экзамен / Патент Р
.docСПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА
ПУЛЬСАЦИИ ДАВЛЕНИЯ
Устройство для определения пульсаций давления применяется в гидравлике, электрогидравлике, буровых установках и др. Способ изготовления емкостного датчика пульсации давления, в котором на верхней поверхности диэлектрической пленки путем фотолитографии формируют обкладки конденсатора с выводами, расположенными в первом и втором рядах противоположно друг другу, и боковые экраны, изготавливают перфорированную диэлектрическую пленку, на мембране из металла формируют верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки.
Целью изобретения является повышение точности и уменьшение экономических и энергетических затрат.
Формула изобретения
Способ изготовления емкостного датчика пульсации давления, в котором на верхней поверхности диэлектрической пленки путем фотолитографии формируют обкладки конденсатора с выводами, расположенными в первом и втором рядах противоположно друг другу, и боковые экраны, изготавливают перфорированную диэлектрическую пленку, на мембране из металла формируют верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки.