Электронорезисты
Так как для
проведения электроно-, рентгенолитографии
в качестве резиста используются одни
и те же составы полимеров, их обычно в
литературе называют электронорезистами.
Чувствительность
электронорезистов (Кл/см2)
зависит от величины минимального
электрического заряда, приходящегося
на единицу площади, необходимого для
полного проявления резиста. Чувствительность
негативных резистов выше, чем позитивных,
но проявленный в нем рисунок имеет
наклонные боковые стенки, что уменьшает
его разрешающую способность. В качестве
негативных резистов используют
полиглицидилметакрилаткоэтилакрилат
(ПГМАКЭА). При облучении в негативном
резисте образуются стимулированные
радиацией поперечные связи в молекулах
полимера, происходит соединение соседних
цепочек молекул. В результате возникает
сложная трехмерная структура с
молекулярным весом, превышающим вес
полимера в необлученных местах.
В позитивных
электронорезистах, напротив, уменьшается
молекулярный вес в экспонированной
области из-за разрыва химических связей
или расщепления цепочек под действием
радиации. Полимер становится растворимым
в растворителе, который не действует
на высокомолекулярный материал.
Позитивными резистами являются
полиметилметакрилат (ПММА), полибутен-1
сульфона (ПБС). Растворителем для
позитивного резиста служит смесь
метилизобутилового кетона (МИБК) и
изопропилового спирта в соотношении
1:1. Позитивные электронорезисты имеют
разрешающую способность менее 0,1 мкм,
тогда как разрешающая способность
негативных резистов, ограниченная их
разбуханием, не превышает 1 мкм.
134
