Лабы / Беск. метод / Lab-6
.docЛабораторная работа №6: «Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников»
Для проведения расчетов откройте папку «Лабораторные работы» на рабочем столе компьютера и дважды щелкните левой кнопкой мыши по ярлыку «Беск. метод», в результате чего в EXEL на экране видеомонитора появится следующая таблица.
|
|
Лабораторная работа №6: |
|
|
|
|||
|
Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Группа: |
|
Бригада: |
|
|
Дата: |
|
|
|
Параметры эталона |
№обр. |
2, |
2, |
Q2 |
2, |
2, |
|
|
Q0 |
|
|
мкм |
кГц |
|
Ом-1*см-1 |
Ом*см |
|
1, Ом*см |
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
1, мкм |
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
1, кГц |
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
Q1 |
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
1, Ом-1*см-1 |
#ДЕЛ/0! |
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
|
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
|
|
|
|
|
|
|
#ДЕЛ/0! |
#ДЕЛ/0! |
Для расчета неизвестного удельного сопротивления измеренных пластин кремния введите в ячейки B6 – B11 следующие параметры датчика и эталонной пластины.
|
Q0 - добротность датчика без пластины |
Ячейка B6 |
|
1 - удельное сопротивление эталона |
Ячейка B7 |
|
1, толщина эталона |
Ячейка B8 |
|
1, - резонансная частота датчика с эталоном |
Ячейка B9 |
|
Q1 - добротность датчика с эталоном |
Ячейка B10 |
После введения этих данных в ячейке B11 будет рассчитана проводимость эталона 1.
Затем введите в ячейки D7, E7 и F7 следующие параметры датчика и измеряемой пластины с неизвестным удельным сопротивлением.
|
2 - толщина измеряемой пластины |
Ячейка D7 |
|
2 - резонансная частота датчика с измеряемой пластиной |
Ячейка E7 |
|
Q2 - добротность датчика с измеряемой пластиной |
Ячейка F7 |
После введения этих данных в ячейках G7 и H7 будут рассчитаны проводимость неизвестной пластины 2 и ее удельное сопротивление 2.
|
2 - проводимость измеряемой пластины |
Ячейка G7 |
|
2 - удельное сопротивление измеряемой пластины |
Ячейка H7 |
Затем введите в ячейки D8, E8 и F8 соответствующие параметры датчика и следующей измеряемой пластины с неизвестным удельным сопротивлением.
После введения этих данных в ячейках G8 и H8 будут рассчитаны проводимость неизвестной пластины 2 и ее удельное сопротивление 2.
И так далее.