2.8.1. Микроморфология аэс.
При выборе пункта меню «Микроморфология АЭС» производится загрузка модуля Photo, внешний вид которого показан на рисунке 2.4. В этом модуле предусмотрены следующие возможности:
изменение концентрации реагента путем подведения курсора и нажатия левой кнопки мыши на соответствующем месте столбика (оставшийся зеленым отрезок является искомой концентрацией. Точное цифровое значение выводится левее).
Изменение легирующей примеси путем нажатия кнопки с соответствующим химическим символом (кнопка текущей примеси утоплена);
Изменение состава парогазовой смеси и температуры процесса путем передвижения курсора мыши по полю изменения температуры и состава, и нажатия левой кнопки в соответствующей точке (точные цифровые значения выводятся выше);
Вывод кратких теоретических данных путем нажатия кнопки «теория» в служебном поле;
Выход в основное меню (кнопка «выход» там же).
Результатом работы программы является микрофотография поверхности с соответствующим комментарием.
Рисунок 2.3. Внешний вид меню программы Depos.
2.8.2. Термодинамический анализ системы
При выборе пункта меню «Термодинамический анализ системы» производится загрузка модуля Analyze, внешний вид которого показан на рисунке 2.5. В этом модуле предусмотрены следующие возможности:
Выбор температуры процесса путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «Т» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится правее);
Выбор отношения Cl/H аналогично на ползунке «Cl/H» (точное значение там же);
Выбор суммарного давления в системе, перемещая ползунок «å р» (точное значение аналогично);
Вид выводимого графика (от температуры или от отношения Cl/H, стрелка указывает вверх - от температуры, вниз от Cl/H);
Вывод кратких теоретических данных путем нажатия кнопки «теория» в служебном поле;
Выход в основное меню (кнопка «выход» там же).
Результатом работы программы являются графики зависимости давления Si/Cl (Cl/H) либо Si/Cl (T) для заданных параметров T (Cl/H).
В окошке, находящемся левее служебного поля, выводятся результаты расчета парциальных давлений для выбранных параметров системы.
2.8.3. Автолегирование.
При выборе пункта меню «Автолегирование» производится загрузка модуля Autoleg, внешний вид которого показан на рисунке 2.6. В этом модуле предусмотрены следующие возможности:
Выбор температуры термообработки путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «ТТО» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);
Выбор температуры диффузии путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «ТД» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);
Выбор времени эпитаксии путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «tЭ» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);
Выбор времени диффузии путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «tД» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);
Выбор начальной концентрации путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «C0» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);
Выбор легирующей примеси путем нажатия кнопки с соответствующим химическим символом (кнопка текущей примеси утоплена);
Выбор температуры и скорости эпитаксии путем передвижения курсора мыши по полю изменения температуры и скорости, и нажатия левой кнопки в соответствующей точке (точные цифровые значения выводятся левее служебного поля);
Вывод кратких теоретических данных путем нажатия кнопки «теория» в служебном поле;
Выход в основное меню (кнопка «выход» там же).
Результатом работы программы являются профили распределения легирующих примесей в переходном эпитаксиальном слое, которые выводятся в нижнем правом поле.