Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
9
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
2.29 Кб
Скачать

Ионная имплантация 

 

Назначение и применение ионной имплантации

Оборудование

Фаза ионно-имплантированных ионов

Механизм проникновения ионов в подложку

Дефекты и способы их устранения

Отжиг легированных структур

Соседние файлы в папке implant