆВУОЛЪВ М‡ УТМУ‚В ЩУТЩ‡Ъ‡ ‡О˛ПЛМЛfl. йТУ·‡fl ЩУ П‡ ФУОУТЪЛ (ФУ ˚), У·ВТФВ˜Л‚‡˛˘‡fl ФУОМУВ ‚МЫЪ ВММВВ УЪ ‡КВМЛВ Т‚ВЪ‡, ФУБ‚УОflВЪ ТЩУНЫТЛ У‚‡Ъ¸ Л М‡Ф ‡‚ЛЪ¸ ЛТФЫТН‡ВП˚И ПУОВНЫО‡ПЛ Т‚ВЪ. зУ‚‡fl ЪВıМУОУ„Лfl ТУБ‰‡МЛfl ПЛН УТНУФЛ˜ВТНЛı О‡БВ-У‚ ПУКВЪ УН‡Б‡Ъ¸Тfl М‡ТЪУО¸НУ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУИ, ˜ЪУ ЛПВММУ М‡ Лı УТМУ‚В ·Ы‰ЫЪ ТУБ‰‡М˚ ПЛМЛ‡Ъ˛ М˚В ЫТЪ-УИТЪ‚‡ ‰Оfl CD-ФОВИВ У‚ Л НУПФ¸˛ЪВ У‚ ·Ы‰Ы˘В„У.

З Б‡НО˛˜ВМЛВ ТОВ‰ЫВЪ УЪПВЪЛЪ¸ Л Ъ‡НЛВ Ъ ‡‰ЛˆЛУМ- М˚В У·О‡ТЪЛ Ф ЛПВМВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı М‡МУТЪ ЫНЪЫ , Н‡Н ‚˚ТУНУ‰ЛТФВ ТМ˚В ТУ ·ВМЪ˚, Н‡Ъ‡ОЛБ‡ЪУ ˚ Л М‡ФУОМЛЪВОЛ, ‚ НУЪУ ˚ı ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ıЛПЛ˜ВТНУИ Т·У НЛ ‰Оfl ПУ‰ЛЩЛˆЛ У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ Л ‚˚ ‡˘Л- ‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ Б‡‰‡ММУ„У ТУТЪ‡‚‡ Л ТЪ УВМЛfl ФУБ‚УОЛОУ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ЫОЫ˜¯ЛЪ¸ Лı Т‚УИТЪ- ‚‡ Л ФУОЫ˜ЛЪ¸ МУ‚˚В, М‡Ф ЛПВ ‚˚ТУНУТВОВНЪЛ‚М˚В, ТУ ·ВМ˚, МВ„У ˛˜ЛВ ФУОЛПВ М˚В П‡ЪВ Л‡О˚. пЛПЛ˜В- ТН‡fl Т·У Н‡ fl‚ОflВЪТfl У‰МЛП ЛБ УТМУ‚М˚ı ПВЪУ‰У‚ ·Ы - МУ ‡Б‚Л‚‡˛˘ВИТfl М‡МУЪВıМУОУ„ЛЛ, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ ıЛПЛ- ˜ВТНУИ М‡МУЪВıМУОУ„ЛЛ.

ганЦкАнмкА

1.ÑÂÏËıÓ‚ÒÍËÈ Ç.ü. 䂇ÌÚÓ‚˚ flÏ˚, ÌËÚË Ë ÚÓ˜ÍË: óÚÓ ˝ÚÓ Ú‡ÍÓÂ? // ëÓ ÓÒÓ‚ÒÍËÈ é· ‡ÁÓ‚‡ÚÂθÌ˚È ÜÛ Ì‡Î. 1997. ‹ 5. ë. 80–86.

2.òËÍ А.ü. 䂇ÌÚÓ‚˚ ÌËÚË // í‡Ï ÊÂ. ë. 87–92.

3.ÅÂÎfl‚ÒÍËÈ ñ.à. щНТЛЪУМ˚ ‚ МЛБНУ ‡БПВ М˚ı ТЛТЪВП‡ı // н‡П КВ. л. 93–99.

4.ä‚Î˂ˉÁ Ç.à., дЛТВОВ‚ З.о., 쯇ÍÓ‚‡ ã.А. // ÑÓÍÎ. Аç

ëëëê. 1970. í. 191. ë. 1088–1092.

5.ïÂ Ï‡Ì å. иУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В Т‚В ı В¯ВЪНЛ. е.: еЛ , 1989.

6.еУОВНЫОfl ÌÓ-Îۘ‚‡fl ˝ÔËÚ‡ÍÒËfl Ë „ÂÚ ÓÒÚ ÛÍÚÛ ˚: è . Ò ‡Ì„Î. / èÓ‰ ‰. Ü.à. АÎÙ ӂ‡, û.Ç. òχ ˆÂ‚‡. å.: åË , 1989. 582 Ò.

7.å‡Î˚„ËÌ А.А. пЛПЛ˜ВТН‡fl Т·У Н‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰˚ı ЪВО ПВЪУ‰УП ПУОВНЫОfl МУ„У М‡ТО‡Л‚‡МЛfl // лУ УТУ‚ТНЛИ й· ‡БУ- ‚‡ЪВО¸М˚И ЬЫ М‡О. 1998. ‹ 7. л. 58–64.

кВˆВМБВМЪ ТЪ‡Ъ¸Л Å.Ñ. ëÛÏÏ

* * *

ы ЛИ дУМТЪ‡МЪЛМУ‚Л˜ ЦКУ‚ТНЛИ, Н‡М‰Л‰‡Ъ ıЛПЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, ‰УˆВМЪ Н‡ЩВ‰ ˚ ıЛПЛ˜ВТНУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ П‡ЪВ Л- ‡ОУ‚ Л ЛБ‰ВОЛИ ˝ОВНЪ УММУИ ЪВıМЛНЛ л‡МНЪ-иВЪВ ·Ы „- ТНУ„У „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММУ„У ЪВıМУОУ„Л˜ВТНУ„У ЛМТЪЛЪЫЪ‡ (ЪВıМЛ˜ВТНУ„У ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ‡). й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ-ВТУ‚ – ЩЛБЛ˜ВТН‡fl ıЛПЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ, ЪВıМУОУ„Лfl ЪУМНЛı ФОВМУН Л М‡МУЪВıМУОУ„Лfl. А‚ЪУ Л ТУ‡‚ЪУ ·У- ОВВ 90 М‡Ы˜М˚ı ТЪ‡ЪВИ, ˜ВЪ˚ Вı Ы˜В·М˚ı ФУТУ·ЛИ Л ·У- ОВВ 20 ‡‚ЪУ ТНЛı Т‚Л‰ВЪВО¸ТЪ‚ Л Ф‡ЪВМЪУ‚ кУТТЛЛ.