Технология СБИС / sbis / s_kontr / osazd / osazd_13
.htmВОПРОС loc=""+location; inv=loc.indexOf("?")+1; for (var i=inv+2; i14) { msk=Math.pow(2,rnc); p_str=".htm?"+typ+"+"+tch+"+"+msk+"+"+prav; location="../okisl/okisl_"+rnc+p_str } else location="osazd_"+rnc+p_str } else { if (tch>4) { location="../end"+p_str } else location="osazd_"+rnc+p_str } } В чем заключается главное достоинство плазмохимического реактора с радиальным распределением газового потока?
Варианты ответов: Хорошая однородность пленок
Малый расход газов
Большой объем загрузки
Низкая температура осаждения
Выберите номер правильного ответа 1 2 3 4