Технология СБИС / sbis / s_kontr / travl / travl_13

ВОПРОС loc=""+location; inv=loc.indexOf("?")+1; for (var i=inv+2; i39) { msk=Math.pow(2,rnc); p_str=".htm?"+typ+"+"+tch+"+"+msk+"+"+prav; location="../metal/metal_"+rnc+p_str } else location="travl_"+rnc+p_str } else { if (tch>4) { location="../end"+p_str } else location="travl_"+rnc+p_str } } Какой фактор, определяющий селективность и скорость травления при плазменном и реактивном ионном травлении является доминирующим?

Варианты ответов: Плотность мощности

Давление газа

Скорость потока

Состав рабочего газа

Частота прикладываемого электрического поля

Выберите номер правильного ответа 1 2 3 4 5