- •А.С. Бадаев а.В. Чернышов
- •1. Микроэллектронные структуры и их строение
- •1.1. Виды химической связи
- •1.2. Основные свойства материалов, определяемые особенностями химических связей.
- •1.3.1. Кристаллические тела
- •1.3.3. Структура аморфных твердых тел
- •1.3.4. Структура тонких металлических пленок
- •1.3.5. Перспективные углеродные структуры
- •1.3.6. Проблема атомных радиусов
- •2. Механические свойства твердых тел
- •2.1. Деформация и механическое напряжение. Закон Гука.
- •2.2. Пластическая деформация кристаллов
- •2.3. Прочность и разрушение твердых тел
- •3. Тепловые свойства твердых тел
- •3.1. Нормальные колебания кристаллической решетки
- •3.1.1. Колебания в одномерной решетке
- •3.1.2. Колебания трехмерной кристаллической решетки
- •3.1.3. Энергия нормальных колебаний. Фононы
- •3.2. Теплоемкость твердого тела
- •3.3. Тепловое расширение твердых тел
- •3.4. Теплопроводность твердых тел
- •3.5. Диффузия в твердых телах
- •4. Основы зонной теории твердых тел
- •4.1. Волновые свойства электронов
- •4.2. Энергетические уровни электрона в изолированном атоме
- •4.3. Энергетический спектр электронов в кристалле
- •4.4. Эффективная масса электрона
- •4.5. Заполнение зон электронами у металлов, диэлектриков и полупроводников
- •5. Физические свойства диэлектриков
- •5.1. Диэлектрическая проницаемость и виды поляризации диэлектриков
- •5.2. Электропроводность диэлектриков
- •5.3. Диэлектрические потери
- •5.4. Электрическая прочность
- •5.5. Сегнетоэлектрики
- •5.6. Пьезоэлектрики
- •5.7. Электреты
- •6. Магнитные свойства твердых тел
- •6.1. Классификация твердых тел по магнитным свойствам
- •6.2. Природа ферромагнитизма
- •6.3. Процессы при намагничивании ферромагнетиков
- •6.4. Поведение ферромагнетиков в переменных магнитных полях
- •6.5. Ферриты
- •6.6. Тонкие магнитные пленки
- •6.7. Магнитный резонанс
- •Часть I
- •394026 Воронеж, Московский просп., 14
5.6. Пьезоэлектрики
К пьезоэлектрикам относятся диэлектрики, которые обладают сильно выраженным пьезоэлектрическим эффектом. Различают прямой и обратный пьезоэффект.
Прямым пьезоэлектрическим эффектом называют поляризацию диэлектрика под действием внешних механических напряжений. Возникающий при поляризации на поверхности диэлектрика электрический заряд пропорционален механическому напряжению и определяется из выражения
, (5.17)
где q – заряд, который приходится на единицу площади (q = Q/s); σ – механическое напряжение в сечении диэлектрика; d – пьезомодуль, значение которого зависит от вида пьезоэлектрика и составляет 10 -11-10-12 Кл/Н.
Пьезоэлектрический модуль определяет поляризацию пьезоэлектрика (или плотность заряда) при заданном приложенном механическом напряжении σ.
Обратный пьезоэлектрический эффект заключается в изменении размеров пьезоэлектрика Δl/l в зависимости от напряженности электрического поля Е по линейному закону
Δl/l = δ = d Е, (5.18)
где δ – относительная деформация.
Величина пьезомодуля d при прямом и обратном пьезоэффекте для одного и того же пьезоматериала равны между собой.
Итак, пьезоэлектрики являются электромеханическими преобразователями, преобразующими механическую энергию в электрическую и наоборот.
Различают продольный и поперечный пьезоэлектрические эффекты. При продольном пьезоэффекте заряды или механическая деформация возникают на противоположных гранях пьезопластинки в направлении приложенного механического усилия или электрического поля соответсвенно. При поперечном пьезоэффекте заряды или деформация возникают в направлении, перпендикулярном направлению механических усилий или приложенного электрического поля соответственно. В случае приложения переменного электрического напряжения к пьезоэлектрику в нем будут возникать переменные механические деформации той же частоты. При этом, при продольном пьезоэффекте образуются волны сжатия и растяжения (продольные волны), а при поперечном пьезоэффекте сдвиговые колебания (поперечные волны). Максимальная амплитуда механических колебаний будет в том случае, когда частота переменного электрического поля будет равна собственной (резонансной) частоте пьезоэлектрика, которая определяется по формуле
, (5.19)
где h – толщина пластины пьезоэлектрика; V - скорость распространения механических волн. Скорости распространения продольной Ve и поперечной Vt волн определяется из выражений
(5.20)
где Е, G – модуль упругости и модуль сдвига пьезоэлектрика; ρ – плотность.
Поскольку модуль сдвига G<Е, то Vt<Vl. Величины этих скоростей связаны соотношением , где μ – коэффициент Пуассона.
Эффективность преобразования электрической энергии пьезопреобразователя в механическую при обратном пьезоэффекте определяется коэффициентом электромеханической связи
(5.21)
где Рэ – электрическая мощность, подводимая к пьезоэлектрическому преобразователю; Ра – мощность механических колебаний, развиваемая пьезоэлектриком. Коэффициент электромеханической связи зависит от вида пьезоэлектрика и колеблется в пределах 0,01-0,3.
Пьезоэлектрический эффект наблюдается в кристаллических материалах с ионной или ковалентной связью, не имеющих центра симметрии. Кроме того, хорошими пьезоэлектрическими свойствами обладают пьезоэлектрики с высоким удельным сопротивлением, так как в проводящих материалах поляризация компенсируется свободными носителями заряда. В настоящее время известно очень большое количество материалов, (в том числе все сегнетоэлектрики), обладающих пьезоэлектрическими свойствами. Все пьезоэлектрики по структуре можно подразделить на монокристаллические и поликристаллические.
Монокристаллические пьезоэлектрики. К этим материалам относятся кристаллы кварца SiO2; пьезоэлектрики на основе ионных сегнетоэлектриков, например, ниобата лития LiNbO3, танталата лития LiTaO3, германата висмута Bi12GeO20 и на основе дипольных сегнетоэлектриков: сульфата лития Li2SO4H2O, дигидрофосфата аммония NH4PO4 и другие.
Кварц является наиболее применяемым пьезоэлектрическим материалом, сохраняющим свои пьезоэлектрические свойства до Т = 573оС, выше которой пьезоэлектрические свойства исчезают, так как структура его переходит в симметричную β-форму.
Плоскопараллельная пластина из кварца с нанесенными электродами представляет собой пьезоэлектрический резонатор. Частоту собственных колебаний пластин различных срезов можно определить по следующим приближенным формулам:
, (5.22)
где h – толщина пластины определенного типа среза.
Кварцевые резонаторы с собственной резонансной частотой f выше 10 МГц изготовить трудно ввиду того, что пластины толщиной менее 0,2 мм мало прочны. Поэтому в резонаторах на более высоких частотах используют нечетные гармоники 3 f, 5 f и т.д. Благодаря высокой добротности кварцевые резонаторы широко используют для стабилизации и эталонирования частоты генераторов. Кварц и сегнетоэлектрики на основе ниобата и тантала лития применяются в качестве электрических фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Поликристаллические пьезоэлектрики получают на основе керамических сегнетоэлектриков поляризацией их в сильном электрическом поле при температуре, близкой к Тк. Из пьезокерамики можно изготовить пьезоэлементы любой формы и размеров с возможностью возбуждения в них как продольных, так и поперечных акустических колебаний. Благодаря высокому значению коэффициента электромеханической связи К пьезокерамику широко используют в качестве пьезопреобразователей для объемных ультразвуковых линий задержки, мощных ультразвуковых излучателей для целей гидроакустики, дефектоскопии, механической обработки материалов, для очистки поверхностей деталей перед нанесением различных покрытий. Пьезокерамические датчики применяют в качестве датчиков давлений, деформаций, вибраций.
Прямой и обратный пьезоэффекты используются при конструировании пьезотрансформаторов высокого напряжения (рис. 5.13) в диапазоне 10-500 кГц.
Рис. 5.13. Схематическое изображение пьезоэлектрического трансформатора напряжения
Коэффициент трансформации по напряжению зависит от геометрии пластин и пропорционален отношению 2l/h. Пьезокерамические трансформаторы могут быть использованы для генерирования высоковольтных импульсов, для питания электронно-лучевых трубок, газоразрядных приборов. Поликристаллические пьезокерамики применяют для изготовления устройств на ПАВ.
Пленочные пьезоэлектрики получают на основе монокристаллических соединений AlN, ZnS, CdS, CdSe и окиси цинка ZnO с определенной кристаллографической ориентацией. Пьезоэлектрическими свойствами обладают также некоторые полимерные материалы в виде механически ориентированных и поляризованных в электрическом поле пленок. Наилучшими пьезоэлектрическими свойствами обладают пленки, на основе поливинилиденфторида (ПВДФ) со структурной формулой CH2-CF2; коэффициент электромеханической связи его составляет 0,16.
Пленочные пьезоматериалы находят применение при создании различных акустоэлектронных устройств.