Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
10
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
1.92 Кб
Скачать

Фаза ионно-имплантированных ионовФаза ионно-имплантированных ионовВведем понятие фазы.M - масса пучка;

m - кратность ионизации атома;

mq - заряд пучка;

E - энергия пучка во время движения через вакуум.Интегрированный заряд определяет дозу имплантированных ионов:

f=Q/mqA, где ,  I - ток пучка ионов

Управление дозой ИИ затруднительно:- присутствием нейтральных частиц в ионном пучке;

- обменом зарядов между ионами;

- вторичной электрической эмиссией из мишени;

- эффектами обратного ионного распыления.Вторичные электроны выбиваются из мишени полями и поглощаются стенками камеры. Поэтому мишень помещают в ловушку Фарадея с приложенным напряжением порядка сотен Вольт, в результате чего большинство вторичных электронов вернется в мишень и схему интегратора заряда.

Происходит распыление материала диафрагмы и попадание его в мишень. Поэтому диафрагмы делают из материалов с низким коэффициентом распыления.

При высокой дозе может наблюдаться распыления атомов примеси из мишени. Насыщение достигается в меньшей степени из-за эффектов каналирования и тепловой диффузии ионов. Таким образом ранее имплантированные атомы перемещаться на большую глубину от поверхности.

Соседние файлы в папке implant