05 семестр / Лабораторные работы / лаба 1 / Лаба №1

Московский Энергетический Институт (ТУ)

КАФЕДРА

ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ

Лаборатория

Основы вакуумной техники

Лабораторная работа №1

“Высоковакуумная установка и основные приемы работы на ней”

Выполнил:

студент группы ЭР-5-05

Морылев Михаил Владимирович

Принял:

преподаватель

Москва,2007 г.

Цель работы:

ознакомление с основными элементами вакуумной системы и приемами работы на ней.

Задание:

определить объем вакуумной системы установки.

ПЛАН ВЫПОЛНЕНИЯ

1. Откачать систему насосом предварительного разрежения.

2. Определить предельное разрежение, создаваемое насосом предварительного разрежения.

3. Откачать систему насосом высокого вакуума.

4. Определить предельное разрежение, создаваемое насосом высокого вакуума.

5. Проверить герметичность.

6. Определить объем системы с помощью дозировального устройства.

Экспериментальные данные

1.Определение предельного разрежения, создаваемое НПР.

∆h,мм

34

33

32

32

32

2.Определение предельного разрежения, создаваемое НВВ.

∆h,мм

5

5

5

5

5

Схема установки

PL – компрессорный манометр; CV – баллоны;

CV 1 – уравнительный баллон; BL – ловушки;

PT – манометрические преобразователи, термопарные;

NL – насос предварительного разрежения;

ND – насос высокого вакуума;

VF – краны;

PA – манометрические преобразователи, ионизационные;

Параметры установки

U_нвв=220 В; газ – аргон;

I т/пары=136 мА; Р=600 мм.рт.ст.;

С=5,5×10^-6; V=2 л;

дозировальное устройство

V1=1,4 см³; V2=650 см³;

V3=1,65 см³; V4=2500 см³;

пропускная способность трубопровода для циркуляции 90 см³/с.

3.Проверка герметичности системы показала, что за время опыта система осталась герметична, т. к. давление не изменилось.

4.Определение объема системы с помощью дозировального устройства. Расчет «цены порции»:

- «цена порции»

мм.рт.ст. см³

Объем системы

Объем системы ∆h, мм	до впускания воздуха	и после
	20	26

см³ =1,3 л;

см³=3,6 л;

л.

Выводы: