Практические работы по МММ_ 1-2_16_10_2014
.docx
б) Провести расчёт распределения примеси по глубине и величину общее количество примеси при диффузии из бесконечного источника.
|
Вариант |
Примесь |
Температура (oC) |
Время (мин.) |
|
1 |
As |
1000 |
30 |
|
2 |
B |
900 |
50 |
|
3 |
P |
1150 |
60 |
|
4 |
Sb |
1200 |
40 |
|
5 |
Sb |
1100 |
20 |
|
6 |
B |
1150 |
10 |
|
7 |
B |
950 |
30 |
|
8 |
As |
1100 |
30 |
|
9 |
P |
1200 |
120 |
|
10 |
B |
1000 |
240 |
|
11 |
Sb |
1000 |
60 |
|
12 |
B |
1100 |
30 |
|
13 |
As |
950 |
120 |
|
14 |
P |
1000 |
360 |
|
15 |
As |
1100 |
50 |
|
16 |
Sb |
1200 |
40 |
|
17 |
B |
1150 |
60 |
|
18 |
Sb |
1050 |
480 |
|
19 |
As |
950 |
360 |
|
20 |
P |
950 |
240 |
в) Провести расчёт распределения примеси по глубине при диффузии из ограниченного источника.
|
Вариант |
Примесь |
Температура (oC) |
Время (мин.) |
Поверхностная концентрация (см–3) |
|
1 |
B |
1100 |
40 |
3e20 |
|
2 |
As |
1050 |
60 |
1e21 |
|
3 |
Sb |
1000 |
30 |
5e19 |
|
4 |
P |
950 |
120 |
2e19 |
|
5 |
As |
1100 |
60 |
5e18 |
|
6 |
P |
1150 |
80 |
1e19 |
|
7 |
As |
1050 |
90 |
1e20 |
|
8 |
B |
950 |
60 |
1e21 |
|
9 |
Sb |
1000 |
100 |
3e20 |
|
10 |
As |
1050 |
10 |
7e19 |
|
11 |
B |
1100 |
50 |
2e19 |
|
12 |
P |
1000 |
30 |
6e18 |
|
13 |
B |
950 |
40 |
1e20 |
|
14 |
Sb |
900 |
80 |
2e19 |
|
15 |
P |
1000 |
70 |
1e21 |
|
16 |
As |
1150 |
40 |
3e19 |
|
17 |
Sb |
1100 |
120 |
5e19 |
|
18 |
B |
1050 |
50 |
7e18 |
|
19 |
P |
900 |
30 |
1e19 |
|
20 |
B |
1100 |
100 |
1e20 |
г) Оформить результаты расчётов.
Учебная литература:
1. Технология СБИС: В 2-х кн. Кн.1 Пер. с англ. /Под ред. С. Зи. – М.: Мир, 1986. – 404 с., ил.
2. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. пособие для спец. "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники". – М.: Высш. шк., 1989. –320 с.:ил.