Технология СБИС / sbis / epitaks / epitaks
.htmЭпитаксия
Введение Причина появления и преимущества технологии изготовления эпитаксиальных пленок
Эпитаксия из газовой фазы Идея метода, схема реактора
Процессы массопереноса
Химическая кинетика
Механизмы наращивания эпитаксиальных пленок
Легирование и автолегирование при эпитаксии
Технологическое оборудование
Выбор оптимальной технологии
Дефекты эпитаксиальных пленок
Молекулярно-лучевая эпитаксия Преимущества метода
Описание процесса МЛЭ
Особенности легирования при МЛЭ
Перспективы развития. Приборы, получаемые с использованием МЛЭ
Дополнительные вопросы Технология "Кремний на изоляторе"
Оценка параметров эпитаксиальных структур