Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
10
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
4.62 Кб
Скачать

Эпитаксия 

 

Введение Причина появления и преимущества технологии изготовления эпитаксиальных пленок

Эпитаксия из газовой фазы Идея метода, схема реактора

Процессы массопереноса

Химическая кинетика

Механизмы наращивания эпитаксиальных пленок

Легирование и автолегирование при эпитаксии

Технологическое оборудование

Выбор оптимальной технологии

Дефекты эпитаксиальных пленок

Молекулярно-лучевая эпитаксия Преимущества метода

Описание процесса МЛЭ

Особенности легирования при МЛЭ

Перспективы развития. Приборы, получаемые с использованием МЛЭ

Дополнительные вопросы Технология "Кремний на изоляторе"

Оценка параметров эпитаксиальных структур

Соседние файлы в папке epitaks