- •Министерство образования Российской Федерации Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Композиционные и
- •Композиционные и
- •Композиционные и
- •Композиционные и
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Композиционные и оксидные проводящие материалы
- •Основные свойства и применение проводниковых материалов
- •Основные свойства и применение проводниковых материалов
Министерство образования Российской Федерации Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
«ЛЭТИ»
Факультет электроники Кафедра микроэлектроники
Материалы и элементы электронной техники
доц. Лазарева Н.П.
Основные свойства и применение тема:проводниковых материалов
13 Композиционные и оксидные проводящие материалы
Композиционные и оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
Композиционные материалы представляют собой механическую смесь проводящего наполнителя с диэлектрической связкой.
Изменением состава и характера распределения компонентов можно управлять электрическими свойствами композиционных материалов.
Особенностью всех композиционных материалов является частотная
зависимость проводимости γ(f), старение при длительной нагрузке и, нелинейность электрических свойств.
В качестве компонентов проводящей фазы используются: металлы, графит, сажа, некоторые оксиды и карбиды.
Функции связующего вещества могут выполнять органические и неорганические диэлектрики.
Из многообразия композиционных проводящих материалов наиболее широко используются контактолы и керметы.
Композиционные и оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
К о н т а к т о л ы, используются в качестве токопроводящих клеев, красок, покрытий и эмалей, представляют собой маловязкие, либо пастообразные полимерные композиции.
Связующими веществами в них служат органические соединения синтетические смолы – эпоксидные, формальдегидные, кремнийорганические и др., а токопроводящим наполнителем является мелкодисперсный порошок металла ( серебра, никеля, палладия, меди).
Необходимая вязкость контактолов перед их нанесением на поверхности обеспечивается введением растворителей (ацетон, спирт и др.).
Отверждение контактолов, как правило, происходит в процессе нагревания их до определенной температуры .
Композиционные и
оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
К о н т а к т о л ы
Большую роль в формировании контактов между частицами металлов в композиции играют внутренние напряжения, возникающие при отверждении в результате усадки из-за улетучивания растворителя и полимеризации связующего вещества.
По сравнению с мягкими припоями контактолы обладают более высокой прочностью, эластичностью, хорошими адгезионными и
антикоррозионными свойствами. Но их объемное удельное электрическое сопротивление примерно на порядок выше, чем у припоев.
Наиболее высокой проводимостью и стабильностью свойств при различных климатических воздействиях отличаются контактолы, содержащие серебро.
Наиболее дешевыми являются проводящие клеи на основе графитового наполнителя.
Композиционные и
оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
К о н т а к т о л ы
Контактолы применяют:
для создания контактов между металлами, металлами и полупроводниками, металлами и графитом или электропроводящей резиной;
для создания электродов или токопроводящих коммуникаций на диэлектрических подложках.
Их используют:
при монтаже гибридных интегральных микросхем, изготовлении электродов к керамическим конденсаторам, при соединении кварцевых элементов пьезодатчиков, при экранировании помещений и приборов от помех,
в гибких волноводах и других изделиях электронной техники.
Композиционные и
оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
К е р м е т ы
К е р м е т а м и называют металлодиэлектрические композиции с
неорганическим связующим.
Они предназначены для изготовления тонкопленочных резисторов. Преимуществом керметных пленок является возможность варьирования удельного сопротивлением в широких пределах.
Наибольшее распространение получила микрокомпозиция Сr—SiO, тонкие пленки которой изготавливают методом термического испарения и конденсации в вакууме с последующей термообработкой для стабилизации свойств.
При термообработке за счет взаимодействия компонентов происходит вытеснение оксидной прослойки между зернами с образованием фазы Cr3Si (силицид хрома). В результате сопротивление изоляционных
прослоек между зернами заменяется сопротивлением контактирования.
Композиционные и
оксидные проводящие материалы
Композиционные материалы
К е р м е т ы
В толстопленочных микросхемах используют резисторы, получаемые на основе композиции стекла с палладием и серебром.
Стекло размалывают в порошок до размера зерен 3...5 мкм, смешивают с порошком серебра и палладия, вспомогательной органической связкой и растворителем.
Получаемую пасту наносят на керамическую подложку и спекают в обычной атмосфере.
Удельное сопротивление пленок зависит от процентного содержания проводящих компонентов и режима спекания.
Композиционные и оксидные проводящие материалы
Проводящие материалы на основе оксидов
Большинство чистых оксидов металлов в нормальных условиях являются хорошими диэлектриками.
Но при неполном окислении (при нарушении стехиометрического состава из-за образования кислородных вакансий), а также при введении некоторых примесей проводимость оксидов резко повышается.
Такие материалы можно использовать в качестве контактных и резистивных слоев.
Наибольший практический интерес представляют диоксиды олова и индия (SnO2, In2O3). В радиоэлектронике они используются
преимущественно в виде тонких пленок.
Композиционные и оксидные проводящие материалы
Проводящие материалы на основе оксидов
Пленки SnO2 и In2O3 получают различными способами:
термическим вакуумным испарением и конденсацией с последующим отжигом на воздухе, окислением пленок металлического олова, осажденного на диэлектрическую подложку, реактивным катодным или ионно-плазменным распылением и др.
Оксидные пленки SnO2 отличаются высокой адгезией к керамическим или
стеклянным подложкам. Прочность сцепления достигает 20 МПа, что намного больше, чем у металлических пленок.
Удельное сопротивление пленок зависит от степени нарушения стехиометрического состава и может составлять 10–8 Ом∙м.
Нагрев пленок SnO2 выше 240°С приводит к необратимому изменению сопротивления в результате более полного окисления.
Вместе с тем пленки устойчивы ко многим химическим средам — разрушаются только плавиковой кислотой и кипящей щелочью.
Композиционные и оксидные проводящие материалы
Проводящие материалы на основе оксидов
Тонкие слои диоксида олова обладают ценным оптическим свойством — высокой прозрачностью в видимой и инфракрасной частях спектра.
Собственное поглощение пленок SnO2 толщиной до 2 мкм в видимой части спектра не превышает 3 %.
Сочетание высокой оптической прозрачности и повышенной электрической проводимости пленок SnO2 и In2О3 обусловливает их
применение в качестве проводящих покрытий на внутренних стенках стеклянных баллонов электровакуумных приборов, электродов электролюминесцентных конденсаторов и жидкокристаллических индикаторов, передающих телевизионных трубок, преобразователей и усилителей изображения и др.