- •Новосибирский государственный технический университет
- •Оглавление
- •2. Порядок выполнения работы
- •Оборудование, приборы, инструмент, оснастка, материалы
- •Состав применяемых травителей
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •2. Кинетика высокотемпературного окисления кремния
- •3. Технология термического окисления кремния
- •4. Порядок выполнения работы
- •Оборудование, приборы, инструменты
- •Материалы
- •Определение толщины пленок методом цветовых оттенков
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •Метод вакуумного напыления
- •1. Метод термического нанесения пленок в вакууме
- •2. Контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения
- •2.1. Измерение толщины пленок
- •2.2. Измерение адгезии пленок
- •2.3. Измерение скорости нанесения пленок
- •3. Порядок выполнения работы
- •Примерная последовательность операций при напылении
- •Оборудование, приборы, инструменты, материалы
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •2. Основные свойства фоторезистов
- •3. Фотошаблоны
- •4. Схема технологического процесса фотолитографии
- •5. Методы получения элементов с помощью процесса фотолитографии
- •6. Виды брака при фотолитографии
- •Порядок выполнения работы
- •Операцию выполнять в резиновых перчатках в вытяжном шкафу при включенной вытяжной вентиляции.
- •Операцию выполнять в вытяжном шкафу при включенной вытяжной вентиляции.
- •7. Содержание отчета
- •Оборудование, приборы, инструмент, оснастка, материалы
- •Литература
2. Порядок выполнения работы
Получить у преподавателя пластины кремния, пинцет, резиновые перчатки. Ознакомиться с рабочим местом: оборудованием, приборами, приспособлениями, инструментом, материалами.
Все работы с использованием травителей выполнять в резиновых перчатках в вытяжном шкафу при включенной вытяжной вентиляции.
1. Знакомство с видом поверхности пластин после резки, шлифовки, полировки.
1.1. Рассмотреть в светлом поле микроскопа МБИ-6 (или БИОЛАМ-М, МЕТАМ) пластины кремния после резки слитка, после шлифовки и после полировки.
1.2. Описать в отчете особенности внешнего вида каждой пластины.
2. Исследование воздействия травителя CP4A на пластины кремния.
2.1. Рассмотреть в светлом поле микроскопа шлифованную и полированную пластинки кремния. Отметить различие их внешнего вида.
2.2. Поместить обе пластинки во фторопластовый стакан, налить травитель CP4A в минимальном количестве так, чтобы пластинки были покрыты травителем, выдержать 2 мин. Затем, не извлекая пластинок, травитель аккуратно слить в слив, набрать проточной воды, слить ее, снова набрать и слить.
2.3. Осушить пластинки на бумажном фильтре и вновь рассмотреть их под микроскопом. Описать в отчете изменение внешнего вида пластинок.
3. Определение зависимости скорости травления от времени.
3.1. Измерить толщину второй шлифованной пластинки при помощи индикатора.
3.2. Поместить пластинку в стакан, залить в него травитель состава 15:2:5 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 2 мин.
3.3. Вынуть пластинку из травителя фторопластовым пинцетом, поместить в стакан с проточной водой и промыть несколько раз, набирая и сливая воду.
3.4. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле
где – толщина пластинки до травления;– толщина пластинки после травления;– время травления.
3.5. Поместить эту же пластинку в тот же травитель и выдержать в нем 4 мин.
3.6. Повторить пп. 3.3 и 3.4.
3.7. Повторить пп. 3.3 – 3.5 еще два раза, после чего слить травитель в слив, промыть стаканчик в потоке воды.
3.8. Построить диаграмму зависимости скорости травления от времени.
4. Определение зависимости скорости травления от состава травителя.
4.1. Измерить индикатором толщину полированной пластинки.
4.2. Поместить пластинку в стакан, налить в него травитель состава 1:9 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 10 с. Затем слить травитель в слив и промыть пластинку 2–4 раза, набирая и сливая из стакана воду.
4.3. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле, приведенной в п. 3.4.
4.4. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 1:4 и другую пластинку (полированную).
4.5. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 1:1 и третью полированную пластинку.
4.6. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 4:1 и четвертую полированную пластинку.
4.6. Построить график зависимости скорости травления от содержания азотной кислоты в травителе.
5. Оценка влияния перемешивания травителя.
5.1. Измерить индикатором толщину полированной пластинки.
5.2. Поместить пластинку в стакан, налить в него травитель состава 15:2:5 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 3 мин, слить травитель в слив, пластинку в стаканчике промыть в протоке воды, несколько раз набирая и сливая воду.
5.3. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле, приведенной в п. 3.4.
5.4. Повторить пп. 5.1 – 5.3 с другой полированной пластинкой. При травлении стакан с пластиной и должен вращаться в приспособлении для вращения.
5.5. Объяснить в отчете наблюдаемые различия.
6. Оценка чистоты поверхности пластины по светящимся точкам.
6.1. Рассмотреть круглую полированную пластину в светлом и темном полях микроскопа МБИ-6.
6.2. Подсчитать количество светящихся точек в поле зрения микроскопа.
6.3. Поместить пластину в стакан, налить из колбы дистиллированной воды, промыть поверхность пластины кистью, высушить пластину в центрифуге (по инструкции).
6.4. Повторить пп. 6.1 и 6.2.
6.5. Записать в отчете результаты. Объяснить различия пп. 6.2 и 6.4.