Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:FHOT_KURSAK / титульник_фхот
.docxМИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
(СПбГЭТУ)
Кафедра физической электроники и технологии
КУРСОВОЙ ПРОЕКТ
По дисциплине: «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники»
Выполнил:
студент гр. № 2202
Парфенов Д.С.
Проверил:
Мыльников И.Л.
САНКТ-ПЕТЕРБУРГ
2014
Соседние файлы в папке FHOT_KURSAK