Технология СБИС / sbis / osazhd / osazhd

Осаждение окисных пленок 

Общая характеристика процесса осаждения

Кинетика осаждения из газовой фазы

Оборудование

Основные реакции

Поликремний

Двуокись кремния

Нитрид кремния

Пиролитическое осаждение пленок

Сравнение различных методов осаждения пленок