Лабораторное задание Домашнее задание

1. Ознакомиться с описанием лабораторной работы.

25

2. Изучить по описанию: материалы и свойства исходных плас­тин для изготовления полупроводниковых ИМС; виды и конструкцию элементов биполярных и униполярных элементов полупроводниковых ИМС; виды изоляции элементов на кристалле.

3. Выполнить пп. 1-3 раздела "Требования к отчету".

4. Подготовить форму табл. 6 и 7.

5. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы 1-12.

6. Приготовить миллиметровку (1-2 листа ), карандаш и линей­ку.

Работа в лаборатории

1. Рассмотреть образцы исходных пластин, находящиеся в кассе­те 2-1, и определить их характерные признаки, свойства и область применения. Результаты анализа занесите в форму табл. 6.

2. Рассмотреть под микроскопом семь образцов полупроводни­ковых ИМС по заданному варианту, размещенные в кассете 2-1.

3. Заполнить графы формы табл. 7, используя результаты визу­ального осмотра, табл. 5, принципиальные схемы ИМС и результаты расчета по формулам ( 3 ) и ( 4 ).

4. Зарисовать эскизы топологии элементов ИМС по заданному варианту, указанному в табл. 8, и произвести оптические измерения размеров отдельных областей.

5. Рассчитать удельное поверхностное сопротивление или удель­ную емкость изученных пассивных элементов по формулам ( 1 ) и ( 2 ) соответственно, используя значение параметра из табл. 8 и результаты оптических измерений.

6. Показать преподавателю результаты выполнения работы и оформить отчет в соответствии с разделом "Требования к отчету".

26

Форма табл. 6 Характеристики исходных полупроводниковых пластин

Материал пластины	Характерные приз­наки внешнего вида	Область применения	Параметры и характеристики, определяющие область применения

Форма табл. 7

Характеристики и параметры ПИМС

Обозна­	Выпол­	Способ	Количест­	Коли­	Степень	Плот­	Приме­
чение	няемая	изоляции	во внеш­	чество	интегра­	ность	чание
микросхе	функция	элемен­	них кон­	элемен­	ции, К	упаков­
мы		тов мик­	тактных	тов		ки, Ку,
		росхемы	площадок			см-3

27

Рис. 13. Электрическая схема ИМС 134ЛА8.

Рис. 14. Фрагмент электрической схемы ИМС 134ТМ2

Рис. 15. Фрагмент электрической схемы ИМС 140УД6.

VT2

Рис. 16. Фрагмент электрической схемы ИМС 140УД8.

Рис. 17. Фрагмент электрической схемы ИМС 564ЛЕ5 и 564КТЗ

Рис. 18. Фрагмент электрической схемы ИМС 142ЕН5

Рис. 19. Фрагмент электрической схемы ИМС К590КН9

Рис. 20. Фрагмент электрической схемы ИМС К590КН8