Metod_Chokhralskogo
.pdf
лять в редакторах «Mathtype» или «Microsoft Equation» и следует располагать непосредственно после текста, в котором они упоминаются впервые. Все формулы должны быть пронумерованы, в тексте работы на них должны быть даны ссылки в круглых скобках.
Пронумерованные формулы, на которые обязательны ссылки в тексте, выносятся отдельной строкой и располагаются по центру рабочего поля. В тексте же допустимо расположение только однострочных выражений, на которые нет ссылок. Номер формулы составляется по тем же правилам, что и номер рисунка и таблицы: арабскими цифрами указывается сначала номер главы (раздела), затем (после точки) порядковый номер формулы в данной главе; оба они заключаются в круглые скобки и выравниваются по правому краю печатного листа. Номер, не умещающийся в строке формулы, располагают в следующей строке ниже формулы. Место номера при переносе формулы – на уровне последней строки. При необходимости перенос допускается делать: в первую очередь на знаках соотношений (=, ≠ и др. ), во вторую – на знаках сложения и вычитания (+, –), в последнюю – на знаке умножения (причем знак точки обязательно в этом случае должен быть заменен на косой крест « »). Перенос на знаке деления не допускается.
Математический знак, на котором разрывается формула при переносе, обязательно должен быть повторен в начале второй строки.
Последовательность расшифровки буквенных обозначений (экспликации) должна соответствовать последовательности расположения этих обозначений в формуле. После формулы перед экспликацией ставят запятую, затем с новой строки без отступа от левого края – слово «где» (без двоеточия), за ним обозначение первой величины, после тире ее расшифровку и далее единицу измерения. Все элементы располагаются в строку. В конце расшифровки каждого элемента ставят точку с запятой, а в конце последнего – точку, например:
I |
U |
|
R |
||
|
,
(5.12)
где I – сила тока, A; U – напряжение, В; R – сопротивление, Ом.
Если правая часть формулы является дробью, то сначала поясняют обозначения величин, помещенных в числителе, в том же порядке, что и в формуле, а затем – в знаменателе. Элементы экспликации рекомендуется располагать в подбор (подряд).
80
При оформлении формул допускается использовать все виды скобок – круглые, квадратные и фигурные. Высота скобок должна быть достаточной, чтобы охватывать находящееся в них выражение, например:
|
|
2 |
G |
СМ |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
x2 |
|
|||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
i |
|
|
P,T |
|
|
|
|
|
|
|
0
.
Основным знаком умножения является точка на средней линии. Косой крест в качестве знака умножения ставят:
а) при указании размеров: 2 × 5 м;
б) при записи векторного произведения векторов: a × b ; в) при переносе формулы на знаке умножения.
При переносе формулы знаки , =, + дублируется в конце верхней и начале нижней строчки:
S |
конф |
k lnW |
||
|
|
|
|
|
|
k N |
A |
|
|
|
|
|
|
|
k ln |
|
N |
|
|
|
|
B |
|
|
NA NB ! NA !NB !
|
N |
|
||
|
|
A |
ln |
|
N |
|
N |
||
A |
B |
|||
|
|
|||
k ln N |
A |
N |
B |
! ln |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
N |
A |
|
|
|
|
N |
B |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
N |
|
N |
|
N |
|
|
N |
|
||||
A |
B |
|
A |
B |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||
N |
A |
! ln N |
B |
! |
|
|
|
|
|
||
ln |
|
N |
B |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
NA NB |
||||
,(1.9)
ε x, y, z 1 |
xy |
ε |
GaP |
1 |
y(1 x) |
ε |
InP |
1 |
xz |
ε |
GaAs |
1 |
(1 x) y |
ε |
InAs |
1 |
|
||||
ε x, y, z 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
ε |
|
|
2 |
ε |
|
|
2 |
ε |
|
|
2 |
ε |
|
|
2 |
||||||
|
GaP |
|
InP |
|
GaAs |
|
InAs |
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
+ x
(1
y z) εGaSb 1 (1 x) 1
εGaSb 2
yz εInSb
εInSb
1
2
.
(1.10)
Многоточие применяется при пропуске членов в ряду суммирования, вычитания или равенства. При этом знаки операции ставятся и перед многоточием, и после него:
f x |
, x |
, ..., x |
a |
a x |
... a |
x . |
1 |
2 |
n |
0 |
1 1 |
n |
n |
Многоточие при перемножении набирается на средней линии выражения, а в системах уравнений, в матрицах и определителях при пропуске строк делается отточие на полную строку.
Размер шрифтов в формуле (на примере Microsoft Equation 3, 0 и 5, 0): «Times New Roman» – обычный 14 pt, крупный индекс 12 pt, мелкий ин-
декс 10 pt, крупный символ 18 pt, мелкий символ 14 pt:
1 B 2 |
nk |
|
X kp A . |
p 1
81
1.5. Сноски
Сноски помечаются в тексте либо «звездочкой», либо надстрочной цифрой (без скобки) со сквозной нумерацией в пределах страницы. Текст печатается через 1 интервал. Размер шрифта:
«Times New Roman»: основной текст – 12 pt, индексы – 10 pt.
1.6. Список использованных источников
Список использованных источников составляется в соответствии с правилами, указанными в ГОСТ 7.1–2003 «Система стандартов по информации, библиотечному и издательскому делу. Библиографическая запись. Библиографическое описание. Общие требования и правила составления». На все работы, указанные в списке использованных источников, даются ссылки в тексте в квадратных скобках [1, 3–5].
Ниже представлены примеры библиографического описания.
1.Иванов И. И. Книга одного-трех авторов. М.: Изд-во, 2010. 000 с.
2.Книга четырех авторов / И. И. Иванов, П. П. Петров, С. С. Сидоров, В. В. Васильев. СПб.: Издательство, 2010. 000 с.
3.Книга пяти и более авторов / И. И. Иванов, П. П. Петров, С. С. Сидоров и др. СПб.: Издательство, 2010. 000 с.
4.Описание книги под редакцией / под ред. И. И. Иванова. СПб.: Издательство, 2010. 000 с.
5.Иванов И. И. Описание учебного пособия и текста лекций: учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2010. 000 с.
6.Иванов И. И., Петров П. П. Описание учебно-методического пособия: учеб.-метод. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2010. 000 с.
7.Иванов И. И. Описание статьи с одним-тремя авторами из журнала
//Название журнала. 2010. Вып. (№) 00. С. 000–000.
8.Описание статьи с четырьмя и более авторами из журнала / И. И. Иванов, П. П. Петров, С. С. Сидоров и др. // Название журнала. 2010. Вып. (№) 00.
С. 000–000.
9.Иванов И. И. Описание тезисов доклада с одним-тремя авторами
//Название конференции: тез. докл. III Междунар. науч.-техн. конф., СПб., 00–00 янв. 2000 г. / СПбГЭТУ «ЛЭТИ». СПб., 2000. С. 000–000.
10.Описание тезисов доклада с четырьмя и более авторами / И. И. Иванов, П. П. Петров, С. С. Сидоров и др. // Название конференции: тез. докл.
III Междунар. науч.-техн. конф., СПб., 00–00 янв. 2000 г. / СПбГЭТУ «ЛЭТИ». СПб., 2000. С. 000–000.
82
11.Описание электронного ресурса // Наименование сайта. URL: http://east-front.narod.ru/memo/latchford.htm (дата обращения: 00.00.2010).
12.ГОСТ 0.0–00. Описание стандартов. М.: Изд-во стандартов, 2010.
13.Пат. RU 00000000. Описание патентных документов / И. И. Иванов, П. П. Петров, С. С. Сидоров. Опубл. 00.00.2010. Бюл. № 00.
14.Иванов И. И. Описание авторефератов диссертаций: автореф. дис. … канд. техн. наук / СПбГЭТУ «ЛЭТИ». СПб., 2010.
15.Описание федерального закона: Федер. закон [принят Гос. Думой 00.00.2010] // Собрание законодательств РФ. 2010. № 00. Ст. 00. С. 000–000.
16.Описание федерального постановления: постановление Правительства Рос. Федерации от 00.00.2010 № 00000 // Опубликовавшее издание. 2010. № 0. С. 000–000.
17.Описание указа: указ Президента РФ от 00.00.2010 № 00 // Опубликовавшее издание. 2010. № 0. С. 000–000.
1.7. Приложения
Каждое приложение следует начинать с новой страницы с указанием наверху посредине страницы слова «Приложение», его обозначения. Приложение должно иметь заголовок, который записывают симметрично относительно текста с прописной буквы отдельной строкой. Выравнивание текста по центру, без отступа, шрифт «Times New Roman» (14 pt), полужирный, интервал 1,5 строки.
83
|
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
ЦЕЛИ, СОДЕРЖАНИЕ И ПРИМЕРНЫЕ ТЕМЫ КУРСОВОЙ РАБОТЫ ....... |
3 |
|
ОСНОВНЫЕ ВОПРОСЫ КУРСОВОЙ РАБОТЫ ............................................... |
8 |
|
1. |
Методы выращивания монокристаллов (краткое описание) .............. |
8 |
|
1.1. Метод нормальной направленной кристаллизации .............................. |
8 |
|
1.2. Метод Чохральского................................................................................. |
9 |
|
1.3. Метод зонной плавки ............................................................................. |
12 |
2. |
Равновесный, эффективный и обобщенный коэффициенты |
|
|
распределения............................................................................................... |
14 |
3. |
Расчет легирования кристалла ................................................................. |
19 |
|
3.1. Расчет концентрации легирующей примеси........................................ |
19 |
|
3.2. Расчет массы легирующей примеси ..................................................... |
24 |
4. |
Распределение примеси вдоль слитка ..................................................... |
25 |
|
4.1. Распределение примеси вдоль слитка при вытягивании |
|
|
кристаллов из расплава .......................................................................... |
25 |
|
4.2. Распределение примеси вдоль слитка с учетом ее испарения |
|
|
из расплава............................................................................................... |
28 |
|
4.3. Распределение примеси вдоль слитка при зонной плавке ................. |
30 |
|
4.3.1. Зонная очистка (проход расплавленной зоны |
|
|
через однородный в среднем образец) ....................................... |
31 |
|
4.3.2. Проход легирующей зоны через чистый исходный образец ... |
33 |
|
4.3.3. Метод целевой загрузки............................................................... |
33 |
5. |
Расчет выхода годного материала ............................................................ |
35 |
6. |
Методы получения однородно легированных кристаллов ................ |
36 |
|
6.1. Метод компенсационного испарения ................................................... |
36 |
|
6.2. Методы получения однородно легированных кристаллов |
|
|
при подпитке из жидкой фазы............................................................... |
37 |
|
6.2.1. Общие сведения о методах подпитки из жидкой фазы ............ |
37 |
|
6.2.2. Распределение примеси вдоль слитка в методе двойного |
|
|
капиллярного тигля ...................................................................... |
39 |
|
6.2.3. Выращивание монокристаллов методом плавающего тигля... |
43 |
7. |
Рентгеновский фазовый анализ как основной |
|
|
метод контроля фазового состава кристалла ........................................ |
44 |
|
7.1. Уравнение Вульфа–Брэгга ..................................................................... |
44 |
84
7.2. Основные факторы, влияющие на ширину рентгеновской |
|
дифракционной линии............................................................................ |
46 |
7.3. Основные факторы, влияющие на интенсивность рентгеновских |
|
дифракционных линий ........................................................................... |
48 |
7.4. Рентгеновский фазовый анализ систем с эвтектическим типом |
|
диаграммы состояния ............................................................................. |
49 |
7.5. Рентгеновский фазовый анализ систем с неограниченной |
|
растворимостью компонентов ............................................................... |
52 |
ТИПОВЫЕ ЗАДАЧИ ............................................................................................ |
55 |
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ДЛЯ ПОДГОТОВКИ К ЗАЩИТЕ |
|
КУРСОВОЙ РАБОТЫ .......................................................................................... |
61 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ..................................................................................... |
65 |
ПРИЛОЖЕНИЯ ..................................................................................................... |
66 |
А. Физико-химические и электрические свойства важнейших |
|
полупроводников ....................................................................................... |
66 |
Б. Некоторые параметры кубических кристаллов и источников |
|
рентгеновского излучения для определения интенсивности |
|
рассеяния рентгеновских лучей ............................................................... |
71 |
В. Указания по оформлению курсовой работы ........................................... |
74 |
85
Александрова Ольга Анатольевна Мараева Евгения Владимировна
Технология материалов микросистемной техники
Учебно-методическое пособие
Редактор Э. К. Долгатов
––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Подписано в печать 17.03.20. Формат 60×84 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 5,5.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 64 экз. Заказ .
––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
86
View publication stats
