Технология СБИС / sbis / travl / travl

Травление 

Введение

Перенос рисунка Субтрактивные и аддитивные методы переноса рисунка

Разрешение и профили краев элементов при субтрактивном переносе рисунка

Селективность и контроль размеров элементов

Методы плазменного травления Общее описание методов плазменного травления

Ионно-плазменное и ионно-лучевое травление

Плазменное травление

Реактивное ионное и реактивное ионно-лучевое травление

Дополнительные вопросы Факторы, определяющие скорость и селективность травления

Контроль вытравливаемого профиля края элемента

Побочные эффекты