Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Самойликов / Коллоквиум / Kolokv / 1 / Руководство пользователя

.doc
Скачиваний:
12
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
513.54 Кб
Скачать

Руководство пользователя.

Программа Termo.exe, разработанная в среде программирования DELPHI, реализует численное решение системы уравнений, описывающей процесс осаждения ЭС кремния на поверхности осаждения. Результаты расчётов предоставляются на экране в виде графических зависимостей. Параметры расчётов задаются пользователем с экрана в интервалах, соответствующих условиям проведения технологического процесса. Расчёты производятся при нажатии кнопки ОК.

В верхней части экрана в виде закладок дан список рассчитываемых зависимостей:

Xi(T), Xi(P), Xi(Cl/H), Si/Cl(X01), Si/Cl(T), Si/Cl(P), Si/Cl(Cl/H) (*)

При выборе курсором одной из них на экране появляется соответствующая ей страница с графиками и параметрами для расчёта, изменив которые, можно провести новый перерасчёт всех зависимостей по кнопке ОК.

Общие правила работы с графиками.

  1. Для более детального просмотра графиков необходимо выделить нужную область прямоугольником, обведя его курсором, начиная с левого верхнего угла и держа левую кнопку мыши нажатой.

  2. Для возврата графиков в первоначальное состояние выделяется курсором любой прямоугольник в области графиков, начиная с правого нижнего угла при нажатой левой кнопке мыши.

3. Параллельный сдвиг области графиков осуществляется при нажатой правой кнопке мыши и движении курсора в направлении сдвига.

И более подробно о каждом режиме расчёта из списка (*).

1. Xi(T) – расчёт зависимости концентраций веществ от температуры предоставляется в следующем виде:

.

Расчёты проводятся для двух состояний ПГС при значениях параметров Ро(1),Cl/H(1) и Ро(2),Cl/H(2). В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика и ширины линии компоненте из ПГС. Графики одинаковых компонент ПГС для различных состояний ПГС имеют один и тот же цвет, отличаются только шириной линии. Просмотреть отдельные графики на экране можно, нажав кнопку [Просмотр выбранных графиков], при этом на экране отображаются графики только тех компонент, которые отмечены в правом верхнем углу знаком  , для установки или снятия которого необходимо один раз щёлкнуть левой кнопкой “мыши” в соответствующем квадратике в правом верхнем углу.

  1. Xi(Р) – расчёт зависимости концентраций веществ от давления предоставляется в следующем виде:

.

Расчёт компонент ПГС проводится для двух состояний ПГС при значениях параметров Тп(1),Cl/H(1) и Тп(2),Cl/H(2). Правила работы с графиками аналогичны правилам, описанным для работы с зависимостями Xi(T).

  1. Xi(Cl/H) – расчёт зависимости концентраций веществ от отношения Cl/H предоставляется в следующем виде:

Расчёт компонент ПГС проводится для двух состояний ПГС при значениях параметров Тп(1),Ро(1) и Тп(2),Ро(2). Правила работы с графиками аналогичны правилам, описанным для работы с зависимостями Xi(T).

  1. Si/Cl(X01) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от начальной концентрации водорода предоставляется в следующем виде:

П араметры Т1, Т2 и Р1, Р2. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.

  1. S i/Cl(Cl/H) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от отношения Cl/H предоставляется в следующем виде:

Параметры Т1, Т2 и Р1, Р2. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.

  1. Si/Cl(Т) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от температуры подложки Тп предоставляется в следующем виде:

Параметры Ро и четыре возможных варианта Cl/H. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.

  1. S i/Cl(Р) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от давления Ро предоставляется в следующем виде:

Параметры Тп и четыре возможных варианта Cl/H. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.

Соседние файлы в папке 1