Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
8
Добавлен:
13.02.2015
Размер:
17.98 Кб
Скачать

17. Какова нижняя граница определяемых содержаний в электроннозондовом микроанализе? Рассмотреть варианты анализа массивных объектов и тонких пленок.

электронно-зондовый микроанализ — методика, позволяющая с помощью электронного микроскопа или специального электронно-зондового микроанализатора ("микрозонд") получить информацию о химическом составе образца в произвольно выбранном участке микроскопических размеров.

Суть методики заключается в том, что исследуемый образец помещается в вакуумную камеру растрового или просвечивающего электронного микроскопа и облучается сфокусированным направленным пучком электронов высокой энергии. Пучок электронов (электронный зонд) взаимодействует с приповерхностным участком образца глубиной обычно менее нескольких микрон. Объем зоны взаимодействия зависит как от ускоряющего напряжения, так и от плотности материала образца и для массивной мишени находится в диапазоне от первых десятых долей до десяти кубических микрон.

18. Какие методы позволяют получить распределение содержания химического элемента по глубине? Какая разрешающая способность таких методов по глубине?

Методами РЭС можно установить распределение концентрации элемента по глубине образца, для чего применяют, напр., травление поверхности пучками ионов Аr+, Кr+. С их помощью в течение 1 мин с поверхности образца удаляется слой толщиной до неск. десятков нм. Через определ. промежутки времени проводят рентгеноэлектронный анализ поверхности и получают зависимость интенсивностей определ. линий от времени травления (или от глубины, если известна скорость травления). Т. о. можно проводить послойный анализ на глубину до неск. мкм. Используя зависимость интенсивности линий фотоэлектронного спектра от угла, определяют изменения состава образца по глубине до 10 нм без его разрушения.

19. Почему атомно-силовой микроскоп может работать при атмосферном давлении а растровый электронный – нет?

Растровый электронный микроскоп является вакуумным прибором, так как при нормальном атмосферном давлении электронный пучок сильно рассеивается и поглощается, что делает невозможным его фокусировку.  При использовании атомно-силовых микроскопов измерение можно проводить не только в вакууме, но и на воздухе, в атмосфере любого газа и даже в капле жидкости, при использовании атомно-силового микроскопа не требуется, чтобы образец проводил электричество. Все это делает атомно-силовой микроскоп незаменимым для исследования биологических объектов, например - кристаллов аминокислот, белков, клеточных мембран, молекул ДНК и других макромолекул и многого другого

Соседние файлы в папке К предыдущим