- •Введение
- •§ 1.1. Тепловые источники излучения
- •§ 1.3. Импульсные источники излучения
- •§ 1.4. Светодиоды
- •§ 1.5. Естественные источники излучения
- •§ 2.2. Прохождение излучения через атмосферу
- •§ 2.3. Пропускание атмосферы в спектральных интервалах
- •Глава 3. Классификация приемников излучения, их параметры и характеристики
- •§ 3.2. Параметры и характеристики приемников излучения
- •§ 3.3. Пересчет параметров приемников излучения
- •Глава 4. Приемники излучения на основе внутреннего фотоэффекта
- •§ 4.1. Принцип действия приемников излучения на основе внутреннего фотоэффекта
- •§ 4.2. Фоторезисторы
- •§ 4.3. Фотодиоды
- •§ 4.4. Приемники излучения с внутренним усилением фототока
- •§ 4.5. Приемники излучения на основе многокомпонентных систем
- •§ 4.6. Многоцветные ПИ, фоторезисторы и фотодиоды с СВЧ-смещением
- •§ 4.7. Координатные ПИ
- •§ 5.1. Физические основы и принцип действия
- •§ 5.2. Электровакуумные фотоэлементы и фотоэлектронные умножители
- •§ 5.4. Электронно-оптические преобразователи
- •Глава 6. Многоэлементные приемники излучения
- •§ 6.1. Многоэлементные приемники излучения на основе фотодиодов и фоторезисторов
- •§ 6.2. Многоэлементные фотоприемные устройства на основе приборов с зарядовой связью
- •§ 6.3. Многоэлементные приемники излучения на основе приборов с зарядовой инжекцией
- •§ 7.2. Болометры
- •§ 7.3. Оптико-акустические приемники излучения
- •§ 7.4. Пироэлектрические приемники
- •§ 7.5. Радиационные калориметры
- •§ 7.6. Приемники на основе термоупругого эффекта в кристаллическом кварце
- •Список литературы
- •Оглавление
Ф Д р — I — п-типа. Увеличить ширину потенциального барьера можно в р+— i— д+-структурах, представляющих собой собствен ный полупроводник i с большим удельным сопротивлением (в 10е— 107 раз более высоким, чем п- и p-области), ограниченный с двух сторон сильно легированными слоями п- и p-типов (рис. 4.15, в). На п- и p-области наносят контакты. Такие ФД получили назва ние р — i— л-фотодиодов. В таких ФД при приложении к контак там напряжения смещения сильное равномерное внутреннее электрическое поле электронно-дырочного перехода сосредоточено в /-области. При малой толщине освещаемого слоя р- или п-типа (0,5 мкм) падающее излучение поглощается в t-слое. Постоянная
времени |
такого p — i— п-ФД |
определяется временем |
пролета но |
|||||
сителей |
через |
переход |
[при |
t-области 0,1 мм |
т = |
(1,7-т-1,3) X |
||
X 10“9 с]. При |
небольшой |
площади перехода |
(~ 2 х 1 0 ~4 см2) |
|||||
и значительной |
толщине |
t-слоя емкость перехода |
мала и время |
|||||
схемной |
релаксации 10~п— 10-12 с. |
|
|
|
||||
Частотная |
характеристика р — t— я-фотодиодов |
в |
коаксиаль |
ном исполнении (корпус представляет собой часть коаксиального кабеля) с площадью перехода около 2 -10"4 см2 простирается до частот примерно 2-10 ГГц. Темновой ток р — t— я-фотодиодов приблизительно равен (1 -г-8) -10“9 А.
Структура р i— п является одной из основных структур вы сокочастотных ФД [57].
§ 4.4. Приемники излучения с внутренним усилением фототока
Лавинные фотодиоды (ЛФД). Такие фотодиоды позволяют реа лизовать внутреннее усиление фототока за счет электрического пробоя р — n-перехода и образования лавинного процесса размно жения поступающих в р — n-переход неосновных носителей. При достаточном обратном электрическом смещении р — п-перехода образовавшиеся при освещении неосновные носители ускоряются электрическим полем и сталкиваются с решеткой кристалла в об ласти р — n-перехода, образуя дополнительные электронно-ды рочные пары (рис. 4.16, а), которые, в свою очередь, совершают
а) |
р-тъ |
6) .V |
|
Я |
р |
|
|
Рис. 4.16. Лавинный процесс в ЛФД (а) и вольт-амперные харак теристики ЛФД (6)
такой же процесс. |
В результате входной ток /вх усиливается |
|
в М раз, где М = |
/ Вых//вх — коэффициент умножения лавинного |
|
фотодиода; |
/ вых — выходной ток ЛФД . |
|
Лавинные фотодиоды обычно работают в предпробойном ре |
||
жиме, поэтому коэффициент М очень чувствителен к колебаниям |
||
напряжения |
Vuev> приложенного к области заряда в р — /1-пере |
ходе. Для инженерных расчетов Л ФД используют эмпирическую зависимость [33]
М = /вых |
= _______!_______= __________ !_________ |
|
/вх |
1 - (Упер/Кпр)" |
1 - l ( V o - Я н Л /У п рГ ’ |
где УПр — напряжение лавинного пробоя, при котором М ->оо;
п = 1,4-=-6 зависит от |
ионизационной способности электронов и |
||||||
дырок используемого |
полупроводника; |
V0 — внешнее напряже |
|||||
ние источника; R H — сопротивление нагрузки. |
|
|
|||||
Максимальный |
коэффициент умножения М наблюдается при |
||||||
V пер — Vnp* |
|
|
___________ |
|
|
||
|
м |
^ л/ |
Vnp |
’ |
|
|
|
|
|
|
max “ V |
nrsAjBX |
|
|
|
где А — площадь |
р — n-перехода; |
rs — последовательное сопро |
|||||
тивление ФД; /вх — плотность входного тока, |
/вх = /ф |
+ /т. |
|||||
Вольт-амперные |
|
характеристики |
Л ФД |
приведены |
на |
рис. 4.16,6. Как видно из рисунка, при повышении Vn характер увеличения тока для разных потоков Ф различен, так как при увеличении Ф концентрация носителей заряда сильно возрастает, что экранирует объемный заряд р — n-перехода и снижает напря женность поля в его области. Это ограничивает /вых и умень шает М .
Лавинные фотодиоды представляют собой полупроводниковые аналоги ФЭУ с лучшим, чем у ФЭУ, отношением сигнал/шум. Ко эффициент умножения темнового и светового токов зависит от приложенного напряжения. Значение достижимого коэффициента умножения М лавинного фотодиода зависит от сопротивления rs, фоновой засветки и значения темнового тока и для кремниевых ФД равно 104— 10б, а для германиевых — 102— 103.
Коэффициент усиления полного тока увеличивается с увеличе нием обратного напряжения, а коэффициент умножения М све тового тока /ф имеет максимум при напряжении пробоя. В Л Ф Д используются либо широкий р — n-переход, либо р — i— п-переход, либо поверхностный барьер Шоттки. Так как дырки имеют боль ший коэффициент ударной ионизации, освещаемая область ста новится п-типа.
Основные виды шумов ЛФД: дробовый, зависящий от коэффи
циента умножения / д Р л ф д |
= ll$ M x, |
где |
х |
= |
2-f-3, |
а также |
токовый, увеличивающийся |
более чем |
в |
М |
раз |
по |
сравнению |
с токовым шумом обычного ФД, что ухудшает порог чувстви тельности. Современный кремниевый Л Ф Д с рабочей поверхно-
а) |
Ф |
|
|
|
|
База |
|
|
|
п |
|
|
р |
|
|
|
-Ч Коллектор |
|
Фотодиод |
Is--- v---- |
|
|
Транзистор |
Рис. 4.17. Схема включения (а), эквивалентная схема (6) и вольт-амперные харак теристики фототранзистора (в)
стью 2 х 10_6 см2 и обратным напряжением 8— 15 В имеет диапа
зон спектральной |
чувствительности 0,35— 1,13 мкм и |
= |
= 0,5 А/Вт при X = |
0,9 мкм; емкость перехода около 1,5 пФ, |
что |
позволяет реализовать частотный диапазон до 10 ГГц, темновой ток /т^ё 10-9 А.
Фототранзисторы. Фототранзистором (ФТ) называют полу проводниковый ПИ на основе использования внутреннего фото эффекта, совмещающий в себе свойства ФД и усилительного триода. Различают униполярные и биполярные ФТ. Униполяр ные ФТ создаются на основе МДП-структур. Различают два их типа: в первом ток обусловлен электронами, и его называют п-ка нальным; во втором — дырками, и его называют р-канальным. Наиболее распространены р-канальные униполярные ФТ.
Чаще всего используют биполярные ФТ, поэтому рассмотрим их более подробно в настоящем параграфе, называя их про сто ФТ.
Биполярным ФТ называют полупроводниковый ПИ на основе использования внутреннего фотоэффекта с двумя р— п-переходами и с дополнительным усилением фототока на втором р — /г-переходе. Такой ФТ состоит из монокристалла германия п-типа (рис. 4.17, а) — базы, — в котором с двух сторон созданы сплав ные р — п-переходы — коллекторный и эмиттерный. Значитель ный эффект усиления фототока ФТ наблюдается при его включе нии с «оборванной» базой (рис. 4.17, б), при этом на эмиттерный переход подается напряжение в прямом, а на коллекторный — в запирающем направлении.
Входным сигналом для ФТ (в отличие от обычного транзистора) служит падающий поток излучения Ф, который и управляет то ком в цепи. Когда ФТ не освещен, через него протекает ток, опре деляемый неосновными носителями, инжектированными из эмит тера, прошедшими базу и достигшими коллектора. Несмотря на то что переход база — эмиттер включен в прямом направлении, число дырок, инжектированных эмиттером на базу, невелико, а сам ток фактически мал. Объясняется это тем, что дырки на капливаются в базе вследствие отсутствия контактирующих от
рицательных зарядов, которые не могут туда поступать из-за
ееобрыва.
При облучении образующиеся дырки диффундируют к эмит
теру и коллектору. Дырки, пришедшие к коллектору, увеличи вают его ток, а электроны создают избыточный некомпенсирован ный отрицательный объемный заряд, уменьшающий потенциаль ный барьер перехода эмиттер— база и резко увеличивающий поток дырок из эмиттера в область базы. Эти дырки, пройдя базовую область, попадают на коллектор и еще больше увеличивают ток ФТ, причем ток за счет дырок, вызванных отрицательным объем ным зарядом в области базы, превосходит значение тока, опреде ляемого дырками, генерированными в базе первоначально под действием света. Таким образом, усиливается фототок. Если есть базовый вывод, его можно использовать для выбора началь ного режима и стабилизации рабочей точки ФТ при изменении окру жающей температуры.
Благодаря усилению фототока интегральная чувствительность ФТ выше, чем у ФД, и достигает 0,2— 0,5 А/млм. Вольтовая чув ствительность ФТ немного выше, чем у ФД (а иногда и ниже), так как темновой ток ФД больше, а рабочее напряжение питания меньше (3 В). Вольт-амперные характеристики ФТ аналогичны ФД (рис. 4.17, в). Они имеют меньшее внутреннее сопротивление, и их характеристики обладают большей крутизной, чем у ФД. Световые характеристики ФТ линейны в широком диапазоне.
По постоянной времени и частотным характеристикам ФТ уступают ФД, так как эмиттерный переход имеет большую ем кость (примерно 10б пФ/см2), что увеличивает постоянную вре мени схемной релаксации (постоянная времени ФТ 10“4— 10-\ с).
Кроме схемы включения с оборванной базой, рассмотренной выше, для ФТ разработаны специальные схемы включения, учи тывающие необходимую стабильность его работы при изменении температуры окружающей среды. Повышения стабильности ра
боты ФТ добиваются применением |
компенсирующих |
элементов |
и отрицательной обратной связи |
по переменному |
току [29]. |
Для того чтобы достичь наибольшей чувствительности схемы включения ФТ с автоматическим смещением (рис. 4.18, а), со противление резистора R x выбирают около 100 кОм, R 2 — таким, чтобы напряжение на эмиттере в прямом направлении равнялось нулю. Термостабильность этой схемы не слишком высока, так как напряжение на коллекторе в силу больших значений R ± и R 2 зависит от температуры.
Наибольшей термостабильностью обладает схема включения ФТ с избирательной связью между эмиттером и базой (рис. 4.18, б). Дроссель в схеме создает короткое замыкание по постоянному току и определенную, зависящую от частоты, связь между эмит тером и базой по переменному току. Рис. 4.18, в показывает за висимость чувствительности схемы от частоты. Для наибольшей
Рис. 4.18. Схема вклю чения фототранзисторов с автоматическим смеще нием (а) у высокостабиль ная схема с избиратель ной связью (б) и ее чув ствительность (в)у схема с избирательной связью (г) и устройство и включение полевого транзистора (д)
чувствительности необходимо, чтобы сопротивление дросселя на частоте модуляции потока излучения /м было равно
|
xL = 2nfJLnv = (30 -г- 100) R a, |
где |
R 9 — сопротивление эмиттерного перехода по постоянному |
току |
в схеме с общей базой; £ др — индуктивность дросселя. |
Схема, показанная на рис. 4.18, б, имеет малую чувствитель ность к фоновой засветке, так как при /м = 0 чувствительность (рис. 4.18, в) близка к нулю. Исследования показали, что нормаль ная работоспособность схемы сохраняется до фоновых засветок 2200 лк и температуры 70 °С. Достоинство схемы — относительно
большее |
значение выходного |
сопротивления |
[33] |
|
|
|
^вых = |
^?к/(1 ~Ь Р)> |
|
где |
— сопротивление коллекторного перехода; Р — коэффи |
|||
циент передачи по току в схеме с общим эмиттером. |
||||
Выходное сопротивление будет в 6— 8 раз |
выше, чем в схеме |
|||
с «оборванной» |
базой. |
|
|
|
При |
низких |
частотах модуляции потока |
излучения дроссель |
в схеме, изображенной на рис. 4.18, б, может быть чрезмерно большим. В этом случае используют схему включения, показан ную на рис. 4.18, г. Схема обладает меньшим выходным сопротив лением (RBblx обратно пропорционально постоянному току эмит тера). Она больше чувствительна к фоновым засветкам и обладает худшей стабильностью, чем предыдущая, из-за отличной от нуля связи между базой и эмиттером по постоянному току. Однако индуктивность дросселя выбирается в этой схеме намного ниже, чем в предыдущей.
5Г. Г. Ишанин идр. |
129 |
ФТ имеют следующие недостатки: нестабильность параметров при изменении температуры; неравномерность чувствительности по полю из-за экранирования освещаемой базы коллектором (при освещении базы со стороны коллектора) или эмиттером (при освещении базы со стороны эмиттера); увеличенный по сравнению с ФД порог чувствительности из-за значительных шумов (у ФТ-1 напряжение шума достигает 5-103 мкВ); большую постоянную времени (10“4— 10"в с).
Учитывая названные недостатки, вероятно, целесообразно в будущем проектировать и изготавливать интегральные ПИ, представляющие собой соединение ФД и обычного транзистора в едином технологическом процессе на одном кристалле, что позволит получить эффективный и малоинерционный ФД и ВЧ транзистор: их соединение дает качественный ФТ [67].
Полевые ФТ. Такие ФТ по сравнению с обычными имеют три электрода: исток, сток и затвор (рис. 4.18, (9) [33]. Между исто ком и стоком образуется фоторезистивный проводящий канал, сопротивление которого изменяется при его облучении и зависит также от потенциала затвора. Расширение р — /г-перехода умень шает сечение канала и увеличивает его сопротивление, и наобо рот. При освещении полевого ФТ переход канал— затвор можно рассматривать как обычный ФД, в цепь которого включено со противление нагрузки R Hy причем фототок /ф на R H пропорцио нален потоку излучения. Падение напряжения на нагрузке AVn =
= # |
н/ф изменит потенциал |
затвора, |
что приведет к изменению |
гока |
стока /с : |
|
|
|
А /с = |
5 ДУН = |
S R J ф, |
где S — крутизна характеристики передачи d IJd V H при напря жении сток— истоки 1/с_и = const.
Токовая чувствительность полевого ФТ
|
5/п. т = |
А1с1/Ф = S /^н/ф/Ф = S R*SIf |
|
|
где S R K — увеличение чувствительности |
полевого ФТ |
относи |
||
тельно ФД |
(более чем на три порядка); |
S j — токовая |
чувстви |
|
тельность |
обычного |
ФД. |
|
|
К недостаткам полевого ФТ относят нелинейность его энер гетических характеристик, так как при больших уровнях потока излучения потенциал затвора становится столь малым, что его изменение уже не влияет на ток стока, который близок к макси мальному значению. Полевые ФТ имеют постоянную времени ~ 10-7 с, определяемую инерционностью цепи затвора и временем
пролета носителей |
через канал. |
|
Фототиристоры. |
Фототиристором называют фотоэлектриче |
|
ский полупроводниковый прибор |
р — п— р — /г-структуры с тремя |
|
р — /г-переходами, при освещении |
которого прибор переводится |
из закрытого состояния в открытое в прямом направлении. Схема работы фототиристора аналогична схеме работы обычного тири стора с той лишь разницей, что управляющей величиной является
|
Рис. 4.19. Схематическое изображение фото |
||
|
тиристора (а) и его |
транзисторный эквива |
|
|
|
лент (б, в): |
|
|
УЭ — управляющий электрод; 3J, Б1, К1 и Э2, |
||
|
Б2, К2 — эмиттер, база, коллектор первого (Тг) |
||
|
и |
второго (Тг) транзисторов |
|
не ток, |
а световой поток (рис. 4.19, а) |
[75]. При отсутствии осве |
|
щения |
эмиттерные переходы фототиристора |
П 1 и Г13 смещены |
в прямомнаправлении,а коллекторный Л 2—в обратном согласно
полярностиприложенного |
напряжения |
питания |
У ПИт- В |
этом |
|||
случае фототиристор заперт, и, если принять |
I &= I к = |
Л а |
|||||
управляющий ток /у = 0 , |
то |
через р — п— р — /г-структуру |
про |
||||
текает ток |
(темновой) |
|
|
|
|
|
|
|
|
г __ |
^КО 1 ~f~^ко 2 |
|
|
|
|
|
|
|
1 — |
(а п + а р) 9 |
|
|
|
где а п |
и |
а р — коэффициенты |
усиления |
по току транзистора |
|||
р — п— р |
и п— р — п соответственно; / Ко1 и / Ко2 — |
обратные |
тем- |
новые токи утечки коллекторных переходов транзисторов п— р— п и р — п— р.
При освещении фототиристора во всей его структуре генери руются пары электрон— дырка, одинаково эффективно участвую щие в увеличении тока через структуру. Одновременно электроны базы р 2 диффундируют к р — n-переходу Я 2 и, будучи неосновными носителями в области р 2, переходят в область объемного заряда, где и рекомбинируют, создавая фототок. Электронно-дырочные
пары, |
генерируемые |
вблизи перехода /7Ь отсасываются через |
Я 2 |
||
и # 3, |
образуя также фототок, при |
условии, что |
расстояние |
от |
|
места их генерации до ближайшего |
р — /г-перехода было бы |
не |
|||
больше диффузионной длины дырок |
Lp и электронов Ln. Когда |
||||
световой поток Ф , |
падающий на фототиристор, |
увеличивается, |
то возрастает фототок и увеличиваются коэффициенты усиления по току а Л и а р эквивалентных транзисторов р— п— р и п— р— п
Рис. 4.20. Характеристика управления и определение по ней дифференциальной чувствительности фототиристора (а)у влияние на нее температуры {б)
(рис. 4.19, б). При некоторых значениях потока Ф суммарный коэффициент а = а п -f а р становится равным единице и фото тиристор переключается в проводящее состояние. Выражение для тока фототиристора при действии освещения
г^К0 1+ ^К0 2“Ь^Ф
“1— [ап (Ф) + а р (Ф)] •
Здесь /ф — суммарный фототок, /ф |
= / ф2 + а п/ ф1 |
+ |
а р/фз, где |
||
Abii |
/ф2» |
— первичные фототоки, |
возникающие |
у |
переходов |
Л ь |
П ш, |
Я 3. |
|
|
|
Рассмотрим некоторые специальные виды параметров и харак теристик фототиристоров.
Х а р а к т е р и с т и к о й у п р а в л е н и я фототиристора называют зависимость напряжения включения фототиристора от управляющего светового потока или освещенности Увкл = f ( Ф ) . Напряжение включения Увкл определяет переход прибора из закрытого состояния в открытое, и с увеличением освещенности
фототиристора |
оно уменьшается (рис. 4.20, а). |
Кривую |
VBKJl = |
|||
= f (Ф) |
можно |
аппроксимировать |
выражением |
|
|
|
|
|
|
|
-Д (ф-фпор) |
|
|
|
|
|
^вкл(Ф) = Увклое |
Ф°пр |
|
|
где Ф |
и |
VBKJI — текущие значения |
потока и напряжения |
вклю |
||
чения; Увкло— напряжение включения при Ф = |
0, равное макси |
|||||
мальному |
напряжению включения У вклтах; |
В — постоянный |
для данного типа тиристора коэффициент; Ф СПр — максимальный управляющий световой поток, при котором спрямляется выход ная вольт-амперная характеристика в характеристику неуправ ляемого фототиристора, когда Ф СПр = Ф таХ; Фпор — пороговый световой поток, определяющий область начальной чувствитель ности фототиристора.