Лекции / Старосельский.2005 / ЭКТ4 / 9,10 / 1

157

Часть 9. Энергонезависимые элементы памяти

1. Назначение

Энергонезависимые элементы памяти — приборы, способные сохранять электрическое состояние при отключении питания. Энергонезависимым элементом памяти является ферритовый дроссель, но он не поддается интеграции. В ИМС используются МДПТ, в которых заряд, создаваемый управляющими импульсами в диэлектрике, изменяет пороговое напряжение и сохраняется при отключении питания.

2 основных типа таких МДПТ:

1) МДПТ с плавающим затвором; 2) МДПТ со структурой Металл-Диэлектрик-Окисел-Полупроводник (МДОП).

2. МДПТ с плавающим затвором

Заряд хранится в плавающем затворе.

Запись: инжекция электронов из n-Si через тонкий туннельно прозрачный D₁.

D₂ — толстый (нет туннель-ного эффекта), с высоким  (для снижения управляющего напряжения на затворе).

После записи пороговое напряжение изменяется на

.

Возможна запись УФ-излучением.

Время хранения — до 200 лет.

3. МДОП (МНОП)-транзисторы

Принцип действия – тот же.

Если D₂ — Si₃N₄ (нитрид кремния) – МНОП.

Заряд хранится в ловушках на границе D₁-D₂ и в D₂. Для повышения концентрации ловушек поверхность D₁ легируется (вольфрамом).