Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
9
Добавлен:
13.02.2015
Размер:
99.84 Кб
Скачать

Рассмотрим эти величины на примере ЭЗРСМА и оже-электронной

спектроскопии [23-24] (см. рисунок1). Размер области торможения пучка первичных

электронов (1) в веществе пробы определяется энергией электронов зонда Е0 и

средним атомным номером вещества пробы, то есть ее химическим составом. Характеристическое рентгеновское излучение данного элемента возбуждается

только электронами, энергия которых превосходит потенциал ионизации

соответствующей внутренней электронной оболочки атома – так называемый

критический потенциал ионизации ЕА

крит. Поэтому размер области, в которой возбуждается

характеристическое рентгеновское излучение, будет меньше чем размер области

торможения. На рисунке 1 граница этой области помечена цифрой 4. На пути от

места генерации внутри области 4 к поверхности образца излучение ослабляется.

Поэтому кванты, рожденные в наиболее удаленных от поверхности частях

области 4, могут не достигнуть детектора. В результате этого размер области, из

которой регистрируется сигнал, в общем случае будет меньше размера области, в

которой он генерируется (на рисунке 1 граница области, из которой регистрируется

аналитический сигнал, помечена цифрой 5). Именно размеры этой области

определяют продольную и латеральную локальности рентгеноспектрального

микроанализа. локальность определяется не параметрами прибора, а зависит от

характеристик процессов взаимодействия первичного и вторичного излучений с

веществом пробы. Поскольку для возбуждения характеристического рентгеновского

излучения K-серии требуется энергия в несколько килоэлектронвольт, то это

означает, что локальность в данном случае не может быть существенно уменьшена.

Аналогичная ситуация будет наблюдаться и в случае оже-электронной

спектроскопии [24]. На рисунке 1 цифрой 6 обозначена граница области, в которой

генерируются оже-электроны определяемого элемента. Оже-электроны при

распространении в веществе, взаимодействуют с электронными оболочками атомов

неупругим образом, то есть при этом изменяется их энергия. Поскольку именно их

энергия является единственным характеристическим параметром, позволяющем

идентифицировать химические элементы в составе пробы, то такой электрон, с

21

измененной энергией, уже неотличим от других электронов, образовавшихся в

результате иных процессов вторичной эмиссии. Если электронный спектрометр

настроен на линию, соответствующую оже-переходу определяемого элемента, то

электрон, испытавший дажеоднократное взаимодействие с атомами пробы, если и вылетит из образца в

пределах угла сбора спектрометра, не даст вклада в сигнал. Поэтому аналитический

сигнал в электронной оже-спектроскопии будет регистрироваться только из тонкого

слоя, который на рис.1 обозначен цифрой 7. В этом случае Lоже

прод определяется

толщиной этого слоя и составляет единицы нанометров вне зависимости от энергии

первичного пучка электронов. Латеральная локальность Lоже

лат определяется

размером области рассеяния первичных электронов в направлении, параллельном

поверхности в пределах слоя 6. По этой причине даже при идеально

сфокусированном электронном зонде (оже-микрозонд) Lоже

прод < Lоже

лат. В этом

случае латеральная локальность может составлять миллиметры, а продольная

остается неизменной. Аналогичная ситуация имеет место в

рентгенофотоэлектронной спектроскопии.

Рисунок 1. К понятию «локальность определения».

1 – исследуемый образец; 2 – электронный зонд; 3 – граница области торможения

первичных электронов; 4 – граница области генерации характеристического

рентгеновского излучения элемента А; 5 – граница области, из которой

характеристическое рентгеновское излучение определяемого элемента может быть

зарегистрировано; 6 – область, в которой возникают оже-электроны определяемого

элемента ; 7 – область, из которой выходящие в направлении спектрометра оже-

электроны дают вклад в аналитический сигнал

Соседние файлы в папке К предыдущим