Самойликов / Коллоквиум / Kolokv / 1 / Руководство пользователя
.docРуководство пользователя.
Программа Termo.exe, разработанная в среде программирования DELPHI, реализует численное решение системы уравнений, описывающей процесс осаждения ЭС кремния на поверхности осаждения. Результаты расчётов предоставляются на экране в виде графических зависимостей. Параметры расчётов задаются пользователем с экрана в интервалах, соответствующих условиям проведения технологического процесса. Расчёты производятся при нажатии кнопки ОК.
В верхней части экрана в виде закладок дан список рассчитываемых зависимостей:
Xi(T), Xi(P), Xi(Cl/H), Si/Cl(X01), Si/Cl(T), Si/Cl(P), Si/Cl(Cl/H) (*)
При выборе курсором одной из них на экране появляется соответствующая ей страница с графиками и параметрами для расчёта, изменив которые, можно провести новый перерасчёт всех зависимостей по кнопке ОК.
Общие правила работы с графиками.
-
Для более детального просмотра графиков необходимо выделить нужную область прямоугольником, обведя его курсором, начиная с левого верхнего угла и держа левую кнопку мыши нажатой.
-
Для возврата графиков в первоначальное состояние выделяется курсором любой прямоугольник в области графиков, начиная с правого нижнего угла при нажатой левой кнопке мыши.
3. Параллельный сдвиг области графиков осуществляется при нажатой правой кнопке мыши и движении курсора в направлении сдвига.
И более подробно о каждом режиме расчёта из списка (*).
1. Xi(T) – расчёт зависимости концентраций веществ от температуры предоставляется в следующем виде:
.
Расчёты проводятся для двух состояний ПГС при значениях параметров Ро(1),Cl/H(1) и Ро(2),Cl/H(2). В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика и ширины линии компоненте из ПГС. Графики одинаковых компонент ПГС для различных состояний ПГС имеют один и тот же цвет, отличаются только шириной линии. Просмотреть отдельные графики на экране можно, нажав кнопку [Просмотр выбранных графиков], при этом на экране отображаются графики только тех компонент, которые отмечены в правом верхнем углу знаком , для установки или снятия которого необходимо один раз щёлкнуть левой кнопкой “мыши” в соответствующем квадратике в правом верхнем углу.
-
Xi(Р) – расчёт зависимости концентраций веществ от давления предоставляется в следующем виде:
.
Расчёт компонент ПГС проводится для двух состояний ПГС при значениях параметров Тп(1),Cl/H(1) и Тп(2),Cl/H(2). Правила работы с графиками аналогичны правилам, описанным для работы с зависимостями Xi(T).
-
Xi(Cl/H) – расчёт зависимости концентраций веществ от отношения Cl/H предоставляется в следующем виде:
Расчёт компонент ПГС проводится для двух состояний ПГС при значениях параметров Тп(1),Ро(1) и Тп(2),Ро(2). Правила работы с графиками аналогичны правилам, описанным для работы с зависимостями Xi(T).
-
Si/Cl(X01) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от начальной концентрации водорода предоставляется в следующем виде:
П араметры Т1, Т2 и Р1, Р2. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.
-
S i/Cl(Cl/H) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от отношения Cl/H предоставляется в следующем виде:
Параметры Т1, Т2 и Р1, Р2. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.
-
Si/Cl(Т) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от температуры подложки Тп предоставляется в следующем виде:
Параметры Ро и четыре возможных варианта Cl/H. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.
-
S i/Cl(Р) – расчёт зависимости отношения Si/Cl от давления Ро предоставляется в следующем виде:
Параметры Тп и четыре возможных варианта Cl/H. В правом верхнем углу дан список соответствия цвета графика параметрам, при которых график рассчитывается.