Термическое
окисление кремния [Электронный ресурс].
– Электронные данные. Режим доступа:
https://mmf.bsu.by/wp-content/uploads/2016/11/lec-6.pdf
Термическое
окисление кремния [Электронный ресурс].
– Электронные данные. Режим доступа:
https://studfile.net/preview/2716066/page:34/
Физико-химические
основы микро- и наноэлектроники.
Лабораторный практикум [Электронный
ресурс]. – Электронные данные. Режим
доступа:
https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/6147/1/Dostanko_Fiz.pdf
Термическое
окисление кремния [Электронный ресурс].
– Электронные данные. Режим доступа:
https://studfile.net/preview/7168282/page:23/
Технология
изделий интегральной электроники
[Электронный ресурс]. – Электронные
данные. Режим доступа:
https://www.bsuir.by/m/12_100229_1_75815.pdf
Технология
полупроводниковых интегральных
микросхем [Электронный ресурс]. –
Электронные данные. Режим доступа:
https://studizba.com/lectures/inzhenerija/tehnologija-izdelij-integralnoj-tehniki/40143-struktura-tverdotelnyh-integralnyh-mikroshem.html
Типы
структур ИМС [Электронный ресурс]. –
Электронные данные. Режим доступа:
https://studopedia.org/4-96697.html
Практические
занятия-ФТОПФМиНС.
Учебное
пособие: Парфенов О. Д. Технология
микросхем. – М.: Высшая школа, 1986. – 320
с.