книги из ГПНТБ / Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации
.pdfв. н. вигдорович
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ
ЗОННОЙ
ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ
O f ' i
гм / u p M П r.^
& 1___
Москва „Металлургия11 1974
УДК 669.054 : 621.315.592.2 |
|
|
Совершенствование зонной перекристаллизации. В. |
Н. В и г д о - |
|
р о в и ч. М., «Металлургия», 1974., |
200 с. |
исследования |
Рассмотрены теоретические и |
экспериментальные |
по очистке металлов и полупроводниковых материалов зонной пере кристаллизацией. Основное внимание уделено аппаратурным и мето дическим вопросам совершенствования этого процесса. Изложены проблемы совершенствования техники и технологии зонной перекри сталлизации, решаемые рационализацией массообмена и теплообмена, а также с помощью электромагнитного перемешивания расплавленной зоны.
Предназначена для металлургов, технологов и конструкторов, физиков и химиков, занятых изучением, и совершенствованием про цессов производства чистых металлов и полупроводниковых материа лов, а также для аспирантов и .студентов металлургических и химико технологических вузов. Ил. 82. Табл. 20. Список лит. 154 назв.
Виленин Наумович ВИГДОРОВИЧ
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ЗОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ
Редактор издательства В. П. Молокова Художественный редактор Д. В . Орлов Технический редактор В. А. Лыкова
Корректоры В. Б. Левин, и Г. Л. Копперойнен
Переплет художника В. П. Сысоева
Сдано в набор ЗХ/Х 1973 г. Подписано в печать 27/IX 1974 г. Т-16399 Формат бумаги 60x90Vie* Бумага типографская N° 3. Печ. л. 12,50
Уч.-изд. л. 14,86. Тираж 1700 экз. Заказ 688. Изд. № 5518. Цена 1 р. 70 к.
Издательство «Металлургия», 119034, Москва, Г-34, 2-й Обыденский пер., 14
Ленинградская типография N° 6 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР
по делам издательств, полиграфии и книжной торговли 193144, Ленинград, С-144, ул. Моисеенко, 10
©Издательство «Металлургия», 1974.
В31008—209 72—74 040 (01)—74
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение |
.............................................................................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
Глава |
I. |
РАСПРЕДЕЛЕНИЕ |
КОМПОНЕНТОВ (ПРИМЕСЕЙ) |
ПРИ |
7 |
|||||||
|
|
НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ................................. |
|
|
||||||||
|
|
Равновесная |
кристаллизация |
и роль |
диффузионных |
процессов |
7 |
|||||
|
|
в жидкой и твердой фазах при кристаллизации............................. |
|
|
||||||||
|
|
Концентрационная зависимость коэффициентов распределения, |
|
|||||||||
|
|
выраженных через абсолютные и относительные концентрации |
16 |
|||||||||
|
|
компонентов |
................................................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
Важнейшие методы направленной кристаллизации......................... |
|
|
20 |
|||||||
|
|
Допущения |
теорий |
направленной кристаллизации..................... |
|
|
22 |
|||||
|
|
Общее рассмотрение распределения компонентов (примесей) при |
28 |
|||||||||
|
|
однократной |
направленной кристаллизации...................................... |
|
|
|||||||
|
|
Неоднородное распределение компонентов (примесей) при на |
35 |
|||||||||
|
|
правленной кристаллизации................................................................... |
|
|
|
|
||||||
Глава |
II. |
ТЕОРИЯ |
МНОГОПРОХОДНОЙ |
ЗОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛ |
37 |
|||||||
|
|
ЛИЗАЦИИ |
|
..................................................................................................... |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Распределение примесей при многопроходной зонной перекри |
37 |
|||||||||
|
|
сталлизации |
................................................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
Предельное распределение |
................................................................... |
|
|
|
|
40 |
||||
|
|
Методика численного расчета распределения примесей при много |
43 |
|||||||||
|
|
кратной зонной перекристаллизации (метод Хамминга) . |
. . . |
|||||||||
|
|
Приближенный расчетный метод исследования распределения |
45 |
|||||||||
|
|
примесей |
|
............................. |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Точный расчетный метод исследования распределения приме |
57 |
|||||||||
|
|
сей .................................................................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Расчет предельного распределения при зонной перекристалли |
64 |
|||||||||
|
|
зации |
.............................................. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Глава |
III. |
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ |
МНОГОПРОХОДНОЙ |
ЗОННОЙ |
|
|||||||
|
|
ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ............................................................ |
|
|
|
68 |
|
|||||
|
|
Параметры оптимизации ........................................................................ |
|
|
|
|
|
68 |
||||
|
|
Аналитические методы определения оптимального режима зон |
73 |
|||||||||
|
|
ной перекристаллизации ........................................................................ |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
Выбор |
рационального способа перемещения нагревателей при |
85 |
||||||||
|
|
зонной |
перекристаллизации |
................................................................... |
в |
бесконтейнерном |
варианте |
|||||
|
|
Многозонная |
перекристаллизация |
91 |
||||||||
|
|
(метод «полузон») |
..................... |
■ .......................................................... |
|
зонной перекристаллизации |
||||||
|
|
Увеличение |
и уменьшение загрузки |
94 |
||||||||
Глава |
IV. |
НАПРАВЛЕНИЯ |
РАЗВИТИЯ |
КРИСТАЛЛИЗАЦИОННЫХ |
|
|||||||
|
|
МЕТОДОВ |
|
РАЗДЕЛЕНИЯ |
И |
ОЧИСТКИ.......................... |
|
95 |
|
|||
|
|
Общая классификация методов направленной кристаллизации . . |
95 |
|||||||||
|
|
Элементарные (простые) кристаллизационные методы.............. |
|
97 |
101 |
|||||||
|
|
Каскадные (многостадийные) кристаллизационные методы |
. . . |
|||||||||
|
|
Программируемые элементарные и каскадные кристаллизацион |
104 |
|||||||||
|
|
ные методы |
|
................................................................................................. |
|
|
|
|
|
111 |
||
|
|
Колонные кристаллизационные м етоды ....................................... |
|
|
||||||||
Глава |
V. |
ТЕОРИЯ |
И |
ПРАКТИКА КОЛОННОЙ ЗОННОЙ ПЕРЕ |
120 |
|||||||
|
|
КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ................................................................................ |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
Теория колонной зонной перекристаллизации............................. |
|
.120 |
|
1'* |
3 |
Экспериментально осуществленные аппараты колонной зонной |
127 |
|||
перекристаллизации |
................................................................................. |
|
|
|
Исследование роли секции загрязненного материала в аппаратах |
130 |
|||
колонной зонной перекристаллизации................................................... |
|
|||
Односекционные аппараты колонной зонной перекристаллиза |
134 |
|||
ции .................................................................................................................. |
исследования односекционных |
аппаратов |
||
Экспериментальные |
144 |
|||
колонной зонной перекристаллизации ............................................... |
|
|||
Глубокая очистка цветных металлов (сурьмы и висмута) ко |
154 |
|||
лонной зонной перекристаллизацией ................................................... |
|
|||
Исследование роли основных параметров колонной зонной пере |
178 |
|||
кристаллизации ............................................................................ |
|
|
. . . |
|
Перспективы совершенствования и развития колонных зонных |
182 |
|||
методов .......................................................................................................... |
И |
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ |
ТЕПЛО |
|
Глаза VI. ИССЛЕДОВАНИЕ |
|
|||
ФИЗИЧЕСКИХ УСЛОВИЙ И ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ПЕ |
188 |
|||
РЕМЕШИВАНИЯ ПРИ |
ЗОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ |
|||
Роль тепловых условий при направленной кристаллизации и их |
188 |
|||
исследование................................................................................................. |
|
|
|
|
Роль электромагнитного перемешивания расплава при зонной |
191 |
|||
перекристаллизации и его исследование.............................................. |
|
|||
Список литературы .................................................................................... |
|
|
|
196 |
ВВЕДЕНИЕ
Зонная перекристаллизация, часто называемая зонной плавкой, является эффективнейшим методом глубокой очистки веществ и получения их в монокристаллическом виде.
Зонная перекристаллизация предложена сравнительно недавно. Ее история условно может быть подразделена на три этапа.
Первый из них связан с независимым появлением идеи процесса и эпизодическим его применением в целях получения однородных монокристаллов для физических экспериментов. Так, академик П. И. Капица (1927 г.) применил зонную перекристаллизацию для получения однородных монокристаллов висмута. Маккехан (1927 г.)
опробовал |
метод зонной перекристаллизации для очистки |
железа, |
а Андраде |
и Роске (1937 г .) — для очистки свинца и |
кадмия. |
В. И. Лихтман и Б. М. Масленников (1949 г.) получали монокри сталлы олова этим методом.
Второй этап связан с существенным преобразованием в техноло гии полупроводниковых материалов, когда, по предложению Пфанна (1952 г.), зонная перекристаллизация была применена для получе ния германия высокой чистоты и прецизионного состава. Решение задачи оказалось настолько простым и в то же время настолько -результативным, что за 10—15 лет выявленная практическая цен ность метода приобрела широкую известность.
В настоящее время применение зонной перекристаллизации к по лупроводниковым материалам, почти ко всем практически исполь зуемым металлам и большому числу неорганических и органических соединений подтвердило перспективность метода. Поэтому третьим этапом его истории можно считать происшедшее превращение его из лабораторного препаративного метода в заводской технологиче ский процесс. На этом этапе концентрируются усилия на совершен ствовании процесса и его рационализации, направленные на удов летворение экономических критериев производства.
Нет сомнений в том, что предстоит дальнейшее совершенствование и развитие метода зонной перекристаллизации. С одной стороны, ^к этому будут вынуждать постоянно растущие требования к чистоте веществ и бездефектности их структуры, а с другой стороны — спо собствовать возрастающий уровень и расширяющиеся, возможности техники высоких температур, вакуумной техники и точного машино строения. Здесь можно предполагать радикальное изменение аппа ратов и средств интенсификации зонной перекристаллизации. В на стоящее время ведется подготовка к этому главным образом путем рационализации массо- и теплообмена. В экспериментальных и теоретических исследованиях в настоящее время основное внимание сосредоточивается на переходе к каскадным схемам и колонным
5
аппаратам, на управлении и регулировании тепловых полей, а также применении электромагнитного перемешивания.
В основу данной монографии положены результаты исследований автора, выполненные в течение 1957—1972 гг. и дополненные дан ными других исследователей. В теоретической и экспериментальной работе автора в области зонной перекристаллизации принимали участие А. Е. Вольпян, А. С. Жеребович, В. В. Марычев, К. М. Ро зин, Л /М . Ферштер и И. Ф. Черномордин. Их активное творческое отношение к проблемам совершенствования и развития зонной пере кристаллизации должно быть с благодарностью отмечено в самом начале книги. Улучшению книги во многом способствовали замеча ния и советы профессора В. Н. Романенко, оцениваемые с чрезвы чайной признательностью.
В книге рассматриваются физико-химические основы зонной перекристаллизации (гл. I), анализ и совершенствование математи ческой теории этого процесса (гл. II), обобщение по оптимизации и рационализации практического осуществления многопроходной зон ной перекристаллизации (гл. III), классификация и выявление путей дальнейшего развития кристаллизационных методов разделения и очистки веществ (гл. IV), теория и практика программируемых каскадных (гл. IV) и колонных (гл. V) методов, совершенствование температурных полей, а также исследование и применение электро магнитного перемешивания при зонной перекристаллизации (гл. VI).
По теме гл. VI со временем специалистами будут написаны отдельные монографии. Однако в настоящее время начатые раз работки не достигли еще необходимой широты охвата проблемы.
Таким образом, книга «Совершенствование зонной перекристал лизации» предназначена дополнить ранее изданную литературу по кристаллизации и выращиванию кристаллов [1—12], металлургии чистых металлов, технологии полупроводниковых материалов и прецизионных сплавов [13—21] и специально по зонной перекри сталлизации [22—30]. Она рассчитана на специалистов по техно логии высокочистых и монокристаллических материалов. Может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам как учебное пособие по специальностям «Металлургия цветных металлов», «Фи зико-химические исследования металлургических процессов», «Полу проводниковое и электровакуумное машиностроение», «Полупровод ники и диэлектрики», «Технология специальных материалов элек тронной техники», «Химическая технология редких и рассеянных элементов» и др.
Г л а в а I
РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОМПОНЕНТОВ (ПРИМЕСЕЙ) ПРИ НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ
РАВНОВЕСНАЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
ИРОЛЬ ДИФФУЗИОННЫХ ПРОЦЕССОВ
ВЖИДКОЙ И ТВЕРДОЙ ФАЗАХ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ
Под равновесной кристаллизацией понимают процесс кристаллиза ции, протекающий с бесконечно малой скоростью.
На рис. 1 схематически представлена равновесная кристаллиза ция сплава в системе с неограниченной растворимостью компонентов
в |
жидком (Ж) и твердом (Тв) |
состоянии. |
Выше линии |
ликвидуса |
||||
(tA к tB) сплавы находятся в жидком |
|
|
||||||
состоянии, ниже линии солидуса {tAmtB) — |
|
|
||||||
в |
твердом |
состоянии. |
Следовательно, |
|
|
|||
интервалом |
кристаллизации для сплавов |
|
|
|||||
этой системы является |
область Ж + Тв, |
|
|
|||||
заключенная |
между линиями |
ликвидуса |
|
|
||||
и |
солидуса. |
Для |
сплава состава С0, нап |
|
|
|||
ример, кристаллизация будет происхо |
|
|
||||||
дить в интервале температур от tHдо tK. |
|
|
||||||
|
Для определения химического состава |
|
|
|||||
фаз в процессе кристаллизации необходимо |
|
|
||||||
провести |
горизонталь, |
соответствующую |
Рис. 1. Схема |
кристаллизации |
||||
рассматриваемой |
температуре (изотерма), |
твердого раствора в равновес |
||||||
ных условиях |
||||||||
так как |
точки ее |
пересечения с линиями |
|
|
ликвидуса и солидуса (образующийся отрезок называется кон-
нодой) |
укажут концентрации |
жидкой и твердой фаз |
соответственно. |
|
При охлаждении сплава С0 от температуры tH из |
расплава |
выпа |
||
дают |
кристаллы твердого |
раствора сначала состава С'тв, |
а за |
тем с;в при Ц и с;; при t 2 И т. д. Концентрация твердого раствора по мере приближения температуры к температуре tK непрерывно приближается к концентрации исходного расплава С0. Химический состав расплава при этом претерпевает изменение от С0 до С'ж, проходя значения С'жи Сжпри температурах Ц и t 2 соответственно. Таким образом, когда будет достигнута температура tK, весь сплав затвердевает с образованием однородного твердого раствора со става Со, т. е. того самого, что и исходный расплав.
Описанный процесс равновесной кристаллизации условно может
быть записан следующим образом |
[31]: |
|
|
ж |
Те, |
со) ■ |
(I) |
( С0 '> Сж ) |
|
|
Соотношение количеств равновесных фаз, находящихся в равно весии для любой температуры в интервале кристаллизации сплава, определяется так называемым «правилом рычага».
В качестве примера для температуры t x соотношение между коли чествами кристаллов (g) и расплава (1 — g), выраженными в долях (рис. 1), может быть записано в виде формулы
g |
_ nk шт п _nk |
1 — g |
mk ' mk тп ' |
Отношение концентраций в твердой и жидкой фазах принято
называть коэффициентом распределения. |
В данном случае: |
||
К = &-в (при tH), |
= |
|
(при tx), |
L° |
|
С ж |
|
К = ^гв (при t2), |
/г0 = |
$ г |
(при tK). |
С ж |
|
С ж |
|
Процесс равновесной кристаллизации связан с непрерывным изменением содержания компонентов в жидкой и твердой фазах по мере понижения температуры. Результирующий процесс (I) мо жет быть разложен на два параллельно идущих процесса (по Д. А. Петрову [32]).
Прежде всего должен иметь место процесс «распада», т. е. про цесс образования кристаллов твердого раствора при данной тем
пературе t + |
dt (рис. 2), который |
предполагает |
диффузию в расплаве и |
схематически |
может быть представлен |
в виде |
|
|
(II) |
Затем должен происходить процесс «взаимодействия», т. е. процесс изме нения химического состава кристаллов твердого раствора, образовавшихся при
более высокой температуре t + dt, который предполагает диффу зию в кристаллах, расплаве и на их границе. Схематически такой процесс может быть представлен в виде
W t Jr T e t+dt—>'Tet. |
(Ill) |
Рассмотренный процесс равновесной кристаллизации происходит только в том' случае, если диффузионное выравнивание концентра ции в жидкой и твердой фазах происходит беспрепятственно, а также если возможно установление динамического равновесия на границе раздела между жидкой и твердой фазами посредством диффузии. Следует обратить внимание на то, что, несмотря на различие химиче ского состава жидкой и твердой фаз при равновесной кристаллиза ции, эффект разделения компонентов не сохраняется к концу про цесса и полностью отсутствует в образовавшейся твердой фазе,
8
имеющей однородный состав, точно соответствующий составу исход ной жидкой фазы.
Эта идеальная схема кристаллизационного процесса далеко не всегда выполняется в реальных условиях. Прежде всего, хорошо известно явление ликвации, которое в металлургической практике рассматривается как крайне нежелательное свойство сплавов. Оно вызывается прежде всего затрудненной диффузией компонентов в твердой фазе и характеризуется неоднородным распределением компонентов в получающемся после кристаллизации материале. Каждый кристалл такого материала содержит участки, обогащенные или обедненные каким-либо компонентом, т. е. имеет место эффект разделения компонентов, в большей или меньшей степени отражаю щий то разделение компонентов, которое свойственно их распределе нию между твердой и жидкой фазами в процессе кристаллизации.
При затруднении диффузии компонентов в твердой фазе одна из стадий общего процесса по схеме (I)— процесс (III)— может быть полностью устранена, если образующуюся по схеме (II) твердую фазу лишить возможности контакта с жидкой фазой, а следовательно лишить возможности взаимодействия с ней. Тогда эффект распре деления компонентов между жидкой и твердой фазами может быть достаточно полно зафиксирован в получающейся твердой фазе. Тех нологически это используется для разделения или очистки путем направленного отвода теплоты. Граница раздела твердой и жидкой фаз называется в этом случае фронтом кристаллизации. На нем происходит постепенное наращивание кристаллизующегося мате риала в одном направлении. В результате для закристаллизовавше гося первоначально материала препятствием к взаимодействию с жидкостью служит слой материала, образующийся при последую щей кристаллизации, а резкий температурный градиент в твердой фазе предотвращает выравнивание состава в твердом состоянии даже в непосредственной близости от фронта кристаллизации. Такие химико-металлургические процессы получили название направлен ной кристаллизации.
Затрудненность диффузии компонентов в твердом состоянии спо собствует, а затрудненность диффузии компонентов в жидком со стоянии препятствует разделению или очистке при направленной кристаллизации.
Если затруднена диффузия в жидкой фазе, то в ходе процесса на фронте кристаллизации будет накапливаться избыток компонента, которым обеднена образующаяся твердая фаза, и недостаток компо нента, которым твердая фаза обогащена. Это вызывает кристалли зацию твердой фазы не из основной массы жидкой фазы, а из приле гающего к фронту кристаллизации слоя, что приводит в свою оче редь к снижению эффективности разделения компонентов в твердой фазе по сравнению с соответствующей эффективностью распределе ния компонентов между твердой и жидкой фазами в процессе кри сталлизации.
При очень высоких скоростях охлаждения и кристаллизации, когда диффузия в жидкой фазе и на фронте кристаллизации не обес-
9