- •Глава 3 нанотехнологии в прмышленности и энергетике
- •3.1. Наноэлектроника
- •3.1.1. Кремниевая наноэлектроника
- •3.1.2. Углеродная наноэлектроника Электрические свойства углеродных нанотрубок
- •Транзисторы на углеродных нанотрубках
- •Кмоп-структуры на унт
- •Логические элементы и триггеры на унт
- •Устройства памяти на унт
- •Интегральные схемы на унт
- •Электрические свойства графена
- •Способы создания запрещенной зоны в графене
- •Полевые транзисторы на графене
- •Графеновый транзистор с затвором из нанонити
- •Полевой туннельный транзистор на графене
- •Интегральные схемы на графене
- •Полевые транзисторы на молибдените
- •3.1.3. Одноэлектроника
- •Одноэлектронное туннелирование
- •Принцип действия одноэлектронного транзистора
- •Технология изготовления одноэлектронных транзисторов
- •3.1.4. Молекулярная электроника Общие сведения о молекулярной электронике
- •Технология получения молекулярных структур
- •Элементы молекулярной электроники.
- •3.1.5. Спинтроника Физические основы спинтроники
- •Элементы и устройства спинтроники
- •Перспективы развития спинтроники
- •3.2. Нанофотоника
- •3.2.1. Светоизлучающие приборы и структуры Светодиоды
- •Полупроводниковые лазеры с гетероструктурой
- •Лазеры на квантовых точках
- •Квантово-каскадные лазеры
- •3.2.2. Полупроводниковые фотоприемники Задачи, решаемые фотоприемными устройствами
- •История развития полупроводниковых фотоприемников
- •Фотоприемники на квантовых ямах
- •Фотоприемники на квантовых точках
- •3.2.3.Фотонные кристаллы Общие сведения о фотонных кристаллах
- •Методы изготовления фотонных кристаллов
- •Свойства и применение фотонных кристаллов
- •3.3. Нанотехнологии в энергетике
- •3.3.1. Водородная энергетика
- •Получение водорода
- •Хранение и транспортировка водорода
- •Использование водородного топлива
- •Нанотехнологии в водородной энергетике
- •3.3.2. Солнечная энергетика Общие сведения о солнечной энергетике
- •Фотоэлектрические преобразователи
- •Нанотехнологии в солнечной энергетике
- •3.3.3. Накопители электроэнергии. Ионисторы Общие сведения о накопителях электрической энергии
- •Ионисторы
- •Применения нанотехнологий при изготовлении ионисторов
- •3.4. Микроэлектромеханические и наноэлектромеханические системы
- •3.4.1. Микроэлектромеханические системы Общие сведения о мэмс и нэмс
- •История развития мэмс
- •Технология изготовления мэмс-устройств
- •Конструкции мэмс-устройств и их принципы действия
- •Микроакселерометры
- •Микроэлектромеханические микрофоны
- •Микроэлектромеханические гироскопы
- •Оптические элементы и системы
- •3.4.2. Наноэлектромеханические системы (нэмс)
- •Наноактюаторы
- •Наносенсоры
3.2.1. Светоизлучающие приборы и структуры Светодиоды
Светодиод представляет собой полупроводниковый прибор с одним электронно-дырочным переходом (а также гетеропереходом или переходом металл-полупроводник), в котором оптическое излучение формируется при протекании через переход в прямом направлении электрического тока. Принцип действия светодиода основан на излучательной рекомбинации электронов и дырок при их инжекции через потенциальный барьер p-n-перехода (рис. 3.72). Черными стрелками на рис. 3.72 показана инжекция электронов и дырок, красными стрелками – их рекомбинация. Через Ec и Ev обозначены соответственно дно зоны проводимости и потолок валентной зоны, через Fp и Fn – квазиуровни Ферми. При наличии прямого смещения (U > 0) энергетическое положение квазиуровней Ферми Fp и Fn отличается на величину eU.
Рис. 3.72. Энергетическая диаграмма гомогенного p-n-перехода в полупроводнике
при прямом смещении U
Вероятность излучательной рекомбинации пропорциональна концентрации электронно-дырочных пар, поэтому для повышения эффективности преобразования электрической энергии в световую наряду с повышением концентраций основных носителей заряда в p- и n-областях необходимо уменьшать толщину активной области, в которой идет рекомбинация. В обычных гомогенных p-n-переходах эта толщина не может быть меньше диффузионной длины – среднего расстояния, на которое диффундируют инжектированные через переход носители заряда до их рекомбинации. Ограничить толщину активной области, в которой происходит излучательная рекомбинация электронно-дырочных пар, можно путем создания гетеропереходов с помощью эпитаксиального выращивания полупроводниковых слоев, обладающих различной шириной запрещенной зоны. В качестве примера на рис. 3.73 представлена энергетическая диаграмма гетероструктуры на основе InGaN/AlGaN/GaN. Активной областью является узкозонный полупроводниковый твердый раствор InxGa1-xN, c обеих сторон от него находятся слои широкозонного полупроводника, через которые можно выводить излучение без заметного поглощения.
Рис. 3.73. Энергетическая диаграмма гетероструктуры InGaN/AlGaN/GaN при прямом смещении
На гетерограницах узкозонного и широкозонного слоев образуются потенциальные барьеры для электронов ΔEc и дырок ΔEv. Если приложить к переходу прямое смещение, возникнет инжекция электронов и дырок с обеих сторон в узкозонный слой. Электроны будут стремиться занять положения с наименьшей энергией, спускаясь на дно потенциальной ямы в слое, дырки устремятся вверх – к краю валентной зоны, где минимальна их энергия. Области широкозонных полупроводников обычно сильно легируют примесными атомами, поэтому концентрация основных носителей заряда в них может быть достаточно большой. В этом случае, даже не легируя активную узкозонную область гетероструктуры, можно получать в ней высокую концентрацию электронно-дырочных пар.
Представленная на рис. 3.73 структура имеет одну квантовую яму для электронов и дырок, образованную двумя гетеропереходами (двойная гетероструктура). Наличие тангенциальных механических напряжений, направленных параллельно гетеропереходу и вызванных рассогласованием кристаллических решеток различных полупроводников, вызывает образование поляризационных зарядов в активной области. Возникающее при этом в активном слое внутреннее электрическое поле разделяет электроны и дырки, снижая тем самым вероятность излучательной рекомбинации. Более эффективны в этом плане структуры с несколькими квантовыми ямами, толщина которых составляет сотни и даже десятки атомных слоев. В таком сверхтонком слое сказываются эффекты размерного квантования, проявляющиеся, в частности, в зависимости энергетического спектра электронов и дырок от толщины слоя. Это открывает возможность регулировать цвет излучения, изменяя не химический состав полупроводника, а толщину активной области.
