Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Bednyi

© ʼnÌ˚È Å.à., 1998

114

ELECTRON TRAPS ON SEMICONDUCTOR SURFACES

B. I. BEDNYI

Localized electron states arise on the free surfaces interfaces of semiconductors. These states are the traps for electrons and holes. Surface traps cause considerable changes in the electric and optical properties of semiconductors. Some physical effects related to the trapping of charge carriers by the surface and affecting the characteristics of electron devices are considered.

з‡ Т‚У·У‰МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л „ ‡МЛˆ‡ı ‡Б‰ВО‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ ‚УБМЛН‡˛Ъ ОУН‡ОЛБУ‚‡М- М˚В ˝ОВНЪ УММ˚В ТУТЪУflМЛfl – ОУ‚Ы¯НЛ ˝ОВН- Ъ УМУ‚ Л ‰˚ УН. иУ‚В ı- МУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ ТЫ˘В- ТЪ‚ВММУ ЛБПВМfl˛Ъ ˝ОВН- Ъ Л˜ВТНЛВ Л УФЪЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ ФУОЫФ У‚У‰- МЛНУ‚. к‡ТТПУЪ ВМ˚ МВНУЪУ ˚В ЩЛБЛ˜ВТНЛВ ˝ЩЩВНЪ˚, Т‚flБ‡ММ˚В Т Б‡ı‚‡ЪУП МУТЛЪВОВИ Б‡-fl‰‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Л ‚ОЛfl˛˘ЛВ М‡ ı‡ ‡НЪВ Л- ТЪЛНЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ- ‚˚ı Ф Л·У У‚.

щгЦднкйззхЦ гйЗмтда зА ийЗЦкпзйлна ийгмикйЗйСзадйЗ

Е. а. ЕЦСзхв

зЛКВ„У У‰ТНЛИ „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММ˚И ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ ЛП. з.а. гУ·‡˜В‚ТНУ„У

ЗЗЦСЦзаЦ

щОВНЪ УММ˚В Ф УˆВТТ˚, Ф УЪВН‡˛˘ЛВ ‚·ОЛБЛ Т‚У·У‰МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л „ ‡МЛˆ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ Т ПВЪ‡ОО‡ПЛ, ‰Л˝ОВНЪ ЛН‡ПЛ ЛОЛ ‰ Ы„ЛПЛ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡ПЛ, Ф Л‚ОВН‡˛Ъ Ф ЛТЪ‡О¸МУВ Л МВУТО‡·В‚‡- ˛˘ВВ ‚МЛП‡МЛВ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОВИ ЫКВ М‡ Ф УЪflКВМЛЛ 50 ОВЪ – Т ПУПВМЪ‡ Б‡ УК‰ВМЛfl ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ˝ОВНЪ УМЛНЛ. йЪТ˜ВЪ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ˝ ˚ Ф Л- МflЪУ ‚ВТЪЛ УЪ 1948 „У‰‡, НУ„‰‡ ‡ПВ ЛН‡МТНЛВ ЩЛБЛНЛ СК. Е‡ ‰ЛМ, м. Е ‡ЪЪВИМ Л м. тУНОЛ УФЫ·ОЛНУ‚‡ОЛ ЫМЛН‡О¸МУВ ЛБУ· ВЪВМЛВ ‚ВН‡ – ·ЛФУОfl М˚И Ъ ‡М- БЛТЪУ . З 1956 „У‰Ы Б‡ ˝ЪУ ЛБУ· ВЪВМЛВ ЛП ·˚О‡ Ф Л- ТЫК‰ВМ‡ зУ·ВОВ‚ТН‡fl Ф ВПЛfl.

аМЪВ ВТ Н Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМ˚П ˝ОВНЪ УММ˚П Ф У- ˆВТТ‡П У·ЫТОУ‚ОВМ ‚‡КМУИ УТУ·ВММУТЪ¸˛ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚, У НУЪУ УИ, Н ТУК‡ОВМЛ˛, МВ ЫФУПЛМ‡ВЪТfl ‚ ¯НУО¸М˚ı Ы˜В·МЛН‡ı ЩЛБЛНЛ, – ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚П ‚ОЛflМЛВП ТЪ УВМЛfl, ˝ОВНЪ УММУ„У ТУТЪУflМЛfl Л ТФУТУ·У‚ У· ‡·УЪНЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ М‡ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ, ЩУЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ Л УФЪЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚.

йТМУ‚М‡fl Ф Л˜ЛМ‡ ФУ‚˚¯ВММУИ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Н ТУТЪУflМЛ˛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТУТЪУЛЪ ‚ ЪУП, ˜ЪУ ‚ У„ ‡МЛ˜ВММУП Н ЛТЪ‡ООВ ‚УБМЛН‡- ˛Ъ УТУ·˚В ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ Ы У‚МЛ, ОУН‡ОЛБУ‚‡ММ˚В МВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ Ы ФУ‚В ıМУТЪЛ Л Л„ ‡˛˘ЛВ УО¸ ОУ‚Ы¯ВН ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН. з‡ОЛ˜ЛВ Ъ‡НЛı ОУ‚Ы- ¯ВН Ф Л‚У‰ЛЪ Н ЪУПЫ, ˜ЪУ Т‚У·У‰МУ ·ОЫК‰‡˛˘ЛВ ‚ У·˙ВПВ Н ЛТЪ‡ОО‡ ˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ Ф ЛОЛФ‡˛Ъ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ, У· ‡БЫfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚И ˝ОВНЪ УТЪ‡- ЪЛ˜ВТНЛИ Б‡ fl‰. л ˝ЪЛП Б‡ fl‰УП Т‚flБ‡МУ У·˚˜МУ ТЛО¸МУВ ( 105 З/ТП) ˝ОВНЪ Л˜ВТНУВ ФУОВ, Ф УМЛН‡˛- ˘ВВ М‡ МВНУЪУ Ы˛ „ОЫ·ЛМЫ ‚ У·˙ВП ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡

ËН‡ ‰ЛМ‡О¸МУ ЛБПВМfl˛˘ВВ ЫТОУ‚Лfl КЛБМЛ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡, ˜ЪУ Ф Уfl‚ОflВЪТfl ‚У ПМУ„Лı ЩЛБЛ˜ВТНЛı fl‚ОВМЛflı (˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪ¸, ‡·УЪ‡ ‚˚ıУ‰‡, ЩУЪУ˝ЩЩВНЪ˚, О˛ПЛМВТˆВМˆЛfl, НУМЪ‡НЪМ˚В fl‚ОВМЛfl

ˉ .). З Ф ЛНО‡‰МУП УЪМУ¯ВМЛЛ УТУ·ВММУ ‚‡КМУ ЪУ, ˜ЪУ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ ‚У ПМУ„Лı ТОЫ˜‡flı УЪ‚ВЪТЪ‚ВММ˚ Б‡ МВКВО‡ЪВО¸М˚В ЛБПВМВМЛfl ı‡ ‡Н- ЪВ ЛТЪЛН Л МВТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ Ф‡ ‡ПВЪ У‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚ [1].

ä˜ЛТОЫ ‚‡КМ˚ı ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛı Щ‡НЪУ У‚, ТЪЛПЫОЛ Ы˛˘Лı ‡Б‚ЛЪЛВ ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л „ ‡МЛˆ ‡Б‰ВО‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚, УЪМУТЛЪТfl У·˘‡fl

лйкйлйЗлдав йЕкДбйЗДнЦгъзхв ЬмкзДг, ‹7, 1998

ЪВМ‰ВМˆЛfl ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ Н ПЛМЛ‡Ъ˛ ЛБ‡ˆЛЛ Ф Л·У У‚ Л ˝ОВПВМЪУ‚ ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП. иУ ПВ В ЫПВМ¸¯ВМЛfl ‡БПВ ‡ L ‡НЪЛ‚МУ„У ТОУfl ‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚УП Ф Л·У В У·˙ВП ˝ЪУ„У ТОУfl ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl Ф УФУ ˆЛУМ‡О¸МУ L3, ‡ ÔÓ‚Â ıÌÓÒÚ¸ – Ô ÓÔÓ ˆËÓ- ̇θÌÓ L2. щЪУ, ВТЪВТЪ‚ВММУ, Ф Л‚У‰ЛЪ Н Ы‚ВОЛ˜ВМЛ˛ “‚ВТ‡” ФУ‚В ıМУТЪЛ (УЪМУ¯ВМЛВ ФУ‚В ıМУТЪ¸/У·˙ВП ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ Ф УФУ ˆЛУМ‡О¸МУ L−1) Ë Â ‚ÎËflÌËfl ̇ Ó·˙ÂÏÌ˚Â Ô ÓˆÂÒÒ˚.

д УПВ ЪУ„У, ‡ЪУП‡ МУ-˜ЛТЪ˚В ФУ‚В ıМУТЪЛ ЛВБНЛВ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ Ф ЛПВМfl˛ЪТfl Ф Л ТУБ‰‡МЛЛ ЛТНЫТТЪ‚ВММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ПЛН УТЪ ЫНЪЫ , ‚ НУЪУ ˚ı ЛТФУО¸БЫ˛ЪТfl ˝ОВНЪ УММ˚В fl‚ОВМЛfl ‚ Т‚В ıЪУМНЛı (Н‚‡МЪУ‚У ‡БПВ М˚ı) ТОУflı Л Т НУЪУ-˚ПЛ Т‚flБ‡МУ МУ‚УВ Л ˜ ВБ‚˚˜‡ИМУ ФВ ТФВНЪЛ‚МУВ М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ‡Б‚ЛЪЛfl ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ˝ОВН- Ъ УМЛНЛ – М‡МУЪВıМУОУ„Лfl [2].

З ‡ПН‡ı КЫ М‡О¸МУИ ТЪ‡Ъ¸Л Ъ Ы‰МУ Уı‚‡ЪЛЪ¸ ‚ВТ¸ ТФВНЪ Ф У·ОВП, ТЪУfl˘Лı ФВ В‰ ТУ‚ ВПВММУИ ЩЛБЛНУИ Л ЪВıМУОУ„ЛВИ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰- МЛНУ‚. йТЪ‡МУ‚ЛПТfl ОЛ¯¸ М‡ М‡Л·УОВВ ‚‡КМ˚ı Т ЩЛБЛ˜ВТНУИ ЪУ˜НЛ Б ВМЛfl ‚УФ УТ‡ı, Н‡Т‡˛˘ЛıТfl Ф Л У‰˚ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ОУ‚Ы¯ВН Л Ф ЛФУ‚В ıМУТЪ- М˚ı ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚ı ·‡ ¸В У‚, ‡ТТПУЪ ЛП МВНУЪУ-˚В ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ˝ЩЩВНЪ˚, ЛПВ˛˘ЛВ МВФУТ В‰- ТЪ‚ВММУВ УЪМУ¯ВМЛВ Н ‡·УЪВ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚, Л, М‡НУМВˆ, Н ‡ЪНУ У·ТЫ‰ЛП ТУ‚ ВПВММУВ ТУТЪУflМЛВ Ф У·ОВП˚ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ, НУЪУ ‡fl УН‡Б‡О‡Т¸ Н‡ПМВП Ф ВЪНМУ‚ВМЛfl ‰Оfl ЪВıМУОУ- „У‚, Б‡МЛП‡˛˘ЛıТfl ‡Б ‡·УЪНУИ Л ЛБ„УЪУ‚ОВМЛВП Т‚В ıТНУ УТЪМ˚ı Л УФЪУ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф Л·У У‚ [3].

ийЗЦкпзйлнзхЦ лйлнйьзаь

и Л ‰‡О¸МВИ¯ВП ЛБОУКВМЛЛ П‡ЪВ Л‡О‡ ·Ы‰ВП ЛТıУ‰ЛЪ¸ ЛБ ЪУ„У, ˜ЪУ ˜ЛЪ‡ЪВО¸ БМ‡НУП Т ФУМflЪЛВП У· ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı Ы У‚Мflı ‚ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМВ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. з‡ФУПМЛП ОЛ¯¸, ˜ЪУ ˝ЪЛ Ы У‚МЛ УЪ-‡К‡˛Ъ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ ТУТЪУflМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚, Ф У- ТЪ ‡МТЪ‚ВММУ ОУН‡ОЛБУ‚‡ММ˚ı ‚·ОЛБЛ ‡БОЛ˜МУ„УУ‰‡ ТЪ ЫНЪЫ М˚ı М‡ Ы¯ВМЛИ ‚МЫЪ Л ФВ ЛУ‰Л˜ВТНУИ В¯ВЪНЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ (‡ЪУПМ˚В ‚‡Н‡МТЛЛ, ПВКЫБВО¸М˚В ‡ЪУП˚, Ф ЛПВТЛ Л ‰ .). иУТНУО¸НЫ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ЛТЪ‡ОО‡ ВБНУ У· ˚‚‡ВЪТfl ТЫ˘ВТЪ‚Ы- ˛˘ЛИ ‚ В„У У·˙ВПВ ТЪ У„ЛИ ФУ fl‰УН ‚ ‡ТФУОУКВМЛЛ ‡ЪУПУ‚ Л, Н УПВ ЪУ„У, НУ ВММ˚П У· ‡БУП ЛБПВМfl˛Ъ- Тfl ЫТОУ‚Лfl ‰Оfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ıЛПЛ˜ВТНЛı Т‚flБВИ (ıУЪfl ·˚ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ У˜В‚Л‰МУИ Ф Л˜ЛМ˚ – ЛБПВМВМЛfl ˜ЛТО‡ ·ОЛК‡И¯Лı ТУТВ‰ВИ), ТОВ‰ЫВЪ УКЛ‰‡Ъ¸ ФУfl‚ОВМЛfl ‚ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМВ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı Ы У‚МВИ. щЪЛ Ы У‚- МЛ, НУЪУ ˚В У·˚˜МУ М‡Б˚‚‡˛Ъ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ ТУТЪУflМЛflПЛ (ил), ПУКМУ Н‡˜ВТЪ‚ВММУ ЛМЪВ Ф ВЪЛ-У‚‡Ъ¸ Н‡Н У·У ‚‡ММ˚В Т‚flБЛ ЛОЛ МВМ‡Т˚˘ВММ˚В (·УОЪ‡˛˘ЛВТfl) ‚‡ОВМЪМУТЪЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ‡ЪУПУ‚. иУ˝ЪУПЫ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ил NSS ФУ ФУ fl‰НЫ ‚ВОЛ˜Л- М˚ ‰УОКМ‡ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚У‚‡Ъ¸ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ФОУЪМУТЪЛ ‡ЪУПУ‚ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡, ЪУ ВТЪ¸ NSS 1015 ÒÏ−2.

СУ ТЛı ФУ П˚ ЛПВОЛ ‚ ‚Л‰Ы ПУ‰ВО¸ Л‰В‡О¸МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ – „ВУПВЪ Л˜ВТНЫ˛ ФОУТНУТЪ¸, М‡ НУЪУ-УИ ‡ЪУП˚ ЛОЛ ЛУМ˚ ‡ТФУОУКВМ˚ Ъ‡Н КВ, Н‡Н Л М‡ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘Лı Н ЛТЪ‡ООУ„ ‡ЩЛ˜ВТНЛı ФОУТНУТЪflı ‚МЫЪ Л Н ЛТЪ‡ОО‡. кВ‡О¸М‡fl ТЛЪЫ‡ˆЛfl М‡ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl М‡ПМУ„У ТОУКМВВ [3–5]. З˚‰ВОЛП М‡Л·УОВВ ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚В ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В Щ‡НЪУ ˚, НУЪУ ˚В МВУ·ıУ‰ЛПУ Ф ЛМЛП‡Ъ¸ ‚У ‚МЛП‡МЛВ Ф Л ‡М‡ОЛБВ Ф Л˜ЛМ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ил.

1.С‡КВ М‡ ‡ЪУП‡ МУ ˜ЛТЪ˚ı ФУ‚В ıМУТЪflı, ФУОЫ- ˜ВММ˚ı ‚ ЫТОУ‚Лflı Т‚В ı‚˚ТУНУ„У ‚‡НЫЫП‡ Т ФУПУ- ˘¸˛ ТФВˆЛ‡О¸МУИ ЪВıМЛНЛ ТН‡О˚‚‡МЛfl Н ЛТЪ‡ОО‡ ЛОЛ Т Ф ЛПВМВМЛВП ТОУКМ˚ı ПВЪУ‰У‚ У˜ЛТЪНЛ (М‡- Ф ЛПВ , ЛУММ‡fl ·УП·‡ ‰Л У‚Н‡ + ЪВ ПУУ· ‡·УЪН‡), М‡·О˛‰‡˛ЪТfl Ф ЛБМ‡НЛ М‡ Ы¯ВМЛfl ФУ fl‰Н‡: ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚В ‡ЪУП˚ Ф ВЪВ ФВ‚‡˛Ъ УЪМУТЛЪВО¸МУ ·УО¸¯ЛВ ТПВ˘ВМЛfl УЪ Лı ФУОУКВМЛИ, ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы- ˛˘Лı У·˙ВПЫ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡.

2.и Л ФУ‰„УЪУ‚НВ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ФО‡ТЪЛМ

ÍЛБ„УЪУ‚ОВМЛ˛ Ф Л·У ‡ ЛОЛ Ф У‚В‰ВМЛ˛ О‡·У ‡- ЪУ М˚ı ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ Н ЛТЪ‡ОО ФУ‰‚В „‡ВЪТfl ПВı‡- МЛ˜ВТНУИ ( ВБН‡, ¯ОЛЩУ‚Н‡, ФУОЛ У‚Н‡) Л ıЛПЛ˜В- ТНУИ У· ‡·УЪНВ (ТЪ ‡‚ОЛ‚‡МЛВ М‡ Ы¯ВММУ„У ТОУfl, У˜ЛТЪН‡). щЪЛ УФВ ‡ˆЛЛ ‚ ЪУИ ЛОЛ ЛМУИ ТЪВФВМЛ УТ- Ъ‡‚Оfl˛Ъ ТОВ‰˚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ‚ ‚Л‰В ‡‰ТУ ·Л У- ‚‡ММ˚ı Ф ЛПВТВИ Л ТЪ ЫНЪЫ МУ„У ‡БЫФУ fl‰У˜ВМЛfl.

3.З У·˚˜М˚ı ЫТОУ‚Лflı ФУОЫФ У‚У‰МЛН М‡ıУ‰ЛЪТfl ‚ НУМЪ‡НЪВ Т УН ЫК‡˛˘ВИ Т В‰УИ, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ФУН У‚МУИ УНТЛ‰МУИ ФОВМНЛ ЪУО˘Л- МУИ ‰У 3–4 МП Л УТ‡К‰ВМЛ˛ М‡ ‚МВ¯МВИ ФУ‚В ıМУТЪЛ ˝ЪУИ ФОВМНЛ НЛТОУ У‰‡, Ы„ОВ У‰‡, Ф‡ У‚ ‚У‰˚ Л ‰ Ы„Лı Ф ЛПВТВИ.

4.иУ‚В ıМУТЪМ˚В ‰ВЩВНЪ˚ Л ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚В ‡ЪУП˚ ПУ„ЫЪ У·ПВМЛ‚‡Ъ¸Тfl ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ Т ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУП, ‚˚ТЪЫФ‡fl ‚ УОЛ ‰УМУ М˚ı ЛОЛ ‡НˆВФЪУ - М˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ОУ‚Ы¯ВН. иУfl‚ОВМЛВ ‰УМУ М˚ı ˆВМЪ У‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ ТЛЪЫ‡ˆЛЛ, НУ„‰‡ ‰ВЩВНЪ‡П ЛОЛ ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚П ‡ЪУП‡П ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛ ‚˚- „У‰МУ УЪ‰‡‚‡Ъ¸ ˝ОВНЪ УМ˚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНЫ ЛОЛ Б‡- ı‚‡Ъ˚‚‡Ъ¸ ‰˚ НЛ ЛБ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. и Л ˝ЪУП УМЛ Ф В‚ ‡˘‡˛ЪТfl ‚ ФУОУКЛЪВО¸МУ Б‡ flКВММ˚В ЛУМ˚. АНˆВФЪУ М˚В ˆВМЪ ˚ Б‡ı‚‡Ъ˚‚‡˛Ъ ˝ОВНЪ УМ˚ ЛБ У·˙ВП‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡, Л ФУ‚В ıМУТЪ¸ Б‡ flК‡ВЪТfl УЪ Лˆ‡ЪВО¸МУ.

м˜ЛЪ˚‚‡fl ТН‡Б‡ММУВ, ‚Л‰ЛП, ˜ЪУ В‡О¸М‡fl ФУ- ‚В ıМУТЪ¸ ‚ ПЛН УТНУФЛ˜ВТНУП ТП˚ТОВ Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ЪУМНЫ˛, МУ ‚ТВ КВ Ъ ВıПВ МЫ˛ ФВ ВıУ‰МЫ˛ У·О‡ТЪ¸, УЪ‰ВОfl˛˘Ы˛ У·˙ВП ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ УЪ УН-ЫК‡˛˘ВИ Т В‰˚. щЪ‡ У·О‡ТЪ¸ УЪОЛ˜‡ВЪТfl УТУ·˚П ıЛПЛ˜ВТНЛП ТУТЪ‡‚УП Л ФУ‚˚¯ВММ˚П ТУ‰В К‡МЛВП МВНУМЪ УОЛ ЫВП˚ı Ф ЛПВТВИ Л ТЪ ЫНЪЫ М˚ı ‰ВЩВНЪУ‚, НУЪУ ˚В Л fl‚Оfl˛ЪТfl УТМУ‚М˚ПЛ ЛТЪУ˜МЛН‡ПЛ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ˝ОВНЪ УММ˚ı ОУ‚Ы¯ВН. н‡НЛП У· ‡- БУП, ТУı ‡МВМЛВ Б‡ ˝ЪЛПЛ ОУ‚Ы¯Н‡ПЛ М‡Б‚‡МЛfl “ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚В” ‚ БМ‡˜ЛЪВО¸МУИ ТЪВФВМЛ ЫТОУ‚МУВ.

б‡ПВЪЛП, ˜ЪУ ‡‰ТУ ·ˆЛУММ˚В Л УНЛТОЛЪВО¸М˚В Ф УˆВТТ˚ Ф Л‚У‰flЪ Н ЫПВМ¸¯ВМЛ˛ ˜ЛТО‡ У·У ‚‡М- М˚ı Т‚flБВИ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ. иУ˝ЪУПЫ ФУ‚В ıМУТЪ- М‡fl НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ОУ‚Ы¯ВН ‚·ОЛБЛ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛН–УНТЛ‰ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ПВМ¸¯В, ˜ВП ФОУЪМУТЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ‡ЪУПУ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ (М‡ В‡О¸МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ NSS 1012– 1013 ÒÏ−2). ЗПВТЪВ Т ЪВП ‚У ПМУ„Лı ТОЫ˜‡flı ‰Оfl Ф ‡Н- ЪЛ˜ВТНУ„У Ф ЛПВМВМЛfl ‚ Ф Л·У ‡ı Ъ В·ЫВЪТfl, ˜ЪУ·˚ ˜ЛТОУ ‰ВЩВНЪУ‚ М‡ „ ‡МЛˆВ ‡Б‰ВО‡ МВ Ф В‚˚¯‡ОУ1010 ÒÏ−2 (У‰ЛМ ‰ВЩВНЪ М‡ 100 000 ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ‡ЪУПУ‚). д ТУК‡ОВМЛ˛, ‰У М‡ТЪУfl˘В„У ‚ ВПВМЛ ˝Ъ‡ Ф У·ОВП‡ ‰Оfl ·УО¸¯ЛМТЪ‚‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ МВ В¯ВМ‡. мМЛН‡О¸М˚П ЛТНО˛˜ВМЛВП fl‚ОflВЪТfl ТУБ‰‡МЛВ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ·ВБ‰ВЩВНЪМУИ „ ‡- МЛˆ˚ Si–SiO2 . щЪУ У·ТЪУflЪВО¸ТЪ‚У ‚У ПМУ„УП ТФУТУ·ТЪ‚У‚‡ОУ ‡Б‚ЛЪЛ˛ Н ВПМЛВ‚УИ ЪВıМУОУ„ЛЛ Л Ф УП˚¯ОВММУПЫ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛ˛ Si ‚ Н‡˜ВТЪ‚В УТМУ‚МУ„У П‡ЪВ Л‡О‡ ˝ОВНЪ УММУИ ЪВıМЛНЛ [4].

икаийЗЦкпзйлнзхв ийнЦзсаДгъзхв ЕДкъЦк а икйЗйСаейлнъ нйздап ийгмикйЗйСзадйЗхп игЦзйд

бМ‡Н Б‡ fl‰‡, Б‡ı‚‡˜ВММУ„У М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ- ‚Ы¯НЛ, QSS Б‡‚ЛТЛЪ, Т У‰МУИ ТЪУ УМ˚, УЪ ЪУ„У, Н‡НУИ ЪЛФ ОУ‚Ы¯ВН – ‰УМУ М˚И ЛОЛ ‡НˆВФЪУ М˚И – Ф В- У·О‡‰‡ВЪ Л, Т ‰ Ы„УИ – УЪ ТУУЪМУ¯ВМЛfl ПВК‰Ы НУМˆВМЪ ‡ˆЛflПЛ ˝ОВНЪ УМУ‚ n0 Ë ‰˚ ÓÍ p0 ‚ У·˙ВПВ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. ЗУ ПМУ„Лı Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ‚‡КМ˚ı ТОЫ˜‡flı М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ф ЛТЫЪТЪ‚Ы˛Ъ Л ‰УМУ М˚В Л ‡НˆВФЪУ М˚В ОУ‚Ы¯НЛ ‚ Ф Л·ОЛБЛЪВО¸МУ ‡‚М˚ı Л ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚˚ТУНЛı НУМˆВМЪ ‡ˆЛflı. З Т‚flБЛ Т ˝ЪЛП БМ‡Н QSS У·˚˜МУ ТУ‚Ф‡‰‡ВЪ ТУ БМ‡НУП УТМУ‚М˚ı МУТЛЪВОВИ ЪУН‡ ‚ У·˙ВПВ.

к‡ТТПУЪ ЛП ‰Оfl УФ В‰ВОВММУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН n-ÚËÔ‡, ‰ÓÒÚ‡ÚÓ˜ÌÓ ÒËθÌÓ ÎÂ„Ë Ó‚‡ÌÌ˚È ‰ÓÌÓ ÌÓÈ Ô ËÏÂÒ¸˛, Ú‡Í ˜ÚÓ ‚ Â„Ó Ó·˙ÂÏ ‚˚ÔÓÎÌflÂÚÒfl ÛÒÎÓ‚Ë n0 @ p0. З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ОУН‡О¸М‡fl ˝ОВНЪ Л˜ВТН‡fl МВИЪ-‡О¸МУТЪ¸ ‚ У·˙ВПВ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪТfl Ф Л·ОЛКВММ˚П ‡‚ВМТЪ‚УП n0 ≈ N+D (Н‡К‰˚И ‰УМУ ‚˚· ‡Т˚‚‡ВЪ У‰ЛМ ˝ОВНЪ УМ ‚ БУМЫ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡). б‡ı‚‡Ъ Т‚У·У‰М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ Ф Л‚У‰ЛЪ Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ФУ‚В ıМУТЪМУ„У Б‡ fl‰‡ QSS < 0 Л ‡‚МУ„У ВПЫ ФУ ‚ВОЛ- ˜ЛМВ ФУОУКЛЪВО¸МУ„У У·˙ВПМУ„У Б‡ fl‰‡, Т‚flБ‡ММУ„У Т МВТНУПФВМТЛ У‚‡ММ˚ПЛ ‰УМУ ‡ПЛ QSC = N+D w , „‰Â w – ¯Л ЛМ‡ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУИ У·О‡ТЪЛ Ф УТЪ ‡МТЪ- ‚ВММУ„У Б‡ fl‰‡. н‡НЛП У· ‡БУП, ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ‚УБМЛН‡ВЪ ‰‚УИМУИ Б‡ flКВММ˚И ТОУИ, ФУОВ НУЪУ У„У ·Ы‰ВЪ УЪЪ‡ОНЛ‚‡Ъ¸ ˝ОВНЪ УМ˚ ‚ „ОЫ·¸ Н ЛТЪ‡ОО‡. з‡ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУИ ‰Л‡„ ‡ППВ ( ЛТ. 1, ‡) ˝ЪУ УЪУ· ‡К‡- ВЪТfl ‚ ‚Л‰В ЛБ„Л·‡ БУМ, НУЪУ УПЫ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ Ф Л- ФУ‚В ıМУТЪМ˚И ФУЪВМˆЛ‡О¸М˚И ·‡ ¸В US , Б‡Ъ Ы‰- Мfl˛˘ЛИ ‰‚ЛКВМЛВ ˝ОВНЪ УМУ‚ ФУ М‡Ф ‡‚ОВМЛ˛ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ. лУ„О‡ТМУ ЪВУ ЛЛ [1], Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ ФУ‚В ıМУТЪМУ„У ·‡ ¸В ‡ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl Т‚У·У‰М˚ı

‡

US

иУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ

аУМЛБУ‚‡ММ˚В ‰УМУ ˚

w

·

бУМ‡ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ

щОВНЪ УМ˚

á‡Ô ¢ÂÌ̇fl ÁÓ̇

Ñ˚ ÍË

З‡ОВМЪМ‡fl БУМ‡

êËÒ. 1. щМВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ БУММ˚В ‰Л‡„ ‡ПП˚ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН‡ Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ У·В‰МВММУ„У (‡) Ë Ó·Ó„‡- ˘ÂÌÌÓ„Ó (·) ТОУfl ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ

˝ОВНЪ УМУ‚ Ы ФУ‚В ıМУТЪЛ nS ˝НТФУМВМˆЛ‡О¸МУ ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl:

„‰Â k – ФУТЪУflММ‡fl ЕУО¸ˆП‡М‡, í – ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡. СУТЪ‡ЪУ˜МУ ЪЛФЛ˜М‡ ТЛЪЫ‡ˆЛfl, НУ„‰‡ US Eg /20,5–0,7 ˝Ç, „‰Â Eg – ¯Л ЛМ‡ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ (˝МВ „Лfl ‚˚Т‚У·УК‰ВМЛfl ‚‡ОВМЪМ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ ‡ЪУП‡ı В¯ВЪНЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡). З ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т

(1) ˝ЪУ УБМ‡˜‡ВЪ, ˜ЪУ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl ‚ 108–1010 ‡Á.

н‡НЛП У· ‡БУП, У·В‰МВММ˚И ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ Ф Л- ФУ‚В ıМУТЪМ˚И ТОУИ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т У·˙ВПУП ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН‡ ЛПВВЪ „У ‡Б‰У ·УО¸¯ВВ Ы‰ВО¸МУВ ТУФ У- ЪЛ‚ОВМЛВ Л Л„ ‡ВЪ УО¸ ЛБУОЛ Ы˛˘ВИ Ф УТОУИНЛ ПВК‰Ы ФУ‚В ıМУТЪ¸˛ Л У·˙ВПУП. йЪПВЪЛП, ˜ЪУ ¯Л-ЛМ‡ ˝ЪУ„У ТОУfl w Б‡‚ЛТЛЪ УЪ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОВ„Л Ы- ˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ Л ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ [1]

щЪ‡ Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ЛТФУО¸БУ‚‡М‡ ‰Оfl ЫФ-‡‚ОВМЛfl ˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪ¸˛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ- ‚˚ı ФОВМУН, ВТОЛ ЪУО˘ЛМ‡ ФОВМНЛ d ТУЛБПВ ЛП‡ Т w (Ì‡Ô ËÏ , Ô Ë Û‚Â΢ÂÌËË N+D ‚ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ЛМЪВ ВТМУП ЛМЪВ ‚‡ОВ 1014–1019 ÒÏ−3 ¯Л ЛМ‡ У·В‰МВММУ„У ТОУfl ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl УЪ В‰ЛМЛˆ ‰У ТУЪ˚ı ‰УОВИ ПЛН УПВЪ ‡).

щЩЩВНЪЛ‚М˚П ТФУТУ·УП ЫПВМ¸¯ВМЛfl ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ fl‚ОflВЪТfl ФУ‰Т‚ВЪН‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ˝ОВНЪ-УП‡„МЛЪМ˚П ЛБОЫ˜ВМЛВП УФЪЛ˜ВТНУ„У ‰Л‡Ф‡БУМ‡ ЛБ У·О‡ТЪЛ ТУ·ТЪ‚ВММУ„У ФУ„ОУ˘ВМЛfl (˝МВ „Лfl ЩУЪУМУ‚ Ф В‚˚¯‡ВЪ ¯Л ЛМЫ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡). З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ‚УБМЛН‡˛˘ЛВ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ЩУЪУЛУМЛБ‡ˆЛЛ ‡ЪУПУ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В ˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ ‡Б- ‰ВОfl˛ЪТfl ‚ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУП ФУОВ У·В‰МВММУ„У ТОУfl, Н‡Н ФУН‡Б‡МУ М‡ ЛТ. 2: ‰˚ НЛ “Ф ЛКЛП‡˛ЪТfl” Н ФУ- ‚В ıМУТЪЛ Л Б‡ı‚‡Ъ˚‚‡˛ЪТfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ- ‚Ы¯НЛ, ЫПВМ¸¯‡fl ‚ВОЛ˜ЛМЫ ФУ‚В ıМУТЪМУ„У Б‡ fl‰‡,

‡ ˝ОВНЪ УМ˚ “ТН‡Ъ˚‚‡˛ЪТfl” ‚ У·˙ВП ФУОЫФ У‚У‰МЛ- Н‡. З ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ЫПВМ¸¯ВМЛВ ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ Л ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т (2) ¯Л ЛМ˚ ТОУfl У·В‰МВМЛfl (˝ЪУ fl‚ОВМЛВ У·˚˜МУ М‡Б˚‚‡˛Ъ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ЩУЪУ-щСл). и У‚У‰fl˘ЛИ Н‡М‡О (d–w), ‡ТФУОУКВММ˚И Б‡ Ф В‰ВО‡ПЛ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУ„У У·В‰МВММУ„У ТОУfl, Ф Л УТ‚В˘ВМЛЛ ‡Т¯Л flВЪТfl (ЛОЛ У· ‡- БЫВЪТfl, ВТОЛ ЪУО˘ЛМ‡ ФОВМНЛ ФУ‰У· ‡М‡ Ъ‡Н, ˜ЪУ ‰У УТ‚В˘ВМЛfl d = w Л ‚ ФОВМНВ УЪТЫЪТЪ‚У‚‡ОЛ Т‚У·У‰- М˚В ˝ОВНЪ УМ˚), ˜ЪУ ТУФ У‚УК‰‡ВЪТfl Ы‚ВОЛ˜ВМЛВП ˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪЛ.

к‡ТТПУЪ ВММ‡fl ТЛЪЫ‡ˆЛfl, НУ„‰‡ ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ı- МУТЪЛ ‚УБМЛН‡ВЪ У·В‰МВММ˚И ТОУИ, ‡БЫПВВЪТfl, МВ fl‚ОflВЪТfl В‰ЛМТЪ‚ВММУ ‚УБПУКМУИ. н‡Н, ВТОЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ n-ЪЛФ‡ ‰УПЛМЛ Ы˛Ъ ОУ‚Ы¯НЛ-‰УМУ ˚, ЪУ ‚УБМЛН‡ВЪ ФУОУКЛЪВО¸М˚И

US'

w'

w

êËÒ. 2. иУflТМВМЛВ Н ПВı‡МЛБПЫ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ ЩУЪУ-щСл (ФЫМНЪЛ УП ФУН‡Б‡МУ ЛБПВМВМЛВ ЩУ П˚ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ„У ·‡ ¸В ‡ Ф Л УТ‚В˘ВМЛЛ)

ФУ‚В ıМУТЪМ˚И Б‡ fl‰, НУЪУ ˚И НУПФВМТЛ ЫВЪТfl УЪ Лˆ‡ЪВО¸М˚П Б‡ fl‰УП Т‚У·У‰М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚, ТН‡ФОЛ‚‡˛˘ЛıТfl ‚ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУИ ФУЪВМˆЛ‡О¸- МУИ flПВ ( ЛТ. 1, ·). м‰ВО¸М‡fl ˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪ¸ У·У„‡˘ВММУ„У ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУ„У ТОУfl У·˚˜МУ М‡ МВТНУО¸НУ ФУ fl‰НУ‚ Ф В‚УТıУ‰ЛЪ У·˙ВПМЫ˛ (‚ ЩУ ПЫОВ (1) ·‡ ¸В US ЩУ П‡О¸МУ ТОВ‰Ы- ВЪ Т˜ЛЪ‡Ъ¸ УЪ Лˆ‡ЪВО¸М˚П), ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ‚УБМЛНМУ‚ВМЛ˛ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУ„У Ф У‚У‰fl˘В„У Н‡М‡О‡, ¯ЫМЪЛ Ы˛˘В„У У·˙ВП ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. йЪПВЪЛП, ˜ЪУ ˝ЩЩВНЪ ¯ЫМЪЛ У‚‡МЛfl ПУКВЪ УН‡Б‡Ъ¸Тfl Н ‡ИМВ УФ‡ТМ˚П ‰Оfl ‰ЛУ‰У‚ Т –n-Ô ÂıÓ‰‡ÏË, ÂÒÎË p- Ë n- У·О‡ТЪЛ Н ЛТЪ‡ОО‡ ЛПВ˛Ъ У·˘Ы˛ ФУ‚В ıМУТЪ¸, ФУТНУО¸НЫ ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ У·-‡ЪМ˚И ЪУН ‰ЛУ‰‡ Л Ф УЛТıУ‰ЛЪ ОЛМВ‡ ЛБ‡ˆЛfl В„У ‚УО¸Ъ-‡ПФВ МУИ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ.

кДЕйнД ЗхпйСД.

дйзнДдн еЦнДгг–ийгмикйЗйСзад

з‡ОЛ˜ЛВ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУ„У ЛБ„Л·‡ БУМ ТЫ˘ВТЪ- ‚ВММУ ЛБПВМflВЪ ‚ВОЛ˜ЛМЫ ‡·УЪ˚ ‚˚ıУ‰‡ ˝ОВНЪ У- МУ‚ Т ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ [6]. и Л ЛТ- Н Л‚ОВМЛЛ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı БУМ ‚‚В ı ‚ Т‚flБЛ Т ‚УБМЛНМУ‚ВМЛВП ‰УФУОМЛЪВО¸МУ„У ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ„У ·‡ ¸В ‡ US ‡·УЪ‡ ‚˚ıУ‰‡ ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ. и Л Б‡„Л·В БУМ ‚МЛБ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Б‡ flКВМ‡ ФУОУКЛЪВО¸МУ Л ‚МЫЪ-ВММВВ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУВ ФУОВ М‡Ф ‡‚ОВМУ УЪ ФУ‚В ı- МУТЪЛ ‚ У·˙ВП, ˜ЪУ ТФУТУ·ТЪ‚ЫВЪ ‚˚ıУ‰Ы ˝ОВНЪ УМУ‚ ЛБ Н ЛТЪ‡ОО‡ ( ‡·УЪ‡ ‚˚ıУ‰‡ ЫПВМ¸¯‡ВЪТfl). ЗОЛflМЛВ ТУТЪУflМЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ М‡ ‡·УЪЫ ‚˚ıУ‰‡ Ф Уfl‚ОflВЪТfl ‚ fl‰В ЩЛБЛ˜ВТНЛı fl‚ОВМЛИ (М‡- Ф ЛПВ , ЪВ ПУ˝ОВНЪ УММ‡fl ˝ПЛТТЛfl, НУМЪ‡НЪМ˚В fl‚ОВМЛfl, ‚МВ¯МЛИ ЩУЪУ˝ЩЩВНЪ, ‡‰ТУ ·ˆЛfl Л Н‡Ъ‡- ОЛБ). м˜ЛЪ˚‚‡fl ˜ ВБ‚˚˜‡ИМУ ‚‡КМЫ˛ УО¸ ‚ ЪВıМЛНВ Л ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ НУМЪ‡НЪУ‚ ПВЪ‡ОО– ФУОЫФ У‚У‰МЛН (еи), ‡ТТПУЪ ЛП ‚ Н‡˜ВТЪ‚В Ф Л- ПВ ‡ УО¸ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ОУ‚Ы¯ВН ‚ ЩУ ПЛ У‚‡МЛЛ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ„У ВО¸ВЩ‡ ‚·ОЛБЛ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Т ПВЪ‡ООУП.

и ВК‰В ‚ТВ„У УЪПВЪЛП, ˜ЪУ Ф Л ЛБ„УЪУ‚ОВМЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚ Л ˝ОВНЪ УММ˚ı ТıВП ЛТФУО¸БЫ˛ЪТfl еи-НУМЪ‡НЪ˚ ‰‚Ыı ‡БОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚: ‡МЪЛБ‡ФУ М˚В (УПЛ˜ВТНЛВ) Л ‚˚Ф flПОfl˛˘ЛВ (‰Л- У‰М˚В). йПЛ˜ВТНЛВ НУМЪ‡НЪ˚ Ф В‰М‡БМ‡˜ВМ˚ ‰Оfl Ф‡ТТЛ‚МУ„У ФУ‰НО˛˜ВМЛfl ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ НУ ‚МВ¯- МВИ ˆВФЛ, ФУ˝ЪУПЫ УМЛ ‰УОКМ˚ У·О‡‰‡Ъ¸ ФУТЪУflМ- М˚П Л Ф В‰ВО¸МУ МЛБНЛП ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВП. З˚Ф flПОfl˛˘ЛВ еи-НУМЪ‡НЪ˚, НУЪУ ˚В У·˚˜МУ М‡Б˚‚‡˛Ъ ‰ЛУ‰‡ПЛ тУЪЪНЛ, fl‚Оfl˛ЪТfl ‡НЪЛ‚М˚ПЛ ˝ОВПВМЪ‡ПЛ ˝ОВНЪ УММ˚ı ТıВП. йМЛ У·О‡‰‡˛Ъ МВОЛМВИМУИ ‚УО¸Ъ- ‡ПФВ МУИ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНУИ Л ‚У ПМУ„Лı УЪМУ¯ВМЛflı ‡М‡ОУ„Л˜М˚ ‰ЛУ‰‡П М‡ УТМУ‚В p–n-Ô ÂıÓ‰Ó‚.

лУ„О‡ТМУ ПУ‰ВОЛ, Ф В‰ОУКВММУИ тУЪЪНЛ (ТП., М‡Ф ЛПВ , [1]), У· ‡БУ‚‡МЛВ еи-НУМЪ‡НЪ‡ ТУФ У- ‚УК‰‡ВЪТfl ФВ ВМУТУП Б‡ fl‰‡ ˜В ВБ „ ‡МЛˆЫ ‡Б‰ВО‡ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ‡БМУТЪЛ ‡·УЪ ‚˚ıУ‰‡ ПВЪ‡ОО‡ ϕm Ë ÔÓ-

ÎÛÔ Ó‚Ó‰ÌË͇ ϕs . лУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘‡fl НУМЪ‡НЪМ‡fl‡БМУТЪ¸ ФУЪВМˆЛ‡ОУ‚

„‰Â q – Б‡ fl‰ ˝ОВНЪ УМ‡, ‚˚Б˚‚‡ВЪ Ф‡‰ВМЛВ М‡Ф fl- КВМЛfl ‚ Ф Л„ ‡МЛ˜МУИ У·О‡ТЪЛ ТУ ТЪУ УМ˚ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН‡. н‡Н, ‰Оfl НУМЪ‡НЪ‡ М‡ УТМУ‚В ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡ n-ÚËÔ‡ ÒΉÛÂÚ ÓÊˉ‡Ú¸, ˜ÚÓ Ô Ë ϕm < ϕs ˝ОВНЪ УМ˚ ·Ы‰ЫЪ ФВ ВıУ‰ЛЪ¸ ЛБ ПВЪ‡ОО‡ ‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН, ЩУ ПЛ Ыfl У·У„‡˘ВММ˚И ТОУИ Т П‡О˚П ТУ- Ф УЪЛ‚ОВМЛВП (УПЛ˜ВТНЛИ НУМЪ‡НЪ). З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ТУ ТЪУ УМ˚ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‰УОКМ‡ ‚УБМЛН‡Ъ¸ ФУЪВМˆЛ‡О¸М‡fl flП‡, ‡М‡ОУ„Л˜М‡fl ЪУИ, ˜ЪУ ФУН‡Б‡М‡ М‡ЛТ. 1, ·. è Ë ϕm > ϕs М‡Ф ‡‚ОВМЛВ ФВ ВМУТ‡ Б‡ fl‰‡ ЛБПВМflВЪТfl: ЪВФВ ¸ ˝ОВНЪ УМ˚ ЛМКВНЪЛ Ы˛ЪТfl ЛБ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ ПВЪ‡ОО, ˜ЪУ ‰УОКМУ Ф Л‚У‰ЛЪ¸ Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ У·В‰МВММУ„У ТОУfl Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘В- „У ВПЫ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ„У ·‡ ¸В ‡ US = −qVk . ьТМУ, ˜ЪУ ‰Оfl ПВЪ‡ООУ‚ Т ·УО¸¯УИ ‡·УЪУИ ‚˚ıУ‰‡ ˝МВ „ВЪЛ- ˜ВТН‡fl БУММ‡fl ‰Л‡„ ‡ПП‡ Ф Л„ ‡МЛ˜МУИ У·О‡ТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸МУ МВ ‰УОКМ‡ УЪОЛ- ˜‡Ъ¸Тfl УЪ ЪУИ, ˜ЪУ ФУН‡Б‡М‡ М‡ ЛТ. 1, ‡. щЪ‡ ТЛЪЫ‡- ˆЛfl ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ ЩУ ПЛ У‚‡МЛ˛ ‚˚Ф flПОfl˛˘В„У еи-НУМЪ‡НЪ‡ (‰ЛУ‰ тУЪЪНЛ). н‡НЛП У· ‡БУП, ЛБ‡ТТПУЪ ВММУИ ПУ‰ВОЛ ‚˚ЪВН‡ВЪ Ф УТЪУИ Л Ы‰У·-

З˚ТУЪ‡ ·‡ ¸В ‡ тУЪЪНЛ, ˝З

1,2

3

0,9

1

0,6

2

0,3

ꇷÓÚ‡ ‚˚ıÓ‰‡ ÏÂڇη, ˝Ç

êËÒ. 3. ᇂЛТЛПУТЪЛ ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ тУЪЪНЛ ‚ ТЛТЪВПВ ПВЪ‡ОО – GaAs УЪ ‡·УЪ˚ ‚˚ıУ‰‡ ПВЪ‡О- О‡: 1, 2 – ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚В БМ‡˜ВМЛfl, ФУОЫ˜ВМ- М˚В Ф Л М‡МВТВМЛЛ ПВЪ‡ООУ‚ М‡ МВФ‡ТТЛ‚Л У‚‡М- МЫ˛ (1) Ë Ô‡ÒÒË‚Ë Ó‚‡ÌÌÛ˛ Ò ÓÈ (2) ÔÓ‚Â ıÌÓÒÚ¸ GaAs, 3 – ‡Т˜ВЪ (ПУ‰ВО¸ тУЪЪНЛ)

М˚И ТФУТУ· ЫФ ‡‚ОВМЛfl Т‚УИТЪ‚‡ПЛ „ ‡МЛˆ˚ ПВ- Ъ‡ОО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН, УТМУ‚‡ММ˚И М‡ М‡‰ОВК‡˘ВП ‚˚·У В П‡ЪВ Л‡О‡ НУМЪ‡НЪ‡ Т МЫКМУИ ‡·УЪУИ ‚˚ıУ- ‰‡ (М‡Ф ЛПВ , ФУ ТФ ‡‚У˜М˚П ‰‡ММ˚П У БМ‡˜ВМЛflı ϕm Ы ‡БМ˚ı ПВЪ‡ООУ‚). й‰М‡НУ, Н‡Н ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ ПМУ„У˜ЛТОВММ˚В ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚В ЛТТОВ‰У‚‡- МЛfl [1, 4], ‚ ·УО¸¯ЛМТЪ‚В ТОЫ˜‡В‚ ‚˚ТУЪ‡ ФУЪВМˆЛ- ‡О¸МУ„У ·‡ ¸В ‡ М‡ еи-„ ‡МЛˆВ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ‡·УЪ˚ ‚˚ıУ‰‡ ПВЪ‡ОО‡ М‡ПМУ„У ТО‡·ВВ, ˜ВП ˝ЪУ ТОВ‰ЫВЪ ЛБ ТУУЪМУ¯ВМЛfl (3), ОЛ·У МВ Б‡‚ЛТЛЪ ‚У‚ТВ (ТП. 1 М‡ЛТ. 3). л ˝ЪЛП Т‚flБ‡М˚ ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚В ЪВıМУОУ„Л˜В- ТНЛВ Ф У·ОВП˚, ‚УБМЛН‡˛˘ЛВ Ф Л ЛБ„УЪУ‚ОВМЛЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ Л ‰ЛУ‰У‚ тУЪЪНЛ Т Ъ В·ЫВПУИ ‚˚ТУЪУИ ·‡ ¸В ‡.

З˚flТМВМЛ˛ Ф Л˜ЛМ ТЪУО¸ ТО‡·УИ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸- МУТЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ·‡ ¸В ‡ Н ‡·УЪВ ‚˚ıУ‰‡ ПВЪ‡ОО‡ Л ‡Б ‡·УЪНВ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛı Ф ЛВПУ‚, Ф Л„У‰М˚ı ‰Оfl У˜Ы‚ТЪ‚ОВМЛfl Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ‚‡КМ˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЛТЪВП, ФУТ‚fl˘ВМУ ·УО¸¯УВ ˜ЛТОУ ‡·УЪ, ‚˚ФУОМВММ˚ı ‚ ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚. З ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Ф У‚В‰ВМ- М˚ı ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ ЫТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ УТМУ‚МЫ˛ УО¸ ‚ Б‡Н ВФОВМЛЛ ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ Л„ ‡ВЪ ‡МУП‡О¸МУ ‚˚ТУН‡fl (>1013 ÒÏ−2) ФОУЪМУТЪ¸ ˝ОВНЪ УММ˚ı ОУ‚Ы- ¯ВН, ОУН‡ОЛБУ‚‡ММ˚ı ‚·ОЛБЛ „ ‡МЛˆ˚ ФУОЫФ У‚У‰- МЛН–ПВЪ‡ОО. ЗУБМЛНМУ‚ВМЛВ ТЪУО¸ ‚˚ТУНУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОУ‚Ы¯ВН Т‚flБ‡МУ Т ‰ЛЩЩЫБЛУММ˚ПЛ Ф УˆВТТ‡ПЛ Л ıЛПЛ˜ВТНЛПЛ В‡НˆЛflПЛ М‡ „ ‡МЛˆВ‡Б‰ВО‡ Щ‡Б, ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ НУЪУ ˚ı ПВК‰Ы ПВЪ‡ООУП Л ФУОЫФ У‚У‰МЛНУП ЩУ ПЛ ЫВЪТfl ЪУМНЛИ ‡БЫФУ fl- ‰У˜ВММ˚И ЛБУОЛ Ы˛˘ЛИ Б‡БУ , Ф В‰ТЪ‡‚Оfl˛˘ЛИ ТУ·УИ У·˚˜МУ ТПВТ¸ ‡ЪУПУ‚ ПВЪ‡ОО‡, ФУОЫФ У‚У‰- МЛН‡ Л Лı УНЛТМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ Л М‡Т˚˘ВММ˚И ‡Б- ОЛ˜МУ„У У‰‡ ТЪ ЫНЪЫ М˚ПЛ ‰ВЩВНЪ‡ПЛ ( ЛТ. 4).

д‡НЛП КВ У· ‡БУП ФУ„ ‡МЛ˜М˚В ОУ‚Ы¯НЛ Ф В- ФflЪТЪ‚Ы˛Ъ ЛБПВМВМЛ˛ ‚˚ТУЪ˚ ·‡ ¸В ‡ ‚ еи-НУМ- Ъ‡НЪВ? СОfl ЪУ„У ˜ЪУ·˚ ФУМflЪ¸ ПВı‡МЛБП ˝ЪУ„У ˝Щ- ЩВНЪ‡, ТОВ‰ЫВЪ ЛПВЪ¸ ‚ ‚Л‰Ы, ˜ЪУ ‚В УflЪМУТЪ¸ Б‡ФУОМВМЛfl ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ О˛·˚ı ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı Ы У‚МВИ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНВ (‚ ЪУП ˜ЛТОВ Л ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ТУТЪУflМЛИ) УФ В‰ВОflВЪТfl ФУОУКВМЛВП Ы У‚- Мfl оВ ПЛ ( ЛТ. 4). и Л МВ ТОЛ¯НУП ‚˚ТУНЛı ЪВПФВ-‡ЪЫ ‡ı Т ıУ У¯ВИ ТЪВФВМ¸˛ ЪУ˜МУТЪЛ ПУКМУ Т˜ЛЪ‡Ъ¸, ˜ЪУ ‚ТВ Ы У‚МЛ, ‡ТФУОУКВММ˚В ФУ ˝МВ „ЛЛ МЛКВ Ы У‚Мfl оВ ПЛ, Б‡ФУОМВМ˚ ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ, ‡ ‚˚- ¯В МВ„У ФЫТЪ˚В. ЦТОЛ ФОУЪМУТЪ¸ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı Ы У‚МВИ ОУ‚Ы¯ВН ‚·ОЛБЛ Ы У‚Мfl оВ ПЛ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚ВОЛН‡, ЪУ УМЛ ·Ы‰ЫЪ ФУОМУТЪ¸˛ ˝Н ‡МЛ У‚‡Ъ¸ У·˙- ВП ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ УЪ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ФУОfl НУМ- Ъ‡НЪМУИ ‡БМУТЪЛ ФУЪВМˆЛ‡ОУ‚. и Л ˝ЪУП ‡ТТ˜Л- Ъ‡ММУВ ФУ ЩУ ПЫОВ (3) М‡Ф flКВМЛВ ·Ы‰ВЪ Ф‡‰‡Ъ¸ МВ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНВ, ‡ ‚ Б‡БУ В ПВК‰Ы ПВЪ‡ООУП Л ФУОЫФ У‚У‰МЛНУП. СВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ, ‰УФЫТЪЛП, ˜ЪУ ‰Оfl ЫПВМ¸¯ВМЛfl ·‡ ¸В ‡ тУЪЪНЛ ЛОЛ ТУБ‰‡МЛfl УПЛ˜ВТНУ„У НУМЪ‡НЪ‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ М‡- Ф˚ОflВЪТfl ПВЪ‡ООЛ˜ВТН‡fl ФОВМН‡ Т ПВМ¸¯ВИ, ˜ВП Ы ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡, ‡·УЪУИ ‚˚ıУ‰‡. и В‰ФУО‡„‡ВЪТfl, ˜ЪУ ЛМКВНЪЛ У‚‡ММ˚В ЛБ ПВЪ‡ОО‡ ˝ОВНЪ УМ˚ ФВ В- ТВНЫЪ ФУ„ ‡МЛ˜МЫ˛ У·О‡ТЪ¸ Л Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ ‡Т-

СЛ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛИ Б‡БУ

èÛÒÚ˚Â

ÎÓ‚Û¯ÍË

ì Ó‚Â̸ î ÏË

б‡ФУОМВММ˚В

ÎÓ‚Û¯ÍË

êËÒ. 4. бУММ‡fl ‰Л‡„ ‡ПП‡ НУМЪ‡НЪ‡ ПВЪ‡ОО–ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН Т ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП Б‡БУ УП Л ФУ‚В ı- МУТЪМ˚ПЛ ОУ‚Ы¯Н‡ПЛ

Ф В‰ВОflЪТfl ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡, ЫПВМ¸¯‡fl ТЪВФВМ¸ У·В‰МВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ УТМУ‚- М˚ПЛ МУТЛЪВОflПЛ Б‡ fl‰‡ Л Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМ˚И ЛБ- „Л· БУМ. й‰М‡НУ Ф Л ЫПВМ¸¯ВМЛЛ ЛБ„Л·‡ БУМ ‚ТВ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ Ы У‚МЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ЛТЪ‡ОО‡ УФЫТН‡˛ЪТfl ‚МЛБ. и Л ˝ЪУП МВБ‡ФУОМВММ˚В ‡МВВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ, ‡ТФУОУКВММ˚В ФУ ˝МВ - „ЛЛ МВТНУО¸НУ ‚˚¯В Ы У‚Мfl оВ ПЛ, ·Ы‰ЫЪ ФУ„ Ы- К‡Ъ¸Тfl ‚МЛБ Л Б‡ı‚‡Ъ˚‚‡Ъ¸ ˝ОВНЪ УМ˚, ˜ЪУ Ф Л‚В‰ВЪ

ÍЫ‚ВОЛ˜ВМЛ˛ УЪ Лˆ‡ЪВО¸МУ„У ФУ‚В ıМУТЪМУ„У Б‡-fl‰‡ Л ЛБ„Л·‡ БУМ. ЦТОЛ ФОУЪМУТЪ¸ ОУ‚Ы¯ВН ‚·ОЛБЛ Ы У‚Мfl оВ ПЛ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚ВОЛН‡, ‡ТТПУЪ ВММ˚И ПВı‡МЛБП УЪ Лˆ‡ЪВО¸МУИ У· ‡ЪМУИ Т‚flБЛ Ф Л‚У‰ЛЪ

ÍФ ‡НЪЛ˜ВТНЛ ФУОМУПЫ ‚УТТЪ‡МУ‚ОВМЛ˛ М‡˜‡О¸МУ„У ЛБ„Л·‡ БУМ Л ‚˚ТУЪ‡ ·‡ ¸В ‡ тУЪЪНЛ УТЪ‡ВЪТfl МВЛБПВММУИ. н‡Н‡fl ТЛЪЫ‡ˆЛfl ı‡ ‡НЪВ М‡ ‰Оfl ПМУ„Лı ФУ- ‚В ıМУТЪВИ Л „ ‡МЛˆ ‡Б‰ВО‡ Л У·˚˜МУ У·УБМ‡˜‡ВЪТfl ЪВ ПЛМУП “ФЛММЛМ„” (Б‡Н ВФОВМЛВ) Ы У‚Мfl оВ ПЛ.

щооЦдн ийгь

щЩЩВНЪУП ФУОfl М‡Б˚‚‡˛Ъ fl‚ОВМЛВ ЛБПВМВМЛfl Ф У‰УО¸МУИ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ФУ‰ ‰ВИТЪ‚ЛВП ФУФВ В˜МУ„У ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ФУОfl. лЫЪ¸ ˝ЪУ„У ˝ЩЩВНЪ‡ Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ М‡ ФУ- ‚В ıМУТЪ¸ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚МВ¯МЛП ФУОВП Л ЫФ-‡‚ОВМЛЛ ‚ВОЛ˜ЛМУИ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМУ„У ЛБ„Л·‡ БУМ. и ЛМˆЛФ ˝ЩЩВНЪ‡ ФУОfl ОВКЛЪ ‚ УТМУ‚В ‡·УЪ˚ ФУОВ‚У„У Ъ ‡МБЛТЪУ ‡ ТУ ТЪ ЫНЪЫ УИ ПВЪ‡ОО–‰Л˝ОВН- Ъ ЛН–ФУОЫФ У‚У‰МЛН (еСи-Ъ ‡МБЛТЪУ ), ‡ Ъ‡НКВ

ЛТФУО¸БЫВЪТfl ‚ МВНУЪУ ˚ı ПВЪУ‰‡ı ‰Л‡„МУТЪЛНЛ ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚ı ТУТЪУflМЛИ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı.

лıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЛБУ· ‡КВМЛВ еСи-ТЪ ЫНЪЫ ˚ Л ˝ОВНЪ Л˜ВТН‡fl ТıВП‡ ЛБПВ ВМЛfl ˝ЩЩВНЪ‡ ФУОfl Ф Л- ‚В‰ВМ˚ М‡ ЛТ. 5. и В‰ФУОУКЛП ‰Оfl УФ В‰ВОВММУТЪЛ, ˜ЪУ М‡ ЫФ ‡‚Оfl˛˘ЛИ ˝ОВНЪ У‰ (Б‡Ъ‚У ) ФУ‰‡ВЪТfl ФУОУКЛЪВО¸МУВ М‡Ф flКВМЛВ. СОfl ˝Н ‡МЛ У‚НЛ Б‡ fl- ‰‡ Б‡Ъ‚У ‡ ЛБ ‚МВ¯МВИ ˆВФЛ ˜В ВБ УПЛ˜ВТНЛВ НУМ- Ъ‡НЪ˚ ‚ Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ У·О‡ТЪ¸ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ıУ‰flЪ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ (‚ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНВ n-ÚËÔ‡ ˝ÚÓ ˝ÎÂÍÚ ÓÌ˚) ‚ ÍÓ΢ÂÒÚ‚Â

„‰Â ë – ВПНУТЪ¸ еСи-НУМ‰ВМТ‡ЪУ ‡, Vg – М‡Ф flКВМЛВ М‡ Б‡Ъ‚У В.

у‡ТЪ¸ ЛМ‰ЫˆЛ У‚‡ММ˚ı ФУОВП ˝ОВНЪ УМУ‚ NSC УТЪ‡ВЪТfl ‚ Т‚У·У‰МУП ТУТЪУflМЛЛ. щЪЛ ˝ОВНЪ УМ˚ Б‡- МЛП‡˛Ъ ФЫТЪ˚В ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ Ы У‚МЛ ‚ БУМВ Ф У- ‚У‰ЛПУТЪЛ, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н Ы‚ВОЛ˜ВМЛ˛ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚У„У ТОУfl

Ë ÓÒÚÛ ÚÓ͇ ‚Ó ‚̯ÌÂÈ ˆÂÔË

„‰Â µn – ‰ ВИЩУ‚‡fl ФУ‰‚ЛКМУТЪ¸ ˝ОВНЪ УМУ‚, Vc – М‡Ф flКВМЛВ ПВК‰Ы ТЪУНУП Л ЛТЪУНУП. С Ы„‡fl ˜‡ТЪ¸ ЛМ‰ЫˆЛ У‚‡ММ˚ı ФУОВП ˝ОВНЪ УМУ‚ NSS = N − NSC ·Ы‰ВЪ Б‡ı‚‡˜ВМ‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ Л, Ъ‡НЛП У· ‡БУП, ‚˚И‰ВЪ ЛБ Л„ ˚. ьТМУ, ˜ЪУ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ ЫФ ‡‚ОВМЛfl Ф У‰УО¸М˚П ЪУНУП Л НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ ЫТЛОВМЛfl Ъ ‡МБЛТЪУ ‡ Б‡‚ЛТflЪ УЪ ЪУ„У, Н‡НУИ ПВı‡МЛБП ˝Н ‡МЛ У‚‡МЛfl Ф ВУ·О‡‰‡ВЪ. ЦТОЛ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ОУ‚Ы¯ВН ‚·ОЛБЛ Ы У‚Мfl оВ ПЛ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‚ВОЛН‡, ‡ ‚ ВПfl Б‡ı‚‡Ъ‡ МУТЛЪВОВИ М‡ ОУ‚Ы¯НЛ ТУЛБПВ ЛПУ Т ‰ОЛЪВО¸МУТЪ¸˛ ‚ıУ‰МУ„У ТЛ„М‡О‡ (М‡Ф flКВМЛfl М‡

Б‡Ъ‚У В), ЪУ ·УО¸¯‡fl ˜‡ТЪ¸ ‚‚В‰ВММ˚ı ФУОВП МУТЛЪВОВИ ЫТФВВЪ Ф ЛОЛФМЫЪ¸ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ Л ЪУН ‚У ‚МВ¯МВИ ˆВФЛ ЛБПВМЛЪТfl П‡ОУ.

н‡НЛП У· ‡БУП, ТЪ‡МУ‚ЛЪТfl flТМУ, ˜ЪУ ‰Оfl ЛБ„У- ЪУ‚ОВМЛfl ‚˚ТУНУ˝ЩЩВНЪЛ‚МУ„У еСи-Ъ ‡МБЛТЪУ ‡ Ъ В·ЫВЪТfl ‡Б ‡·УЪ‡Ъ¸ ТФВˆЛ‡О¸М˚В ПВЪУ‰˚ НУМЪ У- Оfl Л ЫФ ‡‚ОВМЛfl ˝ОВНЪ УММ˚ПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ ФУ‚В ı- МУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Л ЪВıМУОУ„Л˛ М‡МВТВМЛfl ‰Л- ˝ОВНЪ ЛН‡, НУЪУ ˚В ·˚ У·ВТФВ˜ЛОЛ ПЛМЛП‡О¸МУВ ˜ЛТОУ Ф ЛПВТВИ Л ‰ВЩВНЪУ‚ ‚·ОЛБЛ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰В- О‡. З М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl ˝Ъ‡ Б‡‰‡˜‡ ‰Оfl ·УО¸¯ЛМТЪ‚‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ УТЪ‡ВЪТfl ‰У НУМˆ‡ МВ В¯ВММУИ. ЗПВТЪВ Т ЪВП У·˘ВФ ЛБМ‡ММУ, ˜ЪУ ЫТФВı ‚ ˝ЪУП М‡Ф ‡‚ОВМЛЛ У·ВТФВ˜ЛЪ БМ‡˜ЛЪВО¸М˚И Ф У„ ВТТ ‚ ЪВıМУОУ„ЛЛ Т‚В ıТНУ УТЪМ˚ı еСи-Ф Л- ·У У‚ М‡ УТМУ‚В ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl (GaAs) Л ‰ Ы„Лı ФВ ТФВНЪЛ‚М˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ лЗу-ЪВıМЛНЛ.

ийЗЦкпзйлнзДь кЦдйеЕазДсаь

и Л ‡Б ‡·УЪНВ Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘Лı Ф Л·У У‚ ‰Оfl УФЪУ˝ОВНЪ УМЛНЛ (ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В О‡БВ ˚, Т‚В- ЪУ‰ЛУ‰˚) ·˚ОУ Б‡ПВ˜ВМУ, ˜ЪУ ЛМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ˝ОВНЪ-УП‡„МЛЪМУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl ‚ ˝ЪЛı Ф Л·У ‡ı Ф Л Ф У- ˜Лı ‡‚М˚ı ЫТОУ‚Лflı ЪВП ‚˚¯В, ˜ВП МЛКВ ФОУЪМУТЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ОУ‚Ы¯ВН. аТТОВ‰У‚‡МЛfl ФУН‡Б‡ОЛ, ˜ЪУ ‚ Ф В‰ВО¸МУ ˜ЛТЪ˚ı Н ЛТЪ‡ОО‡ı Л ФОВМН‡ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚ УТМУ‚МУИ Ф Л˜ЛМУИ „‡¯ВМЛfl О˛- ПЛМВТˆВМˆЛЛ fl‚ОflВЪТfl ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸М‡fl ВНУП- ·ЛМ‡ˆЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН, ТФ У‚УˆЛ У‚‡ММ‡fl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ ОУ‚Ы¯Н‡ПЛ, ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУВ ФУОУКВМЛВ НУЪУ ˚ı ·ОЛБНУ Н ТВ В‰ЛМВ Б‡Ф В˘ВММУИ БУ- М˚. С‡КВ Ф Л УЪМУТЛЪВО¸МУ МЛБНУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ Ъ‡НЛı ОУ‚Ы¯ВН ‚ ВПfl КЛБМЛ ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УНВБНУ Ф‡‰‡ВЪ Б‡ Т˜ВЪ Ы‚ВОЛ˜ВМЛfl ‚В УflЪМУТЪЛ ·ВБ˚Б- ОЫ˜‡ЪВО¸М˚ı ˝ОВНЪ УММ˚ı ФВ ВıУ‰У‚ (ОУ‚Ы¯НЛ, ‚˚- ТЪЫФ‡˛˘ЛВ ‚ УОЛ ˆВМЪ У‚ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, ˜‡ТЪУ М‡Б˚‚‡˛Ъ Ы·ЛИˆ‡ПЛ ‚ ВПВМЛ КЛБМЛ).

и УˆВТТ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ Т Ы˜‡Т- ЪЛВП „ОЫ·УНЛı ОУ‚Ы¯ВН ‚ УЪОЛ˜ЛВ УЪ ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ПВКБУММУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ fl‚ОflВЪТfl ‰‚ЫıТЪЫФВМ˜‡- Ъ˚П. йМ ТУТЪУЛЪ ЛБ Б‡ı‚‡Ъ‡ ˝ОВНЪ УМУ‚ ЛБ БУМ˚ Ф У- ‚У‰ЛПУТЪЛ М‡ ФЫТЪУИ ˆВМЪ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ Л Б‡ı‚‡Ъ‡ ‰˚ НЛ ЛБ ‚‡ОВМЪМУИ БУМ˚ М‡ Б‡ФУОМВММ˚И ˆВМЪВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ. щМВ „Лfl, ‚˚Т‚У·УК‰‡˛˘‡flТfl ‚ Н‡К‰УП ˝ОВПВМЪ‡ МУП ‡НЪВ ˝ЪУ„У Ф УˆВТТ‡ Ф Л ФВ-ВıУ‰В ˝ОВНЪ УМ‡ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ВВ МЛБНУ˝МВ „В- ЪЛ˜ВТНУВ ТУТЪУflМЛВ, МВ ЛБОЫ˜‡ВЪТfl ‚ ‚Л‰В Т‚ВЪУ‚˚ı Н‚‡МЪУ‚, ‡ ‡ТıУ‰ЫВЪТfl М‡ ‡ТН‡˜НЫ ЪВФОУ‚˚ı НУОВ- ·‡МЛИ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНЛ ‚·ОЛБЛ ‰ВЩВНЪ‡ – ˆВМЪ ‡ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, ЪУ ВТЪ¸ Щ‡НЪЛ˜ВТНЛ ·ВБ‚УБ- ‚ ‡ЪМУ ЪВ flВЪТfl. ьТМУ, ˜ЪУ ‰Оfl ЫОЫ˜¯ВМЛfl Н‡˜ВТЪ‚‡ ЩУЪУ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı Л Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡ЪВО¸М˚ı Ф Л·У-У‚ МВУ·ıУ‰ЛПУ ‰У·ЛЪ¸Тfl Ф В‰ВО¸МУ ‚УБПУКМУ„У ТМЛКВМЛfl Ф‡ ‡БЛЪМУИ ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·Л- М‡ˆЛЛ ˜В ВБ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В ОУ‚Ы¯НЛ. н‡НЛП У· ‡- БУП, Л ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В П˚ ТЪ‡ОНЛ‚‡ВПТfl Т МВУ·ıУ‰Л- ПУТЪ¸˛ ЫПВМ¸¯ВМЛfl Лı НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ.

иДллаЗДсаь ийЗЦкпзйлна

б‡ ФУТОВ‰МЛВ „У‰˚ ‚ ЩЛБЛНВ Л ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚ ТЩУ ПЛ У‚‡ОУТ¸ МУ‚УВ М‡Ы˜МУВ М‡- Ф ‡‚ОВМЛВ – Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ, – М‡ˆВОВММУВ М‡ ‡Б ‡·УЪНЫ ПВЪУ‰У‚ НУМЪ УОfl Л ЫФ ‡‚ОВМЛfl ТУТЪУflМЛВП ФУ‚В ıМУТЪЛ, ТМЛКВМЛВ ВВ ıЛПЛ˜ВТНУИ ‡НЪЛ‚МУТЪЛ (‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ, ЪВПФ‡ УНЛТОВМЛfl М‡ ‚УБ- ‰ЫıВ), ЫПВМ¸¯ВМЛВ ТНУ УТЪЛ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ВНУП- ·ЛМ‡ˆЛЛ, УЪН ВФОВМЛВ Ы У‚Мfl оВ ПЛ М‡ еи- Л Си-„ ‡МЛˆ‡ı.

йТМУ‚М‡fl ТОУКМУТЪ¸ ‚ В¯ВМЛЛ Ф У·ОВП˚ Ф‡Т- ТЛ‚‡ˆЛЛ Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ЪУП, ˜ЪУ ‰Оfl Н‡К‰У„У ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚У„У П‡ЪВ Л‡О‡ Л Н‡К‰УИ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б- ‰ВО‡ МВУ·ıУ‰ЛПУ ‰ВЪ‡О¸МУ (М‡ ‡ЪУПМУП Ы У‚МВ)‡БУ· ‡Ъ¸Тfl ‚ ЩЛБЛНУ-ıЛПЛ˜ВТНУИ Ф Л У‰В ФУ‚В ı- МУТЪМ˚ı ТУТЪУflМЛИ. З М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl ·О‡„У‰‡ fl ТУ‚ПВТЪМ˚П ЫТЛОЛflП ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОВИ ПМУ„Лı ЩЛБЛ- ˜ВТНЛı О‡·У ‡ЪУ ЛИ ‰УТЪЛ„МЫЪ˚ У·М‡‰ВКЛ‚‡˛˘ЛВВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ „ ЫФФ˚ А3Ç5, НУЪУ ˚В Т˜Л- Ъ‡˛ЪТfl М‡Л·УОВВ ФВ ТФВНЪЛ‚М˚ПЛ П‡ЪВ Л‡О‡ПЛ ‰Оfl Ф ЛПВМВМЛfl ‚ УФЪУ˝ОВНЪ УМЛНВ Л М‡МУЪВıМУОУ„ЛЛ. СУТЪ‡ЪУ˜МУ ФУ‰ У·МУ ‚ ˝ЪУП УЪМУ¯ВМЛЛ ЛБЫ˜ВМ ‡ - ТВМЛ‰ „‡ООЛfl – ФУОЫФ У‚У‰МЛН ‹ 2 ‚ ТУ‚ ВПВММУИ ˝ОВНЪ УММУИ ЪВıМЛНВ.

и Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ GaAs М‡‰ВКМУ ЫТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ УТМУ‚М˚П Щ‡НЪУ УП, ‚˚Б˚‚‡˛˘ЛП ТЪ ЫНЪЫ - М˚В М‡ Ы¯ВМЛfl Л ‚˚ТУНЫ˛ ФОУЪМУТЪ¸ ОУ‚Ы¯ВН ‚·ОЛБЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л „ ‡МЛˆ GaAs, fl‚ОflВЪТfl ˝ОВПВМЪМ˚И П˚¯¸flН, НУЪУ ˚И ‚˚‰ВОflВЪТfl ‚ ‚Л‰В МВ- ·УО¸¯Лı ТНУФОВМЛИ (НО‡ТЪВ У‚) Ф Л ıЛПЛ˜ВТНУП ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚ЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Т ФУН У‚МУИ ФОВМНУИ ТУ·ТЪ‚ВММУ„У УНТЛ‰‡ Л Ф Л ПВКЩ‡БМ˚ı В- ‡НˆЛflı М‡ еи- Л Си-„ ‡МЛˆ‡ı. аТıУ‰fl ЛБ ˝ЪУ„У Ф Л‡Б ‡·УЪНВ ПВЪУ‰У‚ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОЛ Ф˚Ъ‡- ОЛТ¸ М‡ИЪЛ Ъ‡НУИ ТФУТУ· ПУ‰ЛЩЛН‡ˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ, НУЪУ ˚И ·˚ Ф В‰УЪ‚ ‡ЪЛО ВВ УНЛТОВМЛВ Л ТУФЫЪТЪ‚Ы- ˛˘ВВ УНЛТОВМЛ˛ ‰ВЩВНЪУУ· ‡БУ‚‡МЛВ. йН‡Б‡ОУТ¸, ˜ЪУ У‰МЛП ЛБ М‡Л·УОВВ ˝ЩЩВНЪЛ‚М˚ı Ф ЛВПУ‚ ıЛПЛ˜ВТНУИ ПУ‰ЛЩЛН‡ˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ GaAs fl‚ОflВЪТfl ТЫО¸ЩЛ‰М‡fl У· ‡·УЪН‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. СОfl ТЫО¸ЩЛ‰Л У‚‡МЛfl ПУКМУ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ıЛПЛ˜ВТНЫ˛ У· ‡·УЪНЫ GaAs ‚ ТЫО¸ЩЛ‰ТУ‰В К‡˘Лı ‡ТЪ‚У ‡ı (М‡Ф ЛПВ , ‚ ‚У‰МУП ‡ТЪ‚У В Na2S 9H2O) ЛОЛ ЪВ - ПУУ· ‡·УЪНЫ ‚ Ф‡ ‡ı ТВ ˚. З ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Ъ‡НЛı ‚УБ- ‰ВИТЪ‚ЛИ М‡ У˜Л˘ВММУИ УЪ УНТЛ‰‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ GaAs ЩУ ПЛ ЫВЪТfl Т‚В ıЪУМН‡fl (У‰ЛМ ЛОЛ МВТНУО¸НУ ‡ЪУПМ˚ı ТОУВ‚) ФОВМН‡ Ga2S3 , ФУ‰‡‚Оfl˛˘‡fl УНЛТОВМЛВ Л У·ВТФВ˜Л‚‡˛˘‡fl МВУ·ıУ‰ЛПУВ ТЪ ЫНЪЫ МУıЛПЛ˜ВТНУВ ТУФ flКВМЛВ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Т ‚МВ¯- МЛП ‰Л˝ОВНЪ ЛНУП ЛОЛ ПВЪ‡ООУП ‚ Ф Л·У М˚ı ТЪ ЫНЪЫ ‡ı.

и ЛПВМВМЛВ ПВЪУ‰‡ ТЫО¸ЩЛ‰МУИ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ФУБ‚УОЛОУ М‡ МВТНУО¸НУ ФУ fl‰НУ‚ ТМЛБЛЪ¸ ТНУ УТЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, ‚ БМ‡˜ЛЪВО¸МУИ ТЪВФВМЛ УЪН ВФЛЪ¸ Ы У‚ВМ¸ оВ ПЛ М‡ „ ‡МЛˆВ GaAs Т ПВЪ‡ОО‡ПЛ („ ‡ЩЛН 2 М‡ ЛТ. 3) Л ТУБ‰‡Ъ¸ Ъ ‡МБЛТЪУ М˚В еСи-ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т Ф ЛВПОВП˚ПЛ ı‡ ‡НЪВ-

ЛТЪЛН‡ПЛ. зВТУПМВММ˚И ЛМЪВ ВТ Ф В‰ТЪ‡‚Оfl˛Ъ Ъ‡НКВ Ы‰‡˜М˚В ФУФ˚ЪНЛ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ФЫЪВП ВНУМТЪ-ЫЛ У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ GaAs, НУ„‰‡ ФУ‚В ıМУТЪ- М˚В ‡ЪУП˚ П˚¯¸flН‡ Б‡ПВМВМ˚ ‡ЪУП‡ПЛ ЩУТЩУ ‡ [7], ‡ Ъ‡НКВ УФ˚Ъ˚ ФУ ‚ТЪ ‡Л‚‡МЛ˛ ПВК‰Ы GaAs Л ‚МВ¯МЛП ‰Л˝ОВНЪ ЛНУП ЫФ ‡‚Оfl˛˘Лı ФУ„ ‡МЛ˜- М˚ı „ВЪВ УТОУВ‚ (Si, InGaP Л ‰ .).

З Б‡НО˛˜ВМЛВ УЪПВЪЛП, ˜ЪУ ТВ„У‰Мfl ‡НЪЛ‚МУ ‡Б- ‚Л‚‡˛ЪТfl ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ‚ У·О‡ТЪЛ Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛЛ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ Ъ‡НЛı ‚‡КМ˚ı ‚ Ф ЛНО‡‰МУП УЪМУ¯ВМЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚, Н‡Н InP, InAs, AlGaAs (лЗу-‰ЛУ- ‰˚ Л Ъ ‡МБЛТЪУ ˚, ЩУЪУ˝ОВНЪ УММ˚В Ф Л·У ˚, М‡- МУ˝ОВНЪ УМЛН‡), GaP (Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘ЛВ Ф Л·У ˚), CdHgTe (ад-ЪВıМЛН‡, Ф Л·У ˚ МУ˜МУ„У ‚Л‰ВМЛfl), ˜ЪУ ФУБ‚УОflВЪ Т Ы‚В ВММУТЪ¸˛ Ф У„МУБЛ У‚‡Ъ¸ БМ‡- ˜ЛЪВО¸МУВ ‡Т¯Л ВМЛВ Лı Ф ‡НЪЛ˜ВТНУ„У Ф ЛПВМВМЛfl Л Т‚flБ‡ММ˚И Т ˝ЪЛП Ф У„ ВТТ ‚ ЪВıМУОУ„ЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚У„У Ф Л·У УТЪ УВМЛfl.

ганЦкДнмкД

1.áË ë. оЛБЛН‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚. е.: еЛ , 1984. у. 1. 455 Т.

2.ÑÂÏËıÓ‚ÒÍËÈ Ç.ü. 䂇ÌÚÓ‚˚ flÏ˚, ÌËÚË, ÚÓ˜ÍË: óÚÓ ˝ÚÓ Ú‡ÍÓÂ? // ëÓ ÓÒÓ‚ÒÍËÈ é· ‡ÁÓ‚‡ÚÂθÌ˚È ÜÛ Ì‡Î. 1997. ‹ 5. ë. 80–86.

3.А ТВМЛ‰ „‡ООЛfl ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ / иУ‰ В‰. з. АИМТФ ЫН‡, м. мЛТТПВМ‡. е.: еЛ , 1988. 556 Т.

4.ÅÂı¯ÚÂÈÌ î., ù̉ ·ÈÌ ê. иУ‚В ıМУТЪЛ Л „ ‡МЛˆ˚‡Б‰ВО‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚. е.: еЛ , 1990. 484 Т.

5.ãËٯˈ Ç.É. иУ‚В ıМУТЪ¸ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡ Л ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ // лУ УТУ‚ТНЛИ й· ‡БУ‚‡ЪВО¸М˚И ЬЫ - М‡О. 1995. ‹ 1. л. 99–107.

6.ã‚Ë̯ÚÂÈÌ å.Ö., лЛПЛМ Й.л. Ň ¸Â ˚. å.: ç‡Û͇, 1987. 319 Ò. (Å-˜Í‡ “䂇ÌÚ”; Ç˚Ô. 65).

7.ʼnÌ˚È Å.à., ŇȉÛÒ¸ ç.Ç. и‡ТТЛ‚‡ˆЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ GaAs Ф Л У· ‡·УЪНВ ‚ Ф‡ ‡ı ЩУТЩЛМ‡ // оЛБЛН‡ Л ЪВıМЛН‡ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚. 1996. н. 30, ‹ 2. л. 236–243.

* * *

ЕУ ЛТ аО¸Л˜ ЕВ‰М˚И, Н‡М‰Л‰‡Ъ ЩЛБЛНУ-П‡ЪВ- П‡ЪЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, ‰УˆВМЪ Н‡ЩВ‰ ˚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚ зЛКВ„У У‰ТНУ„У „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММУ- „У ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ‡, Б‡П. ‰Л ВНЪУ ‡ зЛКВ„У У‰ТНУ„У ˆВМЪ ‡ ЛМНЫ·‡ˆЛЛ М‡ЫНУВПНЛı ЪВıМУОУ„ЛИ. й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ ВТУ‚ – ЩЛБЛН‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Л НУМ- Ъ‡НЪМ˚ı fl‚ОВМЛИ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı. А‚ЪУ ·УОВВ 90 М‡Ы˜М˚ı ‡·УЪ.