- •1.Мультикристаллический кремний
- •1.1 Процесс получения мультикристаллического кремния из металлургического рафинированного кремния методом направленной кристаллизации Бриджмена-Стокбаргера
- •1.2 Структура мультикристаллического кремния
- •1.3 Особенности роста мультикристаллического кремния
- •2.1 Растворы с ограниченной и неограниченной растворимостью
- •2.2 Равновесный и эффективный
- •3.3 Уравнение Пфанна
- •2.4 Влияние диффузии на распределение примеси
- •3.1 Принцип метода исп-мс
- •3.2 Масс-спектрометр высокого разрешения с ионизацией в индуктивно-связанной плазме element 2
- •3.3 Контроль правильности и метрологические характеристики
- •4.1 Теоретические основы методов физико-химического моделирования
- •1.2. Минимизируемые термодинамические потенциалы
- •4.3 Системы представления термодинамических свойств индивидуальных веществ
- •4.4 Система janaf
- •4.6 Многорезервуарная физико-химическая модель
2.2 Равновесный и эффективный
коэффициенты распределения примесей
Важнейшей количественной характеристикой процесса отчистки, определяющей поведение примеси при кристаллизации и определяющей её характер распределения в кристалле, является коэффициент распределения. Величина К зависит от природы примеси и от состава основного вещества, условия кристаллизации, её скорости и интенсивности перемешивания, от типа фазовой диаграммы соответствующей системы.
При кристаллизации из расплава различие между соотношением компонентов в жидкой и в равновесной с ним твёрдой фазе характеризуется коэффициентом распределения:
(2.1),
где
,
— концентрации примеси в твердой и
жидкой фазах.
При
значении К< 1 (
примесь, понижающая температуру
плавления основного вещества, будет
растворятся лучше, чем в твёрдой фазе.
Кристаллизующая фаза при этом будет
чище расплава. Если примесь повышает
температуру плавления основного
вещества, то она растворяется лучше в
твёрдой фазе, чем в расплаве (
>
)
К >1. Понятие коэффициента распределения
применима только к процессу равновесной
кристаллизации. Равновесная кристаллизация
предполагает переход из жидкого состояния
в твёрдое с бесконечно малой скоростью.
Определяется он опытным путём и,
поскольку, имеют дело с начальной
скоростью процесса, вводят понятия
эффективного коэффициента
.
Различие между эффективным и равновесным
коэффициентами возникает ещё из-за
того, что при конечной скорости
кристаллизации (состояние системы
неравновесное) движущейся фронт оттесняет
примесь (если К <1) быстрее, нежели она
успевает диффундировать в глубь расплава.
Поэтому перед фронтам кристаллизации
(поверхность раздела расплав-твёрдое)
возникает слой обогащённый примесью,
который называется диффузионным слоем
.
Повышение концентрации примеси в
расплаве на фронте приводит к её
возникновению в твёрдой фазе. При К >1
ситуация аналогична, только перед
фронтом кристаллизации обеднённой
примесью. В итоге, экспериментальный
коэффициент распределения является
эффективным и связь между ними определяется
соотношением
Бартона-Прима-Слихтера:
(2.2),
где
V-скорость
перемещения фронта кристаллизации;
D-коэффициент
диффузии примеси в жидкой фазе,
-толщина
диффузионного слоя. [3].
3.3 Уравнение Пфанна
Наиболее простой анализ распределения примесей основан на приближении полного конвективно-диффузионного перемешивания расплава, согласно которому концентрация примеси в слитке определяется её исходной концентрацией в расплаве С0, долей закристаллизовавшейся части f, не зависящим от концентрации эффективным коэффициентом распределения k в соответствии с уравнением Пфанна:
(2.3),
В действительности интенсивность свободной конвекции, характеризуемая соотношением Vδ/D~1, не достаточна, чтобы обеспечить однородность жидкой фазы (V – скорость роста, в среднем равная скорости перемещения системы тигель-расплав-кристалл; δ - толщина диффузионного слоя; D - коэффициент диффузии примеси в расплаве ~10-8 м2/с).[5].
