лекция7
.pdf
Осаждение пленки из плазмы
Схема установки плазменного напыления
Установка для осаждения расплавов металлов на поверхность
Преимущества метода |
Недостатки метода |
Простота и дешевизна установки |
Получение только пористых пленок |
Масштабируемость процесса |
Низкая чистота продукта |
Высокая скорость процесса |
Ограниченный набор возможных объектов осаждения |
Осаждение пленок с помощью аэрозольной методики распыления частиц
Травление и очищение поверхности частицами |
|
Экспериментальная установка для аэрозольного травления |
|
|
|
Преимущества метода |
Основные недостатки |
Широкий выбор реактивов |
Сложность процесса |
Предполагается для травление или очистка широкого |
Метод продемонстрирован для ограниченного круга материалов |
набора материалов |
Нет промышленного применения |
Возможность высокоскоростного травления |
|
Осаждение ионизированных частиц (кластеров)
Схема образования ионизированных кластеров
Преимущества метода Широкие возможности для осаждения материалов сложного состава
Ориентированные и эпитаксиальные пленки Высокая скорость осаждения Масштабируемость процесса Коммерческая доступность
Основной недостаток – сложность и дороговизна аппаратной части
Осаждение инертных частиц
Схема экспериментальной установки для осаждения инертных частиц
Преимущества метода |
Основной недостаток |
Простота и дешевизна метода |
пористость и неконтролируемая морфология пленок |
Множество вариантов материалов для синтеза частиц |
|
Осаждение многокомпонентных систем |
|
Высокие скорости осаждения |
|
Коммерческая доступность |
|
Осаждение пленок с помощью термофореза
Температурный профиль при термофоретическом осаждении частиц на поверхность
Преимущества метода
Простота и дешевизна метода Возможность осаждения любых частиц
Возможность осаждения многокомпонентных пленок Высокая скорость осаждения пленок Масштабируемость метода
Схема установки для термофоретического осаждения частиц синтезированных с помощью распылительной сушки
Недостатки метода
Пористые пленки, невозможность контроля морфологии Неоднородность пленки Низкий выход реакции
Термофоретическое осаждение пленки на оптоволокно
Схема производства оптоволокна
Распространение аэрозоля при термофоретическом
осаждении при производства оптоволокна |
Осаждение из паровой фазы при получении оптоволокна |
|