Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
6
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
1.7 Кб
Скачать

Субтрактивные и аддитивные методы переноса рисункаСубтрактивные и аддитивные методы переноса рисункаСубтрактивный метод переноса рисунка заключается в осаждении пленки, литографическом покрытии ее маскирующим слоем с рисунком и удалении травлением немаскированных участков пленки. При аддитивном методе, или методе взрывного удаления, вначале на подложку наносится литографическая маска, затем на маску и на незащищенные ею участки подложки осаждается пленка, после чего участки пленки, покрывающие маску, удаляются путем селективного растворения маскирующего слоя в подходящем жидком растворителе, так что пленка, покрывающая маску, может быть поднята и удалена с поверхности подложки.

Схема субтрактивного

переноса рисунка.

Схема аддитивного

переноса рисунка.

Применение субтрактивных методов является предпочтительным для современной технологии СБИС способом переноса рисунка. Аддитивные методы способны обеспечить высокое разрешение, но используются редко.

Соседние файлы в папке travl