2012 Драгунов Микро- и наноэлектроника
.pdf
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
|
= § |
S · |
Q 8 |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
¨ |
O |
¸ |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P © |
¹ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( ( |
|
|
= § |
S · |
|
|
= |
§ |
S · |
|
= § |
S · |
|
|
|||||||||
|
|
|
¨ |
¸ |
|
|
¨ |
|
¸ |
|
|
|
|
¨ |
¸ |
||||||||
|
|
|
|
|
|
O |
|
P |
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
P © |
O ¹ |
|
|
|
P © |
¹ |
|
© |
O ¹ |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
|
|
|
: |
|
|
|
||||||
|
|
8 |
|
|
|
8 |
|
( |
|
8 |
|
: |
|
|
: |
[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( 8 
- |
< |
$ H[SE[ |
° |
$ H[SLN[ % H[S LN[ |
|
®< |
||
° |
< |
% H[S E[ |
¯ |
||
E P 8 ( = N P( = |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
|
$ H[S E: |
$ H[S LN: % H[SLN: |
|
|
|||||
° |
$ EH[S E: |
LN$ |
H[S LN: LN% |
H[SLN: |
|
|
||||
° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
® |
|
$ H[SLN: % H[S LN: |
% H[S E: |
|||||||
° |
|
|
||||||||
°LN$ |
|
H[SLN: LN% H[S LN: |
E% |
H[S E: |
|
|||||
¯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ª H[S E: |
H[S LN: |
|
H[SLN: |
|
« |
|
LN H[S LN: |
|
LN H[SLN: |
«EH[S E: |
|
|||
« |
|
H[SLN: |
|
H[S LN: |
« |
|
LN H[SLN: |
LN H[S LN: |
|
¬ |
||||
|
|
|
|
|
º
»
»
H[S E: 
» EH[S E: 
»¼
LNEH : ELN N H : ELN LNEH : ELN |
|
||
N H : ELN E H : ELN E H : ELN |
|
||
|
|||
|
|
|
|
|
|
H LN: |
§ N LE · |
|
|
||
¨ |
|
¸ |
|
|
|
|
|||||
|
© N LE ¹ |
|
|
||
|
|
||
N E |
|
FWJN: |
|
NE |
|||
|
|||
E 
N 
N:SQ DUFVLQ(
8
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
± |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
[ |
|
|
|
P |
˜ |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
P ˜ |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
|
|
|
O |
|
|
P |
˜ |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
|
: |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
'( |
|
Q |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
|
: |
|
|
|
[ |
|
|
|
||||
|
|
|
w\ w[ \ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
P |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3PD[ |
|
|
|
: |
|
|
|
|
( |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
P P ± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
f |
= |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
³ |
|
|||
( |
||||||||
P |
|
|||||||
|
|
|
|
f |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
: |
||||
G\ |
|
|
|
f |
|
|
|
G[ |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
G[ |
³ 8 [ |
|
\ |
|
|
||
|
|
|
|
||||||
G[ |
|
|
|||||||
|
|
|
f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
˜ |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
8 |
|
|
± |
|||||
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
˜ |
|
|
|
|
|
± ( |
|
˜ |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
8 |
|
|
|
± 8 |
|
˜ |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
˜ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
˜ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
˜ |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
' |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Q6L |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
8 |
[ |
|
P |
˜ |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
P P ± |
||
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
||
: |
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
' |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
G |
|
|
|
|
|
|
8 [ |
DG [ P |
P |
|||
D |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
G |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
G |
|
|
|
|
|
8 [ DG [ / |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
P |
P D |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
<cc [ 9 [ < [ 8 [ < [ |
(< [ |
|
|
|
|
|
P |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9 [ ± |
|
|
|
8 [ ± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9 [ |
- |
[ : |
|
|
|
|
||
|
|
|
® |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
¯f |
[ [ ! |
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
) |
|
|
|
|
[ |
|
|
|
|
|
|
|
[ : |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
8 [ |
T)[ FRQVW |
|
|
|
|
|
T ± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 [ |
|
|
[ |
|
|
8 [ |
T)[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
<cc [ T)[< [ |
(< [ |
|
|
|
||
|
|
|
P |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[ 
] [ (
T) PT) 
=
<cc ] ]< ]
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
< ] & $L ] & %L ] |
|
|
|
|
||
$L ] %L ] ± |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
] $L ] %L ] ± |
|
|
|
|
|
|||
] ! $L ] o %L ] o f |
|
$L ] %L ] ± DQ EQ |
||||||||
|
|
|
± |
|
|
|
Q |
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
D |
|
|||
D |
|
D |
D |
|
E |
|
E |
|
||
E |
E |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[ [ : < |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(Q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
$L = %L = $L = %L = |
|
|
|
|||||||||||||||
= = |
|
|
|
|
|
|
] |
|
|
[ : [ |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
& & |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
& |
|
|
$L = |
|
|
$L = |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
& |
%L = |
|
%L = |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
: o f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
< [ o |
|
|
[ |
[ o f |
|
|
|
|
|
||||||||||
& |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Q |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
$L ] |
|
[ |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
] |
|
|
|
|
|
|
|
$L ] |
|
|
|
|
||||||
|
|
DQ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Q |
DQ = T ) |
P |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
¼ |
|
|
|
|
|||||
|
|
Q |
|
|
|
|
|
¬ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
( |
| |
|
|
= |
P |
ª T)S Q º |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8 [ |
-f |
[ |
|
|
|
|
|
® |
|
[ ! |
|
|
||
|
|
¯F[ |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[ H[S D[ |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
\ [ |
|
- |
|
[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
® |
[ H[S D[ |
|
[ ! |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
¯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
f |
|
- |
= |
|
|
G |
|
|
|
½ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
³ |
|
° |
|
|
|
|
|
|
|
° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
[ H[S D[ ® |
|
|
|
|
F[¾ |
[H[S D[ G[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
P |
|
G[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
° |
|
|
° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
= |
|
|
D |
|
|
|
|||||||||
|
( |
|
|
¯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
¿ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
D |
P |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
³ [ H[S D[ G[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
D FP = |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= F P |
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
< [ T)[< [ (< [ |
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
P |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
f |
= |
|
|
G\ |
|
|
|
|
|
f |
|
|
|
|
|
G[ |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
³ |
|
|
|
G[ |
³ 8 [ |
|
\ |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
G[ |
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
f |
|
|
|
|
|
|
f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
8 [ |
-f |
[ |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
® |
|
[ ! |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
¯F[ |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[ H[S D[ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
U |
|
|
|
|
|
|
(F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
' |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J ( |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J ( |
GQ |
|
P |
( |
|
|
|||
|
|
|
G( |
|
S |
= |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J |
( |
GQ |
|
P[P\P] |
( |
|
|
|||
|
|
G( |
|
S = |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
-
8 ] ®
¯f
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
] : |
|
|
|
] ] ! : |
|
] '
|
|
J ' ( |
|
|
P |
|
|
¦4 ( (Q |
|
|
P |
|
|
ª |
|
|
|
|
º |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
S: = |
|
|
|
S: = |
|
¬ |
|
( ( ¼ |
|
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
(Q |
|
= |
|
§ S |
· |
|
|
± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Q |
|
||||||
|
|
|
¨ |
|
|
¸ Q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
P © : |
¹ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
4 < ± |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ª |
( ( º ± |
|
|
|
|
|
|
( ( |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
¬ |
|
|
|
|
¼ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
( |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
( Q .[ .\ |
|
|
|
= § |
|
S |
· |
|
|
|
= |
§ . |
[ |
. |
\ · |
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
¨ |
|
|
¸ Q |
|
|
|
|
|
¨ |
|
|
|
|
|
|
|
|
¸ |
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
P |
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
P |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
] |
© |
: |
¹ |
|
|
|
|
¨ |
|
[ |
|
|
\ |
¸ |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
© |
|
|
|
|
|
|
¹ |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
P[P\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
J' ( |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
¦4 ( (Q |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S: = |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\ G ] : |
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
8 \ |
] |
|
|
° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\ ] |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
®f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\ ! G ] ! : |
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
¯f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|