Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

MSS / Лекционный материал / Литература / Кривченко Т., Чепурин И. Полупроводниковые датчики компании Motorola

.pdf
Скачиваний:
47
Добавлен:
22.03.2016
Размер:
1.01 Mб
Скачать

ДАТЧИКИ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ КОМПАНИИ MOTOROLA

Татьяна Кривченко, к.т.н., старший инженер ООО «ЭФО», Илья Чепурин, инженер по поддержке продукции Сектора полупроводниковых компонентов компании Motorola

Сегодня полупроводниковые датчики — одно из наиболее дина& мично развивающихся направлений в области элементной базы из& мерительных систем. Совершенствование технологий открывает возможности дальнейшей миниатюризации компонентов и реали& зации интегрированных решений для широкой номенклатуры изде& лий. С одной стороны, это снижает стоимость датчиков, а с другой — делает их более удобными и простыми в использовании.

В этой статье мы представим краткий обзор основных типов дат& чиков компании Motorola, их характеристик, областей применения и тенденций развития.

ВВЕДЕНИЕ

Компания Motorola выпускает широкий спектр полупроводниковых дат- чиков. Это датчики давления и ускорения, специализированные микросхемы датчиков дыма и аварийной сигнализации, датчики изображения. Развиваются новые направления: недавно был представлен бесконтактный дат- чик объема, способный строить трехмерный образ объекта по измерениям в слабом электрическом поле.

ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ

Полупроводниковая технология фирмы Motorola позволила создать упругий элемент датчика давления

Изготавливаемый таким способом монолитный кремниевый измеритель давления, запатентованный фирмой Motorola, получил название X-ducer™ из-за крестообразного расположения четырех выводов. Одна пара выводов элемента давления (см. рис. 1) служит для подачи напряжения питания, а со второй пары снимается разность потенциалов, линейно зависящая от приложенного напряжения и механи- ческого давления.

Объединенный с подложкой кристалл датчика может образовывать абсолютный или дифференциальный чувствительный элемент (см. рис. 2).

За счет подложки внутри абсолют-

мы Motorola на группы — степень интеграции. Различают следующие типы датчиков:

некомпенсированные датчики (Uncompensated);

термокомпенсированные и калиброванные датчики (Compensated);

интегрированные датчики (Integrated);

медицинские датчики (Medical). Простейшие некомпенсированные

датчики содержат на кристалле один элемент X-ducer™. Более сложные термокомпенсированные и калиброванные датчики содержат, кроме того:

термисторы для коррекции температурной погрешности нуля и чувствительности датчика;

дополнительные подгоночные резисторы, сопротивления которых в процессе производства подстраиваются лазером для минимизации разброса нулевого смещения и чувствительности датчиков от образца к образцу.

В структуру датчиков, которые называются интегрированными или датчиками со стандартным выходным сигналом, введен дополнительный усилитель, который приводит выходное напряжение датчика к стандарт-

âвиде кремниевой диафрагмы, ного элемента образуется вакуумный ному входному диапазону интеграль-

непосредственно на которую мето-

промежуток, относительно которого и

íûõ ÀÖÏ.

 

 

 

 

 

дом ионной имплантации внедряют

выполняются измерения. Дифференци-

Медицинские датчики по степени

тензорезистивную структуру. Сцеп-

альный чувствительный элемент «отк-

интеграции можно было бы отнести к

ление тензорезистора и кремниевой

рыт» с обеих сторон диафрагмы, но

термокомпенсированным датчикам, но

мембраны

на молекулярном уровне

всегда оговаривается, что большее дав-

они выделены в отдельную группу,

позволяет

исключить погрешности,

ление должно подаваться со стороны

поскольку их тип корпуса, а также ра-

связанные с передачей деформа-

P1, а меньшее — со стороны P2.

бочий и температурный диапазоны со-

ции от упругого элемента к тензо-

Основной классификационный

ответствуют специальным медицин-

резистору.

 

признак для деления датчиков фир-

ским приложениям.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 1. Чувствительный элемент X&ducer™ Рис. 2. Дифференциальный (а) и абсолютный (б) чувствительные элементы

«Электронные компоненты» ¹22003

"!

ДАТЧИКИ

Рис. 3. Конструкция базового корпуса датчика давления

Рис. 4. Типы корпусов датчиков давления: а) базовые корпуса; б) SOP; в) DIP; г) MPAK; д) SSOP; е) Medical Chip Pak

Рис. 5. Порты датчиков давления фирмы Motorola: а) одиночный порт для базового корпуса — суффиксы AP и GP; б) дифференциальный порт — DP; в) порт «печная труба» для базового корпуса — AS и GS; г) аксиальный порт для базового корпуса — ASX и GSX; д) порт для корпуса MPAK — AS/GS; e) порт для корпуса SSOP — AC6; ж) аксиальный порт для корпуса DIP — GС7U; з) аксиальный порт для корпуса SOP — AC6/GC6; и) одиночный порт для корпуса SOP — AP/GP; к) вакуумный порт для корпуса SOP — GVP; л) дифферен# циальный порт для корпуса SOP — DP

По виду измеряемого давления раз-

для пайки в отверстия, так и для мон-

личают абсолютные (для измерения аб-

тажа на поверхность, с шагом выво-

солютного давления), дифференциаль-

äîâ 2,54 ìì (SOP è DIP) èëè 1,27 ìì

ные (для измерения разности давле-

(MPAK и SSOP). Корпуса медицин-

ний), относительные (для измерения

ских датчиков выполнены из специ-

избыточного над атмосферным давле-

альных нетоксичных, не вызываю-

ния) и вакуумные (для измерения сте-

щих аллергии материалов, пригодных

пени разрежения) датчики.

для дезинфекции и прошедших не-

Датчики давления разделяют и по

обходимые медицинские тесты. Кро-

типам корпусов, в которые монтируют-

ме трех или четырех рабочих выводов

ся чувствительные элементы. На рисун-

корпуса датчиков имеют также до-

ке 3 показана внутренняя конструкция

полнительные технологические выво-

круглого базового корпуса. Видно, что

ды, которые используются во время

чувствительный элемент

приклеен к

лазерной подгонки внутренних резис-

внутренней поверхности

и защищен

торов.

специальным гелем, который равномер-

Рассмотренные типы корпусов не

но передает давление на мембрану и

имеют специальных приспособлений

изолирует выводы чувствительного эле-

для крепления датчика и подвода сре-

мента от внешней среды.

 

ды, в которой измеряется давление.

Кроме базового широко распрост-

Для этих целей необходим внешний

ранены и другие типы корпусов

дополнительный порт. Motorola пред-

(см. рис. 4). Имеются

корпуса как

лагает датчики в корпусах как с пор-

тами, так и без них. На рисунке 5 изображены датчики в корпусах с портами и приведена их маркировка.

Датчик с дифференциальным чувствительным элементом может быть дифференциальным, относительным или вакуумным в зависимости от типа используемого порта.

Дифференциальный датчик (суффикс DP) оснащен двумя вводами для подачи среды с обеих сторон мембраны.

У относительного датчика (GP, GS, GSX) имеется один ввод для подвода среды со стороны большего давления Р1 и отверстие в корпусе, через которое окружающий воздух свободно поступает с другой стороны мембраны.

Напротив, вакуумный датчик (суффикс VP) имеет ввод со стороны меньшего давления P2.

В сводной таблице 1 приведены основные характеристики датчиков давления Motorola. Эти данные позволяют оценить диапазоны измерения представленных приборов. Из таблицы видно, что абсолютные датчики могут работать в пределах 100...700 кПа, а дифференциальные — 4...1000 кПа.

Датчики давления фирмы Motorola имеют линейную характеристику преобразования со смещением нуля. В технической документации приводятся диапазоны значений напряжения смещения (при нулевом давлении) и размаха выходного напряжения (соответствующего изменению входного сигнала во всем диапазоне измерений). Для исключения ошибок, связанных с разбросом номинальных значений начального смещения и чувствительности, в измерительном устройстве должны быть предусмотрены средства калибровки датчиков.

Составляющими погрешности дат- чиков давления являются:

нелинейность;

гистерезис при изменении температуры и давления;

температурный дрейф начального смещения и чувствительности.

Наиболее точные датчики измерения давления серий MPX4xxx и MPX6xxx имеют суммарную приведенную погрешность ±1,5%.

Инерционность всех типов датчи- ков характеризуется временем отклика на «скачок» входного сигнала, которое составляет 1 мс и временем, необходимым датчику, чтобы войти в рабочий режим после включения питания — 20 мс.

Òåë.: (095) 925-6047

http://www.elcp.ru

""

ДАТЧИКИ

Таблица 1. Датчики давления компании Motorola

Примечание:

А – абсолютный датчик,

D – дифференциальный датчик,

G – относительный (x) или вакуумный (V) датчик

«Электронные компоненты» ¹22003

"#

ДАТЧИКИ

Рис. 6. Емкостной чувствительный элемент

и интегрированная на кристалле измерительная цепь полупроводникового акселерометра фирмы Motorola

Большинство датчиков давления фирмы Motorola предназначены для работы в сухом воздухе. Однако теперь фирма также предлагает датчики серии MPXAZ, обладающие повышенной защитой от воздействия среды благодаря введению дополнительного барьера. Эти датчики были разработаны для использования в условиях повышенного загрязнения воздуха на борту автомобиля.

В настоящее время прослеживается тенденция дальнейшей миниатюризации датчиков давления. Так, приборы в появившихся недавно корпусах MiniPack и SSOP с шагом выводов 1,27 мм, экономичнее и предлагаются по более низким ценам. Появляются новые типы портов для этих миниатюрных корпусов. Развитие также идет и по пути увеличения точности датчиков. Так, новое подсемейство MPX6xxx имеет лучшую термокомпенсацию в области верхней границы температурного диапазона по сравнению со своими предшественниками. В ближайшее время ожидается появление датчиков семейства MPXY, которые объединят в себе функции измерения давления и температуры. Они ориентированы на применение в системах контроля давления в шинах.

Рис. 7. Функциональная схема датчика ускорения

 

 

 

 

 

 

Трудно перечислить все возможные

нижнюю

неподвижные

пластины и

приложения датчиков давления Moto-

центральную пластину, закрепленную

rola. Они используются во многих об-

ïðè

помощи

упругих

элементов.

ластях, например:

 

 

Центральная пластина обладает сейс-

— в автомобильной

è

авиацион-

момассой и может смещаться под воз-

íîé

технике

(измерители

давления

действием

ускорения.

 

Четвертая

воздуха в шинах, индикаторы уровня

пластина

в составе чувствительного

топлива,

альтиметры,

измерители

элемента служит для самотестирова-

давления масла);

 

 

íèÿ

механической и электрической

— в медицине (тонометры и спиро-

частей датчика.

 

 

 

 

метры);

 

 

 

 

Встроенная

измерительная

öåïü

— íà

производстве (уровнемеры,

выполнена на переключающихся кон-

барометры, устройства контроля ка-

денсаторах и содержит:

 

 

 

чества воздушных фильтров);

— интегратор;

 

 

 

— в бытовых пылесосах, стираль-

— усилитель;

 

 

 

ных машинах и даже — электромузы-

— ÔÍ×;

 

 

 

 

кальных ударных инструментах.

— устройство температурной ком-

 

 

 

 

 

 

пенсации;

 

 

 

 

 

ДАТЧИКИ УСКОРЕНИЯ

 

— тактовый генератор.

 

 

Полупроводниковые

акселеромет-

Когда подвижная пластина нахо-

ры (или датчики ускорения) фирмы

дится в среднем положении, уровень

Motorola

 

содержат

 

емкостной

выходного сигнала равен

половине

чувствительный элемент и интегриро-

величины напряжения питания. Из-

ванную на кристалле измерительную

мерительная цепь имеет логометри-

цепь, выполненную по КМОП-техно-

ческую структуру, поэтому начальное

логии (см. рис. 6 и 7).

 

 

смещение и чувствительность датчика

Герметичный емкостной чувстви-

линейным образом связаны с напря-

тельный элемент «G-cell» представля-

жением питания.

 

 

 

ет собой механическую структуру, ре-

Для активации функции самотес-

ализованную

посредством

полупро-

тирования датчика, необходимо по-

водникового процесса из поликрем-

äàòü

уровень

логической

единицы

íèÿ.

Дифференциальный

чувстви-

íà âõîä «self-test». Ïðè ýòîì áëîê

тельный

элемент имеет

верхнюю и

тестирования прикладывает к

тести-

Таблица 2. Датчики ускорения компании Motorola семейства ММА

Òåë.: (095) 925-6047

http://www.elcp.ru

"$

ДАТЧИКИ

Рис. 8. Ориентация чувствительного

Рис. 9. Схемы подключения ионных (а) и фото (б) датчиков дыма

 

 

элемента по осям X и Y

 

 

 

 

 

рующей

 

пластине

 

калиброванный

ности земли, выходной сигнал со-

При этом совокупность аварийных сиг-

электрический

потенциал.

Электри-

ответствует

ускорению

свободного

налов не зависит от вида аварии и мо-

ческое

ïîëå

смещает центральную

падения.

Ïðè

повороте

датчика

жет быть стандартизована. Это позво-

пластину,

è

íà

выходе

датчика

выходной сигнал уменьшается прямо

лило компании Motorola создать уни-

(в случае его исправности) появляет-

пропорционально значению косинуса

версальную интегральную схему (ИС)

ся сигнал заданного уровня.

 

угла, образованного

вертикалью и

аварийной сигнализации МС14600 для

В зависимости

 

îò

ориентации

осью чувствительности датчика.

работы с датчиками различных типов.

чувствительного элемента относитель-

Датчики ускорения широко при-

Функционально эта ИС представ-

но корпуса, датчики ускорения могут

меняются в автомобильной электро-

ляет собой компаратор, срабатываю-

иметь в качестве рабочей ось Z или

нике для измерения ускорения авто-

щий при изменении сигнала на ее

X, или быть чувствительными по

мобиля в

различных

направлениях

входе,

причем порог

срабатывания

äâóì îñÿì XY (ñì. ðèñ. 8).

 

и вибраций,

контроля

состояния

может быть

установлен

посредством

Из таблицы 2 видно, что фирма

шасси, в системах АБС и защиты от

внешних

элементов.

Срабатывание

Motorola

предлагает

акселерометры

опрокидывания, в

противоугонных

датчика происходит и при снижении

для измерения ускорений в пределах

устройствах.

 

 

 

 

 

 

напряжения питания ниже установ-

1,5...250g, с полосой пропускания до

Акселерометры

находят примене-

ленного

 

уровня. Основной сигнал

400 Гц. Эти приборы рассчитаны на

ние и в других областях, например, в

тревоги

звуковой,

создаваемый

напряжение питания 5 В и выпуска-

системах контроля состояния механи-

внешним

трехвыводным

пьезоэлект-

ются в корпусах DIP, SOIC или в

ческих несущих, системах регистра-

рическим

резонатором

(сиреной).

корпусе

Wingback

ñ

односторонним

ции ударов и вибраций, спортивных

Для его управления в МС14600 име-

расположением выводов.

 

 

диагностирующих

приборах, удар-

ется встроенный драйвер, который за

Кроме

использования

â

качестве

ных выключателях.

 

 

 

счет замыкания петли обратной связи

измерителей собственно ускорения и

 

 

 

 

 

 

 

 

поддерживает режим

автогенерации.

вибраций, акселерометры применяют-

ДАТЧИКИ ДЫМА И АВАРИЙНОЙ

Кроме того, есть еще обычный логи-

ся также для определения абсолютно-

СИГНАЛИЗАЦИИ

 

 

 

 

ческий выход для подключения уст-

го угла наклона. Если ось чувстви-

Системы

аварийной

сигнализации

ройства обработки информации.

тельности датчика ускорения распо-

необходимы

â

самых

разнообразных

Интегральные схемы для датчиков

ложена

перпендикулярно к

поверх-

областях

человеческой

 

деятельности.

дыма — одна из разновидностей дат-

Таблица 3. ИС Motorola для построения датчиков дыма и аварийной сигнализации

«Электронные компоненты» ¹22003

"%

ДАТЧИКИ

Рис. 10. Функциональная схема датчика изображения MCM20027

 

 

 

 

 

 

 

 

чиков аварийной сигнализации. Сис-

имеющие более мощные выходы для

Помимо снижения стоимости произ-

темы пожарной безопасности появи-

подключения сирены.

 

 

водства это позволяет реализовывать

лись уже давно, и на рынке представ-

Еще одно важное достоинство ИС

дополнительные функциональные

лено много их разновидностей. Для

датчиков дыма и аварийной сигнали-

устройства непосредственно на крис-

них были разработаны специализиро-

зации – возможность объединения в

талле датчика.

 

 

 

 

ванные ИС, рассчитанные на разные

сеть. На одну линию можно подклю-

Основной

сектор

рынка

äëÿ

типы подключаемых датчиков, ис-

чать до 40 датчиков, при этом сигнал,

КМОП-датчиков — бытовая и автомо-

пользующие

различные

первичные

поступающий от любого из них, акти-

бильная электроника (фото- и видеока-

источники электропитания и отлича-

вирует сигнализацию всех устройств.

меры), где один из наиболее важных

ющиеся рядом эксплуатационных

Так можно оповещать персонал, на-

факторов — цена, а не высокое качест-

параметров. Компания Motorola про-

ходящийся в

разных

помещениях

во изображения.

 

 

 

изводит такие ИС уже более 15 лет

(где установлены объединенные

â

Если сравнивать продукцию раз-

и имеется уже целое семейство

сеть датчики), об аварии или пожаре.

ных производителей датчиков изобра-

устройств, характеристики

которых

 

 

 

 

жения на базе КМОП-технологии, то

приведены в таблице 3, а схема подк-

ДАТЧИКИ ИЗОБРАЖЕНИЯ

 

основное различие — в функциональ-

лючения — на рисунке 9.

 

 

Датчики (или приемники) изобра-

ности, которая может быть реализова-

По типу подключаемых датчиков

жения преобразуют видимое изобра-

на на кристалле. Сегодня четко про-

ИС фирмы Motorola делятся на ион-

жение в электрические сигналы. До

слеживается тенденция к минимизации

ные и фотодатчики. Ионные датчики

недавнего времени по технологиче-

числа компонентов в системе, поэтому

реагируют на изменение тока, проте-

ским и экономическим причинам на

многие производители

сосредотачива-

кающего через ионную камеру. Фото-

рынке доминировали приборы с заря-

ют свои усилия на создании устройств,

датчики содержат систему из светоди-

довой связью (ПЗС или CCD —

представляющих собой интеллектуаль-

ода и фотодиода и срабатывают при

Charge Coupled Device). Однако, из-

ные «камеры-на-кристалле», объединя-

понижении величины тока фотодиода

за присущих им проблем (специфи-

ющие функции приема изображения и

(при уменьшении оптической проз-

ческая технология

производства,

его последующей обработки.

 

 

рачности камеры).

 

 

чрезвычайно

жесткие

требования

ê

В настоящее время датчики изобра-

ИС датчиков дыма рассчитаны на

однородности

исходного материа-

жения компании Motorola представле-

питание от источников переменного или

ла — кремния и степени совершен-

ны двумя разновидностями, изготавли-

постоянного

напряжения

â

пределах

ства технологического процесса), они

ваемыми по субмикронной технологии

6...12 Â.

 

 

 

постепенно уступают «пальму первен-

ImageMOS™.

 

 

 

 

ИС различаются и по типу выход-

ства» устройствам, изготовленным по

Это датчики формата VGA с раз-

ного сигнала. После принятия нацио-

КМОП-технологии. По сравнению с

решением

640 Ч 480 точек

семейства

нальным агентством пожарной безо-

датчиками на базе ПЗС последние

MCM20014 è SXGA — 1280 × 1024

пасности США в 1999 г. новых требо-

имеют более простую структуру (еди-

точек семейства MCM20027. Сравни-

ваний к сигналам пожарной опасности

ную для поля фотоэлементов и пери-

тельные

характеристики

датчиков

(стандарты NFPA 72, ISO 8201) были

ферии) и меньшее энергопотребле-

этих семейств приведены в таблице 4.

разработаны

интегральные

схемы,

ние, но главное — они производятся

Рассмотрим особенности датчиков

удовлетворяющие этим требованиям и

по традиционной КМОП-технологии.

изображения

фирмы

Motorola

íà

Таблица 4. Датчики изображения Motorola

Òåë.: (095) 925-6047

http://www.elcp.ru

"&

ДАТЧИКИ

Рис. 11. Архитектура пикселов с

«плавающим» затвором

примере приемника MCM20027, функциональная схема которого приведена на рисунке 10. Кроме матрицы фотоэлементов на кристалле интегрированы:

блок тактовой синхронизации;

цепи управления считыванием и обработкой изображения;

10-разрядный ÀÖÏ;

блок первичной коррекции изображения;

интерфейс I2C, который может использоваться для программирования датчика.

Архитектура светочувствительных ячеек датчика, называемая Shared Floating Diffusion, была разработана совместно с фирмой Kodak. Ее упрощенная схема представлена на рисунке 11. Суть технического решения в том, что фотодиоды соседних пикселов в ряду матрицы имеют общий затвор, с которого считывается сигнал, соответствующий интенсивности падающего светового потока.

Использование общего затвора снижает площадь, занимаемую одним пикселом на кристалле, в результате чего повышается коэффициент заполнения (т.е. увеличивается количество чувствительных элементов на единицу площади активного участка датчи- ка), улучшается светочувствительность и снижается уровень шумов. Коэффициент заполнения для датчи- ков цветного изображения искусственно увеличен за счет слоя микролинз поверх матрицы фотоэлементов.

Помимо архитектурных особенностей датчики используют целый

ряд решений, позволяющих получать качественное изображение. Например, для уменьшения уровня шумов применяются технологии Correlated Double Sampling (CDS) и фиксации уровня черного. Суть первой в том, что считывание сигнала с пикселов производится дважды: первый раз в момент сброса (когда под воздействием света в фотодиодах не накапливается заряд), и второй – непосредственно в момент считывания изображения. Выборки сигнала взаимно вы- читаются, благодаря чему подавляются собственные шумы датчика. Для фиксации уровня черного используются пикселы, которые находятся по краям матрицы фотоэлементов и закрыты от света специальной маской. Сигналы с этих пикселов обеспечивают положительную обратную связь и фиксируются каждый раз перед оче- редным считыванием матрицы. Помимо этого, с помощью дополнительного регистра можно задавать определенный уровень смещения, что позволяет управлять фильтрацией нежелательных шумов.

В датчиках цветного изображения применен встроенный байеровский фильтр, обеспечивающий цветопередачу в палитре RGB. Возможно использование другого фильтра для получения цветов в палитре CMYK. Для коррекции баланса белого предусмотрено наличие программируемых усилителей сигнала с фотоэлементов матрицы. С помощью дополнительного встроенного программируемого усилителя можно управлять динамическим диапазоном получаемого изображения.

Еще одна полезная функция — возможность адресации конкретных ячеек фотоэлементов (пикселов), что позволяет реализовывать программируемое «выделение окна» с последующим увеличением изображения в этом окне.

Датчики изображения фирмы Motorola — практически законченное решение для реализации недорогих

цифровых фото- и видеокамер с довольно широким набором функций. В планах дальнейшего развития данного направления — появление датчи- ков с большей разрешающей способностью. Кроме того, планируется выпуск более функционально насыщенных устройств, объединяющих на одном кристалле сам датчик изображения и процессор для обработки фото- и видеоизображений.

ТРЕХМЕРНЫЕ ДАТЧИКИ

Среди выпускаемых компанией Motorola датчиков недавно появился новый интересный продукт — ИС МС33794. Эта микросхема представляет собой бесконтактный датчик объема. Принцип его действия основан на измерении пространственного заряда в электромагнитном поле, создаваемом внешними электродами. Если в это поле поместить объект, то по изменению пространственного заряда можно не только создать трехмерный образ объекта, но и следить за его перемещением.

ИС MC33794 — практически готовое решение для систем наблюдения за положением объектов в пространстве и бесконтактного мониторинга. Уже сейчас эта интегральная схема находит широкое применение:

управление подушками безопасности в автомобиле;

управление координатными стан-

êàìè;

бесконтактный контроль за уровнем жидкости,

бесконтактные выключатели;

устройства типа touch-pad;

системы контроля несанкционированного вторжения.

Подробную информацию о технических характеристиках датчи- ков компании Motorola, а также статьи по их применению с описанием основных схемных и конструктивных решений можно найти на

сайте «Сектора полупроводниковых компонентов» — www.mot-sps.com.

«Электронные компоненты» ¹22003

"'