Лекция №13

Наибольшее давление запуска и время пуска сорбционного насоса

Измерение наибольшего давления запуска проводят главным образом у сорбционных насосов, нор­мальная работа которых во многом зависит от этого па­раметра.

Для этого натекателем устанавливают в измеритель­ной камере давление, равное предполагаемому наиболь­шему давлению запуска. Если при последующей работе насоса в течение 1 ч давление в измерительной камере меняется не более чем на 10%, то давление на входе в насос принимают за наибольшее давление запуска.

При испытаниях сорбционных насосов иногда опре­деляют время пуска насоса. Для этого откачивают из­мерительную камеру до давления

р = 10^-4 Па и выклю­чают насос. Затем натекателем напускают в измеритель­ную камеру и насос сухой воздух (точка росы не выше -50°С) до атмосферного давления. С помощью насо­са предварительного разрежения откачивают измери­тельную, камеру до давления запуска. Включают испы­туемый насос и регистрируют время откачки измери­тельной камеры до давления р = 10^-4 Па. Это время должно быть не более 30 мин.

13.1. Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем

Запорно-регулирующая аппаратура представляет собой комплекс функцио­нальных средств вакуумных систем, предназначенных для перекрытия газовых потоков, создания дозированных потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при раз­герметизации, коммутации системы многопозиционной последовательной от­качки и т.д.

Классификация различных вакуумных затворов приведена на рис. 13.1.

Клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекра­щать поток газа в вакуумной системе.

Затвор- вакуумный клапан, позволяющий соединять или разобщать элемен­ты вакуумной системы.

Для перекрытия газовых потоков используют вакуумные клапаны и затворы, классифицированные по ряду признаков конструкционного и эксплуатационно­го характера.

Основными эксплуатационными характеристиками клапанов и затворов яв­ляются:

• степень герметичности, определяемая потоком натекания газа через уп- лотнительную пару, которая в зависимости от эксплуатационных требований лежит в пределах 10^-7… 10^-11 Па·м³/с;

• проводимость в открытом положении, определяемая отношением потока га- за Q, проходящего через полость вакуумного клапана, к разности давле- ний (p₁ – р₂ ) на его входном и выходном отверстиях;

• быстродействие, определяемое временем герметичного перекрытия;

• ресурс работы, определяемый числом циклов перекрытия уплотнитель- ной пары с обеспечением заданной степени герметичности;

• минимальный поток газовыделения;

• автоматизация.

Натекатель – вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа (например, при работе с газоанализаторами).

В качестве натекателей могут применяться пористые материалы, некоторые металлы, проницаемые для отдельных газов, например платина для водорода, серебро для кислорода и т.д.

Шибер – прямоугольная или фигурная пластина, используемая в качестве заслонки.

Напускной клапан – вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.