Добавил:
korayakov
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология СБИС / sbis / implant / impl
.htmИонная имплантация
Назначение и применение ионной имплантации
Оборудование
Фаза ионно-имплантированных ионов
Механизм проникновения ионов в подложку
Дефекты и способы их устранения
Отжиг легированных структур
Соседние файлы в папке implant